Способ получения сверхтонких пленок ниобия

Номер патента: 1485972

Авторы: Марченко, Никулов, Розенфланц, Старков

Описание

Способ получения сверхтонких пленок ниобия, включающий напыление и анодное окисление, отличающийся тем, что, с целью повышения временной стабильности пленок, анодное окисление первоначально проводят при плотности тока, не превышающей 0,3 мА/см2, до достижения заданной толщины пленки, а затем в режиме постоянного напряжения в течение 30 - 40 мин.

Заявка

4261290/25, 12.06.1987

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Марченко В. А, Никулов А. В, Розенфланц В. Ж, Старков В. В

МПК / Метки

МПК: H01L 39/24

Метки: ниобия, пленок, сверхтонких

Опубликовано: 20.02.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1485972-sposob-polucheniya-sverkhtonkikh-plenok-niobiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения сверхтонких пленок ниобия</a>

Похожие патенты