Дифференциальный емкостный датчик давления

союз советсних ЯО 15 12 С 01 Ь 9/12 19/04 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТпо изовеетениям и отнеытпеи Гнкт сссР м ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 2 НЫЙ КОСТНЫЙ Г.Севастьянов анов, В.В.Суп о СССР1956.СССР1974,ель 7/О ьств ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬС(54) ДИФФЕРЕНЦИАЛЬ ЧИК ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение отн измерения дифференци мембранными манометр преобразователем, пр новном для измерения щенных паров веществ повышение точности п турном нагреве измер Датчик состоит из дв сйтся к технике альных давлений ми с емкостным дназначено в ос давления насыи обеспечивает и высокотемперательной камеры. ух камер, разде3 1506312 ленных мембраной, и неподвижного эл ктродд 1 Корпус датчика имеет удлиненный цилиндрический участок, внутри которого коаксиально расположены полый цилиндрический держатель неподвахид., 1 ек грода и цилиндрическийэкран 14, концы которых выведены наружу и снабжены изолирующими уплотнениями, расположенными эа охлаждающим радиатором 15, 1 з,п. ф-лы, 1 ил,40 Изобретение относится к технике измерения давлений и предназначено в основном, для измерения давления насыщенных паров в замкнутых объемах 15 при высокой температуреЦелью изобретения является повышение точности емкостного датчика давления при высокотемпературном нагреве измерительной камеры. 20На чертеже изображен дифференцидльпый емкостный датчик.Измерительная камера 1 герметично соединена болтами 2 с корпусом 3 сравнительной камеры, Измерительная камерд отделена от сравнительной камеры чувствительной мембраной 4. В нижней части измерительной камеры с помощью прижимной гайки 5 и прокладки б закреплен съемный вентиль 7 со 30 штуцером 8, Напускное отверстие 9 зд:ывдется иглой 1 О, Неподвижный электрод 11 выполнен в виде полого стержня с прорезью 12, образующего дер:кдтель диска 13, Между корпусом 3 35 и ь еподвижным электродом 11 коаксидльн расположен цилиндрический экран 4. В редней части датчика имеется радиатор 15, Прокладки 16 и 17, гайка 18, фигурные гайки 19 и 20 служат для герметизации электроизоляцпи и обеспе ения соосности узлов датчика, Выходной сигнал в виде электрической емкости снщчают с контактов 21-23, 45В датчике корпус сравнительной камеры с удлиненным цилиндрическим участком, цилиндрический экран 14 и неподвижный электрод 11 с диском 13. выполнены из материала с одинаковым коэффициентом линейного расширенияДатчик работает следующим образом.Вначале производят загрузку исследуемого вещества в измерительную камеру 1, после чего устанавливают съемный вентиль 7. Затем вакуумируют одновременно измерительную и сравнительную камеры соответственно через штуцер 8 и полый неподвижный электрод 11. С контактов 21-23 считывают начальное значение выходного сигнала -электрической емкости конденсатора,образованного мембраной и неподвижным электродом, После этого вращением съемного вентиля добиваются закрытия иглой 1 О напускного отверстия9 и удаляют съемный вентиль. Далеечасть датчика, расположенную ниже радиатора 15, нагружают в устройство,задающее рабочую температуру (до1000 С), Изменение начальной емкости, вызванное деформацией мембраны,сигнализирует о разности давлений визмерительной и сравнительной камерах,Компенсацию давления паров веществав измерительной камере осуществляютнапусом или вакуумированием газа всрдвни;ельную камеру через неподвижный электрод до тех пор, гока не будет достигнуто значение начальной емкости конденсатора, Затем 1 змеряютзначение компенсирующегэ давления,которое равно давлению насьсценногопара исследуемого вещества,Температурный дрейф нуля сводитсяк минимуму за счет применения в конструкции датчика заземленного экранамежду корпусом и неподвижным электродом, устраняющего влияние паразитныхемкостей эа счет стабильности начального значения емкости конденсатора,благодаря выполнению корпуса неподвижного электрода и экрана из материала с одинаковым коэффициентом линейного расширения, а также за счет размещения всех изолирующих уплотненийи электродоввне области высоких температур за радиатором охлаждейия наудлиненном цилиндрическом участкекорпуса,Формула изобретения1. Дифференциальный емкостный датчик давления, содержащий корпус с подводящими штуцерами и мембрану, образующую измерительную камеру иЗаказ 5421/44 Тираж 789 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 5 150631 камеру сравнения, в которой расположен неподвижный электрод в виде диска, закрепленный торцом в держателе, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности при иэме 5 ренин давления высокотемпературных сред, в нем на корпусе сравнительной камеры выполнен удлиненный цилиндрический участок, внутри которого ко аксиально расположены держатель диска в виде полого стержня с прорезью 26вдоль образующей и цилиндрический экран, концы которых выведены из ка" меры наружу и снабжены изолирующими уплотнениями.2 Датчик по п. 1, о т л и ч ею щ и й с я тем, что в нем корпус сравнительной камеры с цилиндрическим участком, экран и держатель с, диском выполнены иэ материала с одинаковым коэффициентом линейного расширения.