Розенфланц

Номер патента: 1485972

Опубликовано: 20.02.2000

Авторы: Марченко, Никулов, Розенфланц, Старков

МПК: H01L 39/24

Метки: ниобия, пленок, сверхтонких

Способ получения сверхтонких пленок ниобия, включающий напыление и анодное окисление, отличающийся тем, что, с целью повышения временной стабильности пленок, анодное окисление первоначально проводят при плотности тока, не превышающей 0,3 мА/см2, до достижения заданной толщины пленки, а затем в режиме постоянного напряжения в течение 30 - 40 мин.

Номер патента: 1737933

Опубликовано: 10.02.1996

Авторы: Марченко, Розенфланц

МПК: C23C 14/35

Метки: катодный, узел

КАТОДНЫЙ УЗЕЛ для магнетронного напыления кислородсодержащих тонких пленок, содержащий катод-мишень с конусной рабочей поверхностью, магнитную систему и заземленный экран, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет снижения неоднородности состава пленок на подложках большого диаметра, рабочая поверхность катода-мишени выполнена в виде выпуклого конуса с углом при его вершине, где = 120-160 .

Номер патента: 816894

Опубликовано: 30.03.1981

Авторы: Иванов, Розенфланц

МПК: B65G 47/36

Метки: конвейера, подвес-ного, снятия

...так как еплатформа пересекает путизделий. В силу этого услопроизводительно.Цель изобретения - упструкции и повышение проности устройства.Указанная цель достигачто механизм съема выполленточного транспортераной направляющей, располрабочей ветвью.Дугообразная направляновка с воэможностью регпо высоте.Устройство позволяетот применения подъемнойкомпрессора, конечных вы(датчиков) конусообразнопроизводить снятие изделного ко:вейера беэ его оНа фиг. 1 изображенообщий вид; на фиг. 2 - рфиг. 1 (исходное положенва); на фиг. 3 - разрезФормула изобретения 1. Устройство для снятия изделийс подвесного конвейера, включающеекорытообраэную подставку с направляющими роликами и механизм съема,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью упрощения конструкции...