Токопроводящий материал

Номер патента: 518166

Авторы: Алоис, Манфред

ZIP архив

Текст

(и) 518166 Союз Соеетскик Соаиалистическик Республик(31) Р 2253490.3 (33) ФРГ осударственныи комит овета Министров ССС 621,396.69-181.5 (088.8) 3) публиковано 15.06.76. Бюллетень2 ата опубликования описания 30.07.76 енин о дела ытни(72) Авторы изобретен Иностранцы анфред Роши и Алоис Ш(ФРГ) Иностранная фирма Сименс АГ(71) Заявител 54) ТОКОПРОВОДЯЩИЙ МАТЕРИА ий мате Известны токопроводящие материалы преимущественно для элементов тонкопленочных схем на основе сплава тантал - алюминий с содержанием алюминия 3 - 20 ат. %. При такой низкой концентрации алюминия тантал - алюминиевые сплавы имеют форму кристаллов -тантала с высоким отрицательным температурным коэффициентом электрического сопротивления и низкой температурной стабильностью.Известны также тантал - алюминиевые сплавы с содержанием алюминия 25 - 60 ат. %, применяемые для металлопленочных резисторов. Эти резисторы имеют несколько высшую стабильность по сравнению с резисторами из питрида тантала,значений удельния температурый материал соследующих коДля расширени ного сопротивлен ной стабильности держит компонен личествах, ат. %: Алюминий Танталдиапазоня и повышпредлагаеы сплава 0 - 98 2 - 20 ваемыи токопропредставляет сой в вакууме алю2. На чертеже показан опись водящий материал, разрез.Токопроводящий материал бой подложку 1 с напыленно миниево-танталовой пленкой Изготавливают токопроведующим образом. Катод, образованный из алюминия и тантала, распыляется посредством высокочастотного разряда при давлении аргона около 1,5 10 -тор. Параметры напыления: напряжение 2,5 кВ, ток 0,6 А, частота тока 27,12 мГц, Расстояние между мишенью и подложкой составляет около 4 см, время напыления выбирают в зависимости от требуемой толщины пленок в пределах 5 - ЗО мин,Описываемый токопроводящий материалимеет широкий диапазон значений удельного сопротивления и высокую температурную стабильность. Токопроводящие материалы из чистого тантала или алюминия, а также из тантал - алюминиевого сплава с содержанием алюминия 50 ат. % при ЬООС на воздухе 20 полностью окисляются уже через несколькочасов. Предложенный материал даже после 20-часового отжига при 500 С на воздухе не имеет заметного окисления, поэтому резисторы, изготовленные из такого материала, обладают 25 высокой стабильностью даже при высокихэлектрических нагрузках и температурах окружающего воздуха,ри этом можно отказаться от защитных пленок или заливки. Кроме того, необходимо отметить высокие искровые 30 напряжения - 400 В для сплава с 7 ат. %518166 4 Искровое напряжение при формовке в 0,1 % -ном растворе НзРО 4, В1 О - в УОК рр глУоК 1 Р мкОм/смРешетка Состав сплава А + 15 ат. % Та А 1+7 ат. % Та+100 АлюминийТантал 80 - 98 2 - 20 Составитель Т. ьогдаловаактор А. Пейсоченко Техред Т. Курилко Корректор О. Тюрина Заказ 1649 2Ц 1-1 ИИП Изд440 Государственного колп по делам изобрете 3035, Москва, Ж, РТираж 963 ета Совета Министров Г ий и открытий аушская наб., д. 4,5ПодписноСР Типография, пр. Сапунов тантала в алюминии и 300 В для сплава с 15 ат. % тантала в алюминии, Поэтому эти обе фазы могут служить в качестве основных слоев для высококачественных конденсатоТемпературная стабильность, удельное электрическое сопротивление, температурный коэффициент сопротивления ТКн и поведение при формовке таковы, что каждая из обеих фаз может служить основным слоем как для резисторов, так и для конденсаторов. При этом резисторы и конденсаторы могут быть элементами интегральных схем или дискретными элементами. Сплав с 7 ат. 7 О Та сравнительно низкоомен, так что он может применяться для печатных проводников. ров, Измерение искрового напряжения производилось в 0,1%-ном растворе НзР 04.Свойства сплавных пленок иллюстрирует таблица,5 Формула изобретения Токопроводящий материал преимущественно для элементов тонкопленочных схем на основе сплава тантал - алюминий, о т л и ч а ю щ и й 10 ся тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного сопротивления материала и повышения его температурной стабильности,он содержит указанные компоненты сплава в следующих количествах, ат. %: 5

Смотреть

Заявка

1968808, 30.10.1973

МАНФРЕД РОШИ, АЛОИС ШАУЭР

МПК / Метки

МПК: H01B 1/02

Метки: материал, токопроводящий

Опубликовано: 15.06.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-518166-tokoprovodyashhijj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Токопроводящий материал</a>

Похожие патенты