Патенты с меткой «примесной»

Номер патента: 526037

Опубликовано: 25.08.1976

Авторы: Воронов, Гришин, Катерушина, Лайнер, Носова

МПК: H01L 21/3063

Метки: выявления, кремния, монокристаллах, неоднородности, примесной

...кристаллов, легироввнных бором и фосфором с удельным сопротивлением 10 ом см и 0,5 ом см соответственно. Причиной низкого квчествв кар 20 тин трввления является пленкв, образующаяся прп электрохимическом травлении нв поверхности исследуемого образца. Химическим травлением не удается полностью удалить пленку, сохранив при этом четкую картину 25Цель изобретения - повысить четкоскартин примерной неоднородности.Это достигается тем, что электрохикое травление ведут в смеси 25-30;о-иплввиковой кислоты с водным растворохромовокислого аммония концентрвциейвзятых в соотношении 1;4. длвгвемым способом исследованы прое и поперечные сечения монокриствлемния электронного типа проводимости, енные по методу Чохрвльского и метотигельной зонной плавки...

Номер патента: 1548709

Опубликовано: 07.03.1990

Авторы: Добровинская, Литвинов, Пищик

МПК: G01N 13/00

Метки: диффузионных, констант, кристаллических, неоднородностью, примесной, телах

...такой, чтобы оптическая плотность в максимуме и минимуме примеснойполосы соответствовала прямолинейному участ 5 ку характеристической кривой 1 = Й(8) где 1 - интенсивность излучения; Я - почернение.По данным фотометриоования пленки определяют отношение 1 я 1/1 являющееся функцией концентрации Сгде 1 - интенсивность света, прошедшего через фотопленку, снятую с исследуемого образца; 1 - интенсивность света, прошедшего через фотопленку от образца, не содержащего примеси, Иа фиг.2 показано распределение 1 р, 1/1 в отдельных областях т,е. дана картина распределения концентрации диффундирующвй примеси в различных точках исходного образца. Затем образец помещали в высокочастотную печь типа "Кристалл". тепловая зона которой характеризовалась...