Способ выявления примесной неоднородности в монокристаллах кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 526037
Авторы: Воронов, Гришин, Катерушина, Лайнер, Носова
Текст
Всеооеэиъкаатантио-. хна есифеевет Е,О 1 И ; 526037ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистицеских Реотубпиквки о рисоединение Государственный намптет Свевтв Министров СССР пе делам иеаеретений и открытийГосударственный ордена Октябрьсокй Революции нвучноисследоввтельский и проектный институт редкометвллическопромьпцленности явител 54) СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ПРИКЕСНОЙ НЕОДНОРОДНОСТ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯнеодноройнности,Кроменой сложномени (двусрасходом вемых в раты НГ; нна сти по всей исследуемой поверх того, методстью и продтвдийность грессивныхствовх (кон 3 , й с Я с дои) отличветс ост оч- ьречжительноцессв) остью ольших вших компон в, использунные кислонтриро ь мичесойдву 5 г/л Пре дольньлов крд опрот трохи смеси Изобретение относится к области электрхимической обработки полупроводниковых мтеривлов, в частности кремния. Известен способ электрохимического трввления кремния в,электролитвх, содерж плввиковую кислоту ЦОднако этот способ имеет высокую скорость трввления, в результвте чего поверхность имеет равномерный фронт травления,И;вестен также способ выявления примес- ной неоднородности в монокриствллвх кремния электрохимическим трввлением в электролите, содержвшем плввиковую кислоту 21,Однако получаемые картины травления имеет низкое качество, особенно в случве высокоомных кристаллов электронного и дырочного типа проводимости и кристаллов, легироввнных бором и фосфором с удельным сопротивлением 10 ом см и 0,5 ом см соответственно. Причиной низкого квчествв кар 20 тин трввления является пленкв, образующаяся прп электрохимическом травлении нв поверхности исследуемого образца. Химическим травлением не удается полностью удалить пленку, сохранив при этом четкую картину 25Цель изобретения - повысить четкоскартин примерной неоднородности.Это достигается тем, что электрохикое травление ведут в смеси 25-30;о-иплввиковой кислоты с водным растворохромовокислого аммония концентрвциейвзятых в соотношении 1;4. длвгвемым способом исследованы прое и поперечные сечения монокриствлемния электронного типа проводимости, енные по методу Чохрвльского и метотигельной зонной плавки судельным явлением от 0,.5 до 1000 омсм. Элек. мическое травление осуществляют в 25-30"-ной плввиковой кислоты с2с"ф " . 526037 Составитель Е. БычковТехред О. Луговая; Корректор С, Шекмар Редактор, О. Стенина Заказ 5139/483 Тираж 963 Подписное ИНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 3.3035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 родным раствором двухромовокислого аммония в соотношении 1:4, Исследуемый обраОец является анодом, а като, ом служич платиновая танталовая) пластина. Плотность то;гка 30 ма/см, время травления 5-15 мин,Способ может широко применяться для контроля выращивания монокристаллов полупроводников,О Формула изобретения Способ выявления примесной неоднородно .,ти.в монокристаллах кремния электрохими-, 1 Ьческим травлением, в электролите, содержашем плавиковую кислоту, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышениячеткости картин примесной неоднородности, электрохимическое травление ведут в смеси 2530",4-ной плавиковой кислоты с водным раствором двухрояовокислого аммония концентрацией 25 г/л, взятых в соотношении 1:4.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. РИйрь неьеагсЬ ВероИ,5 оурещеМь.1973, % 1, р 42,2, Мильвидский М, Г., Беркова А. В.Научные труды "Гиредмета". Т, ХЦ 11974,с, 134-141 (прототип),1
СмотретьЗаявка
2137792, 15.05.1975
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ НАУЧНО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И ПРОЕКТНЫЙ ИНСТИТУТ РЕДКОМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ "ГИРЕДМЕТ"
ВОРОНОВ ИГОРЬ НИКОЛАЕВИЧ, ГРИШИН ВИКТОР ПЕТРОВИЧ, КАТЕРУШИНА ЛЮБОВЬ ПЕТРОВНА, ЛАЙНЕР ЛЮДМИЛА ВЛАДИМИРОВНА, НОСОВА ЕЛЕНА АЛЕКСЕЕВНА
МПК / Метки
МПК: H01L 21/3063
Метки: выявления, кремния, монокристаллах, неоднородности, примесной
Опубликовано: 25.08.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-526037-sposob-vyyavleniya-primesnojj-neodnorodnosti-v-monokristallakh-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ выявления примесной неоднородности в монокристаллах кремния</a>
Предыдущий патент: Генератор водопровода
Следующий патент: Устройство для механического ограничения угла поворота вращающихся масс
Случайный патент: Устройство для выравнивания торцов пакетов длинномерных грузов в полувагонах