Способ получения сверхтонких пленок ниобия
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1485972
Авторы: Марченко, Никулов, Розенфланц, Старков
Описание
Заявка
4261290/25, 12.06.1987
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Марченко В. А, Никулов А. В, Розенфланц В. Ж, Старков В. В
МПК / Метки
МПК: H01L 39/24
Метки: ниобия, пленок, сверхтонких
Опубликовано: 20.02.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1485972-sposob-polucheniya-sverkhtonkikh-plenok-niobiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения сверхтонких пленок ниобия</a>