Патенты с меткой «ниобия»

Номер патента: 1289305

Опубликовано: 10.12.1996

Авторы: Раппо, Редькин, Старков, Юнкин

МПК: H01L 21/306

Метки: ионного, кремнии, ниобия, реактивного, травления

Способ реактивного ионного травления ниобия на кремнии, включающий обработку образцов в плазме фторсодержащего соединения и кислорода при пониженном давлении, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости травления, в плазму дополнительно вводят хлорсодержащее газообразующее соединение при объемном отношении его к фторсодержащему газу (0,1 1) 1 и процесс проводят при плотности мощности разряда от 0,06 до 1,45 Вт/см2.

Номер патента: 807665

Опубликовано: 20.05.1999

Авторы: Еремеев, Репников, Хусаинов, Чужко, Чуманов

МПК: C23C 16/32, C23C 16/56

Метки: карбидов, ниобия, тантала

Способ получения изделий из карбидов ниобия и тантала, включающий газофазное осаждение металлов из их галогенидов, например пентахлорида ниобия или тантала, на нагретую углеродную подложку, отделение образовавшегося слоя карбидов металлов от подожки, термическую обработку слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности химического состава по толщине слоя, осаждение галогенида проводят в присутствии инертного газа при мольном их соотношении 1 : 10 - 1 : 20 при температуре подложки 2100 - 2500oC в течение 30 - 500 мин, а термическую обработку осуществляют также в среде галогенида с инертным газом при мольном соотношении 1 : 15 - 1 : 30 и температуре осаждения в течение...

Номер патента: 1141694

Опубликовано: 10.06.1999

Авторы: Быстрова, Зеликман, Леонова, Назаров, Плотников, Стембер

МПК: C01G 33/00, C01G 35/00

Метки: ниобия, оксидов, тантала

Способ получения оксидов ниобия и тантала взаимодействием пентахлоридов этих элементов с диоксидом азота при нагревании, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности получения рентгеноаморфных оксидов в активной форме, нагревание твердых хлоридов ведут сначала до 50 - 110oC, выдерживают при этой температуре 45 - 60 мин, затем в течение 15 - 20 мин поднимают температуру до 160 - 200oC и проводят выдержку в течение 30 - 60 мин.

Номер патента: 1485972

Опубликовано: 20.02.2000

Авторы: Марченко, Никулов, Розенфланц, Старков

МПК: H01L 39/24

Метки: ниобия, пленок, сверхтонких

Способ получения сверхтонких пленок ниобия, включающий напыление и анодное окисление, отличающийся тем, что, с целью повышения временной стабильности пленок, анодное окисление первоначально проводят при плотности тока, не превышающей 0,3 мА/см2, до достижения заданной толщины пленки, а затем в режиме постоянного напряжения в течение 30 - 40 мин.

Номер патента: 1503227

Опубликовано: 27.08.2003

Авторы: Авакян, Боровинская, Лысиков, Мержанов, Нерсесян

МПК: C01G 29/00

Метки: висмута, ниобия, оксидов, тантала, титана, четырехкомпонентных

Способ получения четырехкомпонентных оксидов висмута, титана и ниобия или тантала высокотемпературной обработкой смеси, содержащей простые оксиды соответствующих элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности электрофизических параметров продукта при одновременном повышении производительности процесса, в смесь дополнительно вводят смесь порошков титана и ниобия или тантала с дисперсностью 1-80 мкм, поддерживая соотношение дисперсности порошков металлов и оксидов (0,6-1,6):1, термообработку ведут в режиме горения в потоке кислорода, и компоненты берут в следующем соотношении, мас.%:Оксид титана - 1,25-7,04Оксид ниобия или тантала - 4,95-11,63Порошок титана...