H01J 27/16 — с использованием высокочастотного возбуждения, например сверхвысокочастотного
Высокочастотный ионный источник
Номер патента: 161817
Опубликовано: 01.01.1964
МПК: H01J 27/16, H01J 3/04
Метки: высокочастотный, ионный, источник
...ионного пучка. Механические усилия, возникающие при сборке и тепловых расширениях во время работы, воспринимаются компенсирующей пружиной 8, которая упирается в держатель 9 управляющего электрода. Для лучшей центровки все электроды фокусирующих линз имеют скользящую посадку.Когда в разрядной камере 10 возбужден разряд и между анодом 11 и катодом 2 приложено напряжение, ионный пучок, сформированный в ионнооптнческой системе, проходит через канал катода, как в любой зондовой системе вытягивания. Если потенциал управляющего электрода 7 равен или близок к потенциалу катода 2, тс ионный пучок проходит через управляющий электрод 7 и попадает в область системы фокусировки.При повышении потенциала управляющего электрода ионный пучок...
Камера нейтрализации мощных пучков ионов
Номер патента: 219705
Опубликовано: 01.01.1968
Авторы: Мухин, Свищев, Шмыглевский
МПК: H01J 27/16
Метки: ионов, камера, мощных, нейтрализации, пучков
...вымора газа, окна для прохожд отличающаяся тем, что, с сверхзвуковой струи-мише ных пучков образования глубоком ва. живания раения ионного целью полуни и перепаИзвестны камеры нейтрализации мощных пучков ионов с применением для создания сверхзвукового газового потока сопла Лаваля. В этих камерах в сверхзвуковой части сопля образуется толстый пристеночный слой медленного газа, который уменьшает эффективное выходное сечение сопла и увеличивает разворот струи, что не обеспечивает необходимой разности концентраций частиц в струе газа и в окружающем пространстве. 10Предлагаемая камера отличается от известных тем, что в ней применены суживающееся сопло, с помощью которого создается сверх. звуковой газовый поток с постоянным полем скоростей...
Устройство для извлечения ионов из высокочастотного ионного источника
Номер патента: 345540
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Никитин, Союзнар, Якушев
МПК: H01J 27/16
Метки: высокочастотного, извлечения, ионного, ионов, источника
...оптимальное напряжение вытягивания, при котором катодный ток имеет наименьшую величину. Оптимальное напряжение зависит от условий разряда и 25 состояния системы вытягивания. При отклонечии от оптимального напряжения износ катода резко увеличивается.В известных устройствах величинажения вытягивания устанавливается о 30 В предложенном устроистве обеспечено автоматическое управление вытягиванием с помощью обратной связи по катодному току. Для этого выпрямителем вытягивания управляет фазочувствптельный усилитель; последовательно выпрямителю включен источник небольшого синусоидального напряжения (например, обмотка трансформатора); последовательно с катодом включено измерительное сопротивление, на котором переменная составляющая...
Высокочастотный источник ионов
Номер патента: 1138853
Опубликовано: 07.02.1985
Авторы: Агафонова, Дьячков, Казанцев
МПК: H01J 27/16
Метки: высокочастотный, ионов, источник
...все же запыляется и 45 внутренняя поверхность экранирующего элемента, и участок камеры, который он затеняет. Таким образом, ресурс источника определяется временем запыления затененной поверхности до 50 образования замкнутого проводящего контура, Развитие площади затененной поверхности путем увеличения коли.чества трубок и увеличения их диаметра резко сокращает полезный объем, 55 занятый плазмой, что приводит к снижению интенсивности источника. При этом ресурс источника существенно не увеличивается, так как вероятностьзапыления каждой трубки одинакова.К недостатку известного источникаможно также отнести то, что трубкижестко прикреплены одним краем прорези к внутренней стенке разряднойкамеры. Обычно укрепление трубок производится способом...
Ускоритель плазмы
Номер патента: 1210604
Опубликовано: 09.01.1995
Авторы: Кубарев, Соловьев, Ташаев, Черник
МПК: H01J 27/14, H01J 27/16, H05H 1/24 ...
Метки: плазмы, ускоритель
УСКОРИТЕЛЬ ПЛАЗМЫ, содержащий разрядную камеру, образованную цилиндрическим анодом, имеющим на выходе форму сопла Лаваля, установленный внутри анода катод, систему формирования расходящегося магнитного поля и подачи рабочего газа, а также источник ускоряющего напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса и снижения примесей в потоке плазмы, в ускоритель введен СВЧ-генератор, подключенный к аноду и катоду, а размеры анода выбраны так, что разрядная камера представляет собой четвертьволновый коаксиальный резонатор с катодом в качестве центрального электрода.
Высокочастотный источник ионов
Номер патента: 1570549
Опубликовано: 20.03.1995
Авторы: Будянский, Зыков, Фареник
МПК: H01J 27/16
Метки: высокочастотный, ионов, источник
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий диэлектрическую разрядную камеру, ВЧ-индуктор, охватывающий камеру снаружи, потенциальный электрод, расположенный в объеме камеры, и ионно-оптическую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и надежности работы, потенциальный электрод соединен с источником ВЧ-напряжения через разделительный конденсатор, а ионно-оптическая система источника состоит из одного заземленного электрода сетки, причем площадь потенциального электрода больше площади электрода сетки.
Генератор потока отрицательных ионов водорода
Номер патента: 1738023
Опубликовано: 20.07.1999
Авторы: Балмашнов, Голованивский, Левченко
МПК: H01J 27/16
Метки: водорода, генератор, ионов, отрицательных, потока
Генератор потока отрицательных ионов водорода, содержащий резонатор с системой патрубков для ввода молекулярного газа, магнитную систему с постоянным магнитом и электромагнитными катушками запуска, электронный эмиттер, расположенный на выходе из резонатора, и систему извлечения ионов, выполненную в виде двух металлических сеток, отличающийся тем, что, с целью увеличения интенсивности потока отрицательных ионов водорода, в резонаторе размещена кварцевая камера, соединенная с вводом молекулярного газа, электронный эмиттер расположен в металлическом цилиндре, торцевая поверхность которого закрыта металлической сеткой, подключенной к отрицательному полюсу дополнительного источника питания, при...
Источник многозарядных ионов
Номер патента: 1136669
Опубликовано: 27.03.2000
Авторы: Голованивский, Дугар-Жабон, Сафонов
МПК: H01J 27/16, H01J 37/08
Метки: ионов, источник, многозарядных
Источник многозарядных ионов по авт.св. 760821, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности тока многозарядных ионов, резонатор снабжен диэлектрической камерой, а система извлечения ионов выполнена в виде высоковольтного и заземленного электродов, установленных в упомянутой камере.