G01L 9/12 — путем измерения изменений электрической емкости
Устройство для измерения давления веществ в трубопроводе и способ его изготовления
Номер патента: 1791736
Опубликовано: 30.01.1993
МПК: G01L 9/12
Метки: веществ, давления, трубопроводе
...электродов на гибком диэлектрике, закрепление д 1 э 35 40 бопроводом и исключения пожаровзрывоопасности и влияния наводок трубопровода на измерительные цепи. Закрепление на кольцевых прокладках втулки из токопрбводящего материала коаксиально электродам с зазором относительно них повыйает точность вследствие возможности создания минимальных межэлектродных зазоров и увеличения за счет этого величин емкостей рабочего и компенсационнго конденсаторов, а также повышает надежность вследствие уменьшения требуемой величины необходимых деформаций трубопровода для обеспечения необходимой модуляции межэлектродного зазора рабочего конден Кроме того, закрепление втулки на кольцевых прокладках повышает технологичность вследствие упрощения процесса...
Емкостный датчик давления и устройство формирования его выходного сигнала
Номер патента: 1791737
Опубликовано: 30.01.1993
МПК: G01L 9/12
Метки: выходного, давления, датчик, емкостный, сигнала, формирования
...величины Нз и непосредственно из фиг,ба, следует, что Н 4=. = Н 2 + Я или,учитывая, что Н 2 = М, Н 4 = М + +Я, Для обеспечения максимальной чувст вительности необходимо, чтобы емкость конденсатора С 7-э при.воздействии максимального измеряемого давления была бы равна нулю. Поэтому, приравнивая к нулю выражение для емкости С 7-в, получим: 350 (4)81 и 24 лиНз + Н 4 - Н 1 - Н 5 - Я =О, откудаН 1 = Нз+ Н 4 - Н 5 - Я Подставляя вместо Нз, Н 4, Н 5 их значения, получим 45Н 1=М+Я+ М+Я - М- Я =М+Я. Величина расстояния Я между электродами, расположенными на одной цилиндрической втулке, выбрана одинаковой для обейх втулок в связи с тем, что она определяется 50 технологическими возможностями и не зависит от местонахождения электродов на той или...
Емкостный датчик давления
Номер патента: 1793286
Опубликовано: 07.02.1993
Автор: Апакин
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...давление датчикав =ам (1 -- ),Р гггде в - прогиб мембраны под действиемдавления в точке, удаленной на расстояниег от центра мембраны;В - радиус мембраны;во - прогиб в центре мембраны г = О),эЬ 16 РмксЙ Е и (1 - ,и ),где,и - коэффициент Пуассона материаламембраны;Е - модуль упругости материала мембраны;. Ь - толщина мембраны,а электроды измерительного конденсатораимеют такую форму, что их площадь определяется из выражения 4 оНа чертеже изображен датчик в разрезе, Соотношение между размерами межэлектродного зазора и тол щинами диэлектрической пленки и электродов для наглядности изменены, Емкостный датчик давления содержит упругий элемент 1 в виде мембраны 2, выполненной за одно целое с опорным основанием 3. Подвижный электрод 4...
Емкостный датчик давления и способ его изготовления
Номер патента: 1795315
Опубликовано: 15.02.1993
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...в проточкеопорного до = гг( Е тя 1) основания, полировании упругой мембраны и пластин, нанесении на них диэлектриче ской пленки, формировании на пленкеэлек-На чертеже изображен предлагаемыйо ов с контактными пло а ками датчик в РазРезе. Соотноше"иЯ еждУ Раэразмещениивьводныхпроводникровна кон- мерами межэлектродного зазора и толщитактных площадках, закреплении пластины нам диэлектричес ой пленки и электродов на опорном основании и установке корпуса 10 длсоответствии с предлагаемым изобрете-давления СодеРжит коРпус 1, упругую ием выполняют. втулку в виде двух вклады- мембрану 2, выполненнУю за одно целое с ей, симметричных относйтельно плос-опорным основанием 3. Подвижный круг- ости, проходящей через продольную ось . лый электрод 4...
Емкостный датчик давления и способ его изготовления
Номер патента: 1796930
Опубликовано: 23.02.1993
Автор: Белозубов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...опорное основание диэлектрической пластины упругого элемента. Форми 1796930рование осуществляется непосредственно в процессе спекания керамики ВК. Со стороны жестких центров доводят поверхности упругого элемента и его диэлектрической пластины до получения неплоскостности порядка 0,5 мкм., Полируют диэлектрические пластины со сторон размещения электродов до шероховатости не более 0,05 - 0,1 мкм при помощи механической полировки.Формируют на поверхности диэлектрических пластин электроды термическим испарением на установке магнетронного напыления, Формирование части токоведущих жил толщиной, большей межэлектродного зазора на величину толщины электрода проводят путем обжима в калиброванных губках. При величине межэлектродного зазора, равной...
Емкостной датчик давления
Номер патента: 1796931
Опубликовано: 23.02.1993
Автор: Белозубов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостной
...из сплава06 Х 15 Н 60 М 15 (ЭП - 367),Емкостной датчик давления работаетследующим образом.Измеряемое давление воздействует на мембрану. Под воздействием давления электрод 3, расположенный в области жесткого центра, перемещается в направлении ответного электрода 7 пластины, вследствие чего емкость измерительного конденсатора увеличивается. Емкость эталонного конденсатора электроды 4 и 8) не зависит от измеряемого давления. Значение емкостей измерительного и эталонного конденсаторов передается при помощи выводных проводников 11 и гермоконтактов 15 на нормирующее устройство (на фиг, не показано),которое формирует выходной сигнал, зависящий от измеряемого давления Заявляемая конструкция изготавливается следующим образом,На упругом...
Емкостный датчик давления
Номер патента: 1796932
Опубликовано: 23.02.1993
Автор: Белозубов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...упругого элемента обес печивает воздействие атмосферного давления или второго измеряемого давления на мембрану дополнительного упругого элемента, а следовательно, и возможность измерения избыточного давления или перепада давлений. Соотношения между элементами конструкции обеспечиваются следующим образом, Для формирования выходного сигнала, зависящего от отношений ейкостей, необходимо, чтобы началь ные значения емкостей соотносились вопределенных пределах, т,е,Учитывая, что емкость измерительногоконденсатора равна: где е - диэлектрическая проницаемостьмежэлектродного зазора; д - величина межэлектродного зазора, Емкость опорного конденсатора равна; Подставив значения емкостей измерительного и опорного конденсаторов получим-фо :д ( Вг - В...
Емкостной датчик давления электростатического типа
Номер патента: 1796933
Опубликовано: 23.02.1993
Авторы: Зиновьев, Зубаиров, Иванов, Торгашев, Цветков
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостной, типа, электростатического
...с толщиной слоя неменее 20 мкм, Обкладки могут быть выполнены в виде пленок, нанесенных на формо 50 Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано дляизмерения давления при повышенной температуре окружающей среды,Известны емкостные датчики давленияэлектростатического типа. Наиболее близ. ким к изобретению является емкостный датчик с переменным зазором, Такой датчикимеет сложную конструкцию, большие габариты и может работать в узком диапазонетемператур,Цель изобретения - повышение чувствительности, уменьшение габаритных размеров датчика и расширение диапазонарабочих температур.Цель достигается тем, что в емкостномдатчике давления электростатическоготипа, содержащем две обкладки с изолирующим элементом, одна из...
Емкостный дифманометр
Номер патента: 1796934
Опубликовано: 23.02.1993
Авторы: Артемов, Кудряшов, Лебедев, Моисейченко
МПК: G01L 13/02, G01L 9/12
Метки: дифманометр, емкостный
...упоры, а в опорной пластине - отверстия для них. Для расширения функциональных возможностей путем измерения статических односторонних давлений и перепадов давления, емкостные датчики перемещения обеих мембран могут быть включены в обратные связи операционных усилителей активных емкостных делителей напряжения, выходы которых соединены с входами разностного устройства,На чертеже изображен предлагаемый дифманометр,Емкостный дифманометр содержит две крышки 1 с входными штуцерами давлений Р 1 и Р 2, две идентичные измерительные мембраны 2, разделенные перегородкой - опорной пластиной 3. На мембранах 2 выполнены двухступенчатые упоры: со сту-. пенькой защиты 4 большего диаметра и с опорной ступенькой 5 меньшего диаметра, Между упорами на...
Устройство для измерения давления с помощью емкостного датчика
Номер патента: 1796935
Опубликовано: 23.02.1993
Авторы: Арбузов, Белозубов, Ларкин, Маланьин
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчика, емкостного, помощью
...что устройство для измерения давления с помощью емкостного датчика снабжено тремя резистора ми и вторым инвертирующим усилителем, вход которого через первый резистор соединен с выходом генератора, а через второй резистор - с выходом первого инвертирующего усилителя, при этом третий резистор 3 О подключен между выходом и входом второго инвертирующего усилителя, выход которого через введенную в датчик термозависимую емкость соединен со входом первого инвертирующего усилителя. 35Изобретение поясняется чертежом. Устройство содержит генератор 1, первый 2 и второй 3 резисторы, опорную 4 емкость, третий 5 резистор, второй 6 усилитель, термозависимую 7 емкость, рабочую 8 емкость, 4 первый 9 усилитель.Устройство работает следующим...
Емкостный матричный датчик давления
Номер патента: 1797700
Опубликовано: 23.02.1993
Автор: Казарян
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный, матричный
...0,41,0 от толщины третьей перфорированной пленки.На чертеже изображены элементы конструкции емкостного матричного датчикадавления и тензочувствительного элемента,25 Основанием датчика является первый слойдиэлектрической пленки 1, содержащий выводы 2 тензочувствительного элемента 3 иэкран 4 (Сеч. А-А). Вторая диэлектрическаяпленка 5 содержит выводы 6, обкладки 7, ЧЭ30 давления и экран 8(сеч. Б - Б). Третья диэлектрическая пленка 9 перфорированная. Четвертая диэлектрическая пленка 10 являетсямембраной датчика и содержит вывод 11для подачи напряжения поляризации. экран35 12 и обкладки 13 (сеч, Г - Г). Все пленкискрепляют между собой клеем (сеч. Д-Д).Все металлизированные элементы на поверхности диэлектрических пленок (за исключением...
Емкостный датчик давления
Номер патента: 1800299
Опубликовано: 07.03.1993
Автор: Белозубов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...Коль- будет меньше, чем у прототипа, За счетцевой неподвижный электрод 5 опорного уменьшения массы жесткого центра собстконденсатора размещен на опорном осно- венная частота упругого элемента у заявлявании. Зеркально симметричные неподвиж- емой конструкции больше, чем у прототипа,ные электроды 6 и 7 измерительного и 5 б поэтомупогрешность при измерении быстопорного конденсаторов соответственно ропеременных давлений у заявляемого датрасположены на пластине 8, закрепленной чика будет меньше, чем у прототипа.с зазором на упругом элементе (места эа- При воздействии на емкостный датчиккрепления на чертежах не показаны). В же- давления внешних механичеСких воздейстстком центре со стороны измеряемого вующих Факторов (вибраций, ударов...
Устройство для измерения давления
Номер патента: 1806334
Опубликовано: 30.03.1993
Авторы: Казарян, Москалик, Фролова
МПК: G01L 9/12
Метки: давления
...иолы- еа туемого объекта, а изделие может быть сое- (Д динено (электрически) с контуром заземления. Дополнительный защитный 7 и внешний 8 экраны выполнены из ферридни. келевого сплава любой марки, предназна-ченного для экранировки электронной . аппаратуры, Преобразованный сигнал с выхода согласующего усилителя 6 снимается.Казаряентал Корректор Л.Ливринец едактор аказ 972 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и откр 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, ытиям при ГКНТ ССС между точками с и б. При этом положительный полюс источника поляризации 4 подается на нижнюю обкладку датчика 1 в точке а, Все защитные цепи 3 датчика соединяют...
Емкостный датчик давления и способ его изготовления и градуировки
Номер патента: 1812459
Опубликовано: 30.04.1993
Автор: Белозубов
МПК: G01L 9/12
Метки: градуировки, давления, датчик, емкостный
...например электрода, расположенного на опорном основании. Мембрана, опор- . ное основание и диск выполнены из сплава 70 НХБМЮ. На поверхности мембраны с опорным основанием и диска нанесена диэлектрическая пленка в виде композиции А 120 з-Я 02, Электроды выполнены в виде композиции Мо-Й (ТКС=+3,8 10 зС),Способ реализуется следующим обра. зом. Методами тонкопленочной технологии Формируют электроды на мембране, опорном основании и диске, Присоединяют выводные проводники 12 косновным и дополнительным контактным площадкам электродов, Закрепляют диск на опорном основании, например, при помощи лазерной сварки, Присоединяют выводные проводники к гермоконтактам 13. Вэкуумируют и герметизируют корпус. Измеряют электрическое сопротивление каждого...
Датчик давления
Номер патента: 1812460
Опубликовано: 30.04.1993
Авторы: Зиновьев, Русских, Феоктистова
МПК: G01L 9/12
...емкости, защищеныгермопереходником 8, в котором предусмотрены контакты 9 для соединения электродов 6, 7 с электронной преобразующейаппаратурой еМкости в напряжение или ток(не показана). В периферийной части 3 врадиальном направлении жестко установлены штифты 10, концы которых пропущеныв цилиндрические пазы 11, выполнейные вцентральной части 2 мембраны 1. При помощи штуцера 12 конструкция устанавливается на контролируемые объекты.Датчик давления работает следующимобразом.При подаче измеряемого давления намембрану 1 происходит ее прогиб и перемещение центральной подвижной части 2 поотношению к периферийной неподвижнойчасти 3, в результате чего изменяется зазормежду электродами 6, а зазор между элект родами 7 не изменяется.Таким образом,...
Емкостный датчик давления
Номер патента: 1812461
Опубликовано: 30.04.1993
Авторы: Абрамов, Белозубов, Дуркин, Каневская
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...преобра-. 25 давлений, Выполнение жесткого центра 11 зователя перемеЩается в сторону другого на дополнительной мембране 5 в области электрода 8 этого преобразователя. Вслед- размещения электродов обеспечивает плоствие этого емкость первого емкостногоскопараллельное перемещение электрода преобразователя изменяется, При измене(или электродов 15 и 16, размещенных на нии темвературы вследствие разности 30 дополнительноймембране), а,следователь- ТКЛР втулки 6 и мембраны 1 с диском 4, но, обеспечивает более точное измерение дополнительная мембрана 5 перемещается избыточного давления или разности давле-.относительно диска 4. В результате этого ний, Выполнение электродов второго емко- емкость второго емкЬстного преобразова- стного...
Емкостный датчик давления
Номер патента: 1813208
Опубликовано: 30.04.1993
Автор: Казарян
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...5между экраном 2 и третьей диэлектрическойпленкой 4, на нижней поверхности которой- металлизированнцй вывод 5 для съемасигнала, экран 6, обкладки 7, На верхнейповерхности третьей диэлектрическойпленки 4 металлизирован вывод 8, экран 9и обкладка 10, Четвертая диэлектрическаяпленка 11 защищает обкладку 10, вывод 8 иэкран 9 от механических повреждений.Условно, датчик в сборке позиция 12), 15выводы из проволоки 13, заклепки 14 и пластинки 15. При необходимости датчики могут быть одновременно смонтированы имежду пластинками 15,Расстояние между внутренней и наружной кромками на поверхности пленок 1,4выбирают п=0,50,8 мм и 11=11,5, Их отношение й 1/й 2=1,25,3,Диаметр. О сплошного экрана 2 выбирают таким, чтобы обкладки 7, 10 были...
Емкостный датчик давления
Номер патента: 1818559
Опубликовано: 30.05.1993
Авторы: Лебедев, Разудалова, Степанов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...опорного конденсатора жестко прикреплена к корпусу 1, 2 ил,7 1 О1818559 Формула изобретения Фи Составитель Д.ЛебедевТехред М. Моргентал орректор М ул дактор Н,Коля аказ 1935 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 оиэводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 10 с центром среза корпуса в точке 7 и подвешенной к ней на двух торсионах 8 рамки 9, составляющей периферийную часть пластины и разделенную перемычками малой жесткости 1, на две неравные части, На большей части 11, имеющей возможность перемещаться, размещается электрод рабочего конденсатора 12, а на меньшей части 13, скрепленной с недеформируемой частью среза...
Емкостный датчик давления
Номер патента: 1820249
Опубликовано: 07.06.1993
Авторы: Лебедев, Разудалова, Степанов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...описанногодатчика равны нулю,Преимуществом описанного емкостного датчика давления является повыше 0 ние точности измерений, т.к, датчикнечувствителен к непараллельности электродов, благодаря чему также значительноупрощается технология изготовления такого датчика,5 Формула изобретенияЕмкостный. датчик давления, содержащий. корпус с мембраной и неподвижным, диском, на которых расположены электро-.ды рабочего и опорного конденсаторов, о т 0 личающийсятем,что,сцельюповышения точности измерений за счет сниженияпогрешности преобразования от непараллельности электродов, рабочий и опорныйконденсаторы выполнены с равными на 5 чальными зазорами и емкостями, а их элек.троды разделены, каждый на дваизолированных коаксиально расположенных...
Емкостный датчик давления и способ его изготовления
Номер патента: 1820250
Опубликовано: 07.06.1993
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...известным методом сварки, пайки и т,п. Закрепляют конец второй гибкой диэ. лектрической основы на опорном основании, например, на клее ВС, Наматывают вторую диэлектрическую основу на первую диэлектрическую основу измеряя емкость электродов первой диэлектрической основы относительно электродов второй диэлектрической основы. Для создания большей жесткости второй диэлектрической основы желательно проводить намотку второй диэлектрической основы в несколько витков. Измерение емкостей проводят в технологическОм приспособлении, обеспечивающем разъемное контактирование с выводными дорожками электродов, наверхности первого и последующего витков клеем ВС; По достижении емкости между электродами первой и второй диэлектрических основ расчетной...
Устройство для измерения давления
Номер патента: 1825995
Опубликовано: 07.07.1993
МПК: G01L 9/12
Метки: давления
...6, для которого она является 25резонансным элементом, определяющимчастоту генерации а(Р).В процессе измерения давления Р оболочка 2 деформируется, что приводит к изменению зазора д, и соответственно, 30емкости электрического конденсатора емкостного преобразователя давления. Изменение емкости электрическогоконденсатора емкостного преобразователядавления, влечет за собой изменение электрической длины "длинной линии" 1, и соответственно, частоты о) (Р) генератора б,Отсутствие в изобретении иэгибных напряжений в емкостных преобразователях давления, работающих на принципе объемного обжатия, позволяет с одной стороны повысить верхний предел измеряемых давлений до нескольких тысяч атмосфер, а с другой стороны существенно понизить инерционность...
Емкостный матричный датчик давления
Номер патента: 1827018
Опубликовано: 07.07.1993
Автор: Казарян
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный, матричный
...между собой и на поверхности изделия скрепляют клеем,Диэлектрическую пленку 8 изготавливают из фольги. Марку металла и полиамидокислотного лака выбирают исходя изусловия и характера проводимогоэксперимента,На поверхности фольги наносят лак и поизвестной технологии получают толщинучетвертой диэлектрической пленки 8 (1 = 10.;. 40 мкм). Затем на поверхности фольгиметодам фотолитографии образуют ячейкиперфорации 14 (диаметром 36 мм, высотой с 2 = 5 . 50 мкм с объединенной мембраной 12.толщиной 11 = 550 мкм), экраном10 и выводом 9, Диаметр ячейки перфорации на поверхности металлической фольги36 мм. Ячейки перфорации 14, мембрану12 и обкладки 13 изготавливают из одногоцелого куска металлической фольги матричного или одноштучного исполнения,...
Устройство для измерения давления
Номер патента: 1830471
Опубликовано: 30.07.1993
Авторы: Жегалин, Зиновьев, Иванчиков, Круглов, Хомяков
МПК: G01L 9/12
Метки: давления
...операционного усилите,я 22 с емкостной обратной связью 23. Вход третьего масштабного преобразователя 16 подключен к источнику опорного напряжения, Вход шестого двухпозиционного переключателя 20 подключен к выходу двухпозиционного переключателя 10, а выходные контакты - ко входам третьего 22 и второго 11 операционных усилителей соответственно. Выходы второго 11 и третьего 22 операционных усилителей подключены к соответствующим входам вычитающего устройства 24,Принцип действия преобразователя основан на периодическом поочередном уравновешивании зарядов на опорном 1 и измерительных 2 или 15 конденсаторах. Генератор импульсов 14 управляет работой всех двухпозиционных ключей. По сигналу с генератора импульсов (фиг.2 е) включаются в схему...
Многоточечный датчик давления
Номер патента: 1356680
Опубликовано: 15.12.1993
Авторы: Войтешонок, Казарян, Лущейкин, Трофимова, Чикин, Шарафутдинова
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, многоточечный
...обкладки 2, выводные проводники 4, перемычки 6 и вокруг них защитный экран 7. Нижние обкладки 3, вывод 5 и второй защитный экран 8 металлизированы на верхней поверхности второй пленки, Введенные экраны 7 и 8 позволяют снизить паразитные емкостные связи между обкладками соседних датчиков, а также между обкладчиками и землей. Экраны 7 и 8 также обеспечивают защиту от внешних электромагнитных помех и исключают накопление электрического заряда, обусловленного трибозлектрическим эффектом при аэродинамическом обтекании, Кроме того, такое расположение верхних и нижних обкладок одна относительно другой обеспечивает дополнительную экранировку обкладок от внешних помех и защиту металлизированных экранов 7 и 8 от истирания при воздей-. ствии...
Способ изготовления матричных емкостных датчиков давления
Номер патента: 1450554
Опубликовано: 30.12.1993
Авторы: Блинов, Гузеева, Казарян, Петунин, Чикин
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчиков, емкостных, матричных
...и конечный продукт - полиимидНа промежуточных стадиях термообработки 180320 С происходит дальнейший процесс имидизации, Практически при темПолиимидная пленка, покрытая таким раствором. представляет собой комбинированный пленочный материал, обладающий высокой адгезионной способностью и проч ностью, При этом сохраняется высокая температурная стабильность выходного сигнала датчика, хорошая электрическая прочность и радиационная стойкость, высокая механическая прочность и гибкость.10 Затем эту пленку в течение 1.3 мин выдерживают в термостате при 7080 С. После термической обработки пленку охлаждают до температуры окружающей среды.Осаждение связующих слоев 9 последо вательно на обе поверхности диэлектрического слоя 8 при последующей...
Емкостный датчик давления и способ его изготовления
Номер патента: 1839236
Опубликовано: 30.12.1993
Автор: Белозубов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...например, при помощи лазерной сварки. В корпус устанавливают диэлектрическую пластину упругого элемента и упругий элемент, прижимают упругий элемент к пластинам усилиями. приложенными к периферии упругого элемента в зонах контактирования жил кабелей с контактными площадками электродов. Приваривают торец упругого элемента к торцу корпуса при воздействии этого усилия,Емкостный датчик давления работает следующим образом,Вследствие первоначальной вогнутости мембраны упругого элемента при изготовлении, заведомо превышающей величину деформации упругого элемента, в результате сборки после завершения изготовления образуется вогнутость упругого элемента, которая даже при отсутствии давления не позволит мембране перейти через положение...
Способ изготовления матричных датчиков давления
Номер патента: 1403764
Опубликовано: 15.01.1994
Авторы: Блинов, Гузеева, Казарян, Путенин, Сорокин, Чикин
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчиков, матричных
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ, при котором формируют пакет скрепленных между собой металлизированных диэлектрических пленок, выполняющих роль чувствительных элементов, и экранов, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов, повышения эксплуатационной надежности и расширения диапазона измерения в сторону малых давлений, пакет скрепленных между собой металлизированных диэлектрических пленок формируют последовательным нанесением нескольких слоев полиамидокислотного лака осаждением на металлическую подложку металлизированной пленки, после нанесения каждого слоя пленку подвергают термической обработке последовательно в течение 5 - 20 мин при 80 - 100oС, 5 - 10 мин при 140 - 160oС, 5 - 10 мин при...
Емкостный матричный датчик давления
Номер патента: 1635707
Опубликовано: 15.01.1994
Автор: Казарян
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный, матричный
...т,е, толщину верхней диэлектрической пленки 12 выбираюг в 4-6 раз меньше толщины диэФормула изобретения ЕМКОСТНЫИ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержа ций верхнюю и нижнюю диэлектрические пленки, при этом в каждой пленке на одной из ее поверхностей сформированы металлизированные обкладки конденсаторов прямоугольной формы, их выводы и расположенные с зазорол от обкладок и выводов экраны, расположенную между металлизированной поверхностью верхней пленки и нижней пленкой промежуточную диэлектрическую пленку, в которой выполнены сквозные отверстия под каждой обкладкой конденсатора, "энлвки, соединяющие сквозные отверстия между собой, и канал, сообщающий одно из отверстий с атмосферой, при атолл промежуточная диэлектрическая 5 10 15 20 25 30...
Емкостный матричный датчик давления и способ его изготовления
Номер патента: 1655193
Опубликовано: 30.01.1994
Автор: Казарян
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный, матричный
1. Емкостный матричный датчик давления, содержащий верхнюю и нижнюю диэлектрические пленки, на каждой из которых на одной из их поверхностей сформированы металлизированные обкладки конденсаторов, их выводы и с зазором от обкладок и выводов - экраны, расположенную между металлизированной поверхностью верхней пленки и нижней пленкой промежуточную диэлектрическую пленку, в которой выполнены сквозные отверстия под обкладками, соединяющие их канавки и канал, сообщающий одно из отверстий с атмосферой, при этом промежуточная диэлектрическая пленка выполнена из материала с модулем упругости меньшим и с коэффициентом диэлектрической проницаемости большим, чем у материала верхней и нижней пленок, а толщина нижней пленки больше толщины верхней пленки...
Емкостный матричный датчик давления
Номер патента: 1757309
Опубликовано: 30.01.1994
Автор: Казарян
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный, матричный
ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий не меньше трех полиимидных пленок, на первой из которых нанесен металлизированный экран, на котором закреплена вторая пленка, при этом на ней закреплена своей нижней поверхностью третья пленка, а на этой поверхности сформированы обкладки конденсаторов, каждая из которых выполнена прямоугольной формы длиной a, шириной b, выводы от каждой обкладки и с зазором c от обкладок и выводов экран, причем на верхней поверхности третьей пленки сформированы ответные обкладки конденсаторов аналогичной формы, их общий вывод и с зазором от обкладок и вывода металлизированный экран, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и точности в нем ширина и длина обкладок конденсаторов выбраны из...