Способ получения изделий из карбидов ниобия и тантала

Номер патента: 807665

Авторы: Еремеев, Репников, Хусаинов, Чужко, Чуманов

Описание

Способ получения изделий из карбидов ниобия и тантала, включающий газофазное осаждение металлов из их галогенидов, например пентахлорида ниобия или тантала, на нагретую углеродную подложку, отделение образовавшегося слоя карбидов металлов от подожки, термическую обработку слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности химического состава по толщине слоя, осаждение галогенида проводят в присутствии инертного газа при мольном их соотношении 1 : 10 - 1 : 20 при температуре подложки 2100 - 2500oC в течение 30 - 500 мин, а термическую обработку осуществляют также в среде галогенида с инертным газом при мольном соотношении 1 : 15 - 1 : 30 и температуре осаждения в течение 10 - 250 мин.

Заявка

2832499/21, 25.10.1979

Вологодский политехнический институт, Институт физической химии АН СССР

Чужко Р. К, Репников Н. Н, Еремеев В. А, Хусаинов М. А, Чуманов Ю. М

МПК / Метки

МПК: C23C 16/32, C23C 16/56

Метки: карбидов, ниобия, тантала

Опубликовано: 20.05.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-807665-sposob-polucheniya-izdelijj-iz-karbidov-niobiya-i-tantala.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения изделий из карбидов ниобия и тантала</a>

Похожие патенты