G01L 9/12 — путем измерения изменений электрической емкости

Номер патента: 1729198

Опубликовано: 30.01.1994

Автор: Казарян

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный, матричный

ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий первую диэлектрическую пленку, на которую нанесен металлизированный экран, а на экране закреплена вторая диэлектрическая пленка, на поверхности которой закреплена своей нижней поверхностью третья диэлектрическая пленка, причем на ее нижней поверхности сформированы обкладки конденсаторов, их выводы и с зазором от них экран, а на верхней поверхности третьей пленки закреплена четвертая диэлектрическая пленка, в которой выполнены сквозные отверстия диаметром d, расположенные соответственно над обкладками конденсаторов третьей пленки и соединенные между собой канавками шириной i1, при этом на верхней поверхности четвертой пленки закреплена своей нижней поверхностью пятая диэлектрическая...

Номер патента: 1633950

Опубликовано: 30.01.1994

Автор: Казарян

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный, матричный

ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий первую эластичную полиимидную пленку, на верхней поверхности которой нанесены с равным шагом относительно друг друга металлизированные обкладки конденсаторов, выводы и экран вокруг них, вторую твердую полиимидную пленку, которая перфорирована на участке под обкладками конденсаторов первой пленки и приклеена к ее нижней поверхности, на которую нанесена ответная металлизированная обкладка конденсатора, ее вывод и экран вокруг них, третью твердую полиимидную пленку, на верхней поверхности которой нанесены с равным шагом относительно друг друга первые дополнительные металлизированные обкладки конденсаторов, их выводы и экраны вокруг них, причем своей верхней поверхностью третья полиимидная пленка...

Номер патента: 1526373

Опубликовано: 30.01.1994

Авторы: Блинов, Геращенко, Казарян

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчиков, емкостных, матричных

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЕМКОСТНЫХ МАТРИЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ, при котором формируют пакет скрепленных между собой металлизированных диэлектрических пленок, выполняющих функцию чувствительных элементов и экранов, последовательным нанесением нескольких слоев лака на металлическую подложку металлизированной пленки, после нанесения каждого слоя пленку подвергают термической обработке последовательно в течение 5 - 20 мин при 80 - 100oС, 5 - 10 мин при 140 - 160oС, 5 - 10 мин при 180 - 220oС и 5 - 15 мин при 280 - 320oС, затем в вакууме последовательно осаждают через маски слой металлов соответствующих конфигураций, наносят осаждением слой лака и подвергают пакет термической обработке, отличающийся тем,...

Номер патента: 1598631

Опубликовано: 30.01.1994

Авторы: Казарян, Чикин

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный, матричный

ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий верхнюю и нижнюю диэлектрические пленки, на одной поверхности которых сформированы металлизированные обкладки конденсаторов прямоугольной формы, их выводы и с зазором обкладок и выводов - экраны, а также промежуточную диэлектрическую пленку, расположенную между металлизированной поверхностью верхней пленки и нижней пленкой, причем модуль упругости материала промежуточной диэлектрической пленки меньше, а диэлектрическая проницаемость больше, чем у материала верхней и нижней пленок, при этом толщина нижней пленки больше толщины верхней в 2 - 3 раза, а все пленки склеены между собой, отличающийся тем, что, с целью расширения нижнего предела измеряемого давления, в него введена дополнительная...

Номер патента: 1648157

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Казарян

МПК: G01L 7/08, G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный, матричный

ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ по авт. св. No 1577483, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет одновременного измерения давления, температуры и теплового потока, в него дополнительно введены первая и вторая диэлектрические пленки, выполненные из полиамидокислотного лака, причем на одной из поверхностей каждой из них сформированы первые электроды, выполненные из меди, с соответствующими выводами, на каждый первый электрод нанесен второй электрод, выполненный из никеля, при этом вторые электроды соединены электрически друг с другом и общим выводом, а с зазором от всех электродов и выводов нанесен металлизированный экран, причем площадь первого электрода равна площади обкладки конденсатора...

Номер патента: 1799124

Опубликовано: 15.09.1994

Автор: Казарян

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...пленку, на которой сформирован первый металлизированный экран, закрепленнуго на первой пленке вторую твердую полиимидную пленку, на которой сформи рованы первая группа обкладок измерительного конденсатора с выводами и вокруг них с зазором второй металлизированный экран, закрепленную иа второй пленке третью эластичную пер форирдванную полиимидную пленку, на которой закреплена четвертая полиимидная пленка, при этом на одной и другой ее поверхностях сформированы соответственно вторая и третья группы обкладок из мерительного конденсатора с выводами и зазором вокруг них соответственно третий и четвертый металлизированные экраны, причем третья пленка перфорирована от-. ности диэлектрической пленки 1 произвольно, в любом свободном участке,...

Номер патента: 1579186

Опубликовано: 27.02.2000

Авторы: Афанасьев, Казаков, Кукушкин, Рыжов, Супрунюк

МПК: G01L 9/12

Метки: давления

Устройство для измерения давления, содержащее корпус, связанный с магистралью измеряемого давления, содержащий измерительную и сравнительную камеры, разделенные упругой мембраной, по обе стороны от которой параллельно ей расположены два изолированных электрода, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерений, оно снабжено резервуаром с газонепроницаемой подвижной заслонкой, соединенным с каждой из камер, при этом камеры связаны трубопроводами с разделительными кранами между собой и с магистралью измеряемого давления.