Катерушина

Номер патента: 526037

Опубликовано: 25.08.1976

Авторы: Воронов, Гришин, Катерушина, Лайнер, Носова

МПК: H01L 21/3063

Метки: выявления, кремния, монокристаллах, неоднородности, примесной

...кристаллов, легироввнных бором и фосфором с удельным сопротивлением 10 ом см и 0,5 ом см соответственно. Причиной низкого квчествв кар 20 тин трввления является пленкв, образующаяся прп электрохимическом травлении нв поверхности исследуемого образца. Химическим травлением не удается полностью удалить пленку, сохранив при этом четкую картину 25Цель изобретения - повысить четкоскартин примерной неоднородности.Это достигается тем, что электрохикое травление ведут в смеси 25-30;о-иплввиковой кислоты с водным растворохромовокислого аммония концентрвциейвзятых в соотношении 1;4. длвгвемым способом исследованы прое и поперечные сечения монокриствлемния электронного типа проводимости, енные по методу Чохрвльского и метотигельной зонной плавки...