Полупроводниковое устройство

Номер патента: 397118

Авторы: Александров, Ловягин, Торопов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ пц 397 И 8 Союз Советских Социалистических(43) Опубликовано 30.08.82, Бюллетень32 (45) Дата опубликования описания 30.08.82 53) УДК 621.382Л. Н, Александров, Р, Н. Ловягин и А. И. Торопов Институт физики полупроводников Сибирского отделени АН СССР54) ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ УСТРОЙСТВ 2 тивным приры и схемам шиныии.Сов Поставл нием накремния, сталличес нове кото ская йлен ки между рик - реше Пол структ манияИзобретение относится к акборам на основе МДП-структумикроэлектроники.Известны приборы со структурой металл- ,диэлектрик-полупроводник, но практически 5 вся микроэлектроника базируется на кремнии, так как быстродействующие МДП- структуры на германии невозможно получить из-за неустойчивости поверхности германия покрытой окисной пленкой, Од О нако кремний обладает малой подвижностью электронов и дырок, что ограничивает быстродействие схем. Возможность применения германия для создания МДП- структур потенциально расширяет частот ную область работы активных приборов и быстродействие схем микроэлектроники.Целью изобретения является расширение ,частотной области применения МДП-струк-туры путем использования в качестве оспо вы совершенного монокристалла германия. енная цель достигается образоваповерхности германия пленки продолжающей совершенную кри кую структуру германия, на осрой сформирована диэлектричека. Толщина кремниевой прослойгерманием и границей диэлекттка кремния много меньше тол пространственного заряда в герма ершенные пленки кремния толщиной 20 - 1000 А на германии получены методом ионного распыления кремния в вакууме при таких температурах, когда свойства германия не изменяются: образование диэлектрической пленки достигается реактивным распылением (возможны другие известные методы).Предложенная МДП-структура состоит из металла, полупроводника-монокристалла германия, сверху которого нанесена тонкая в 30 - 100 А монокристаллическая пленка кремния, на основе которой сформирован диэлектрик. Толщина пленки кремния существенно меньше длины Дебая в используемом германии. Такая прослойка кремния используется с целью сочленения решетки кремния с диэлектрической пленкой с малой плотностью состояния на границе их раздела для управления концентрацией носителей тока в области пространственного заряда в германии.Фор мул а изобретения упроводниковое устройство МДП- уры на основе монокристалла гери диэлектрика - двуокиси кремния,397118 Техред А. Камышникова Корректор Е. Михеева Редактор Л. Письман Заказ 1180/9 Изд, Ма 208 Тираж 758 Подписное НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 отличающееся тем, что, с целью расширения его функциональных возможностей, между указанными слоями расположена монокристаллическая пленка кремния, толщиной меньше длины Дебаевского экранирования в германии.

Смотреть

Заявка

1634185, 26.03.1971

ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ СО АН СССР

АЛЕКСАНДРОВ Л. Н, ЛОВЯГИН Р. Н, ТОРОПОВ А. И

МПК / Метки

МПК: H01L 27/13

Метки: полупроводниковое

Опубликовано: 30.08.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-397118-poluprovodnikovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Полупроводниковое устройство</a>

Похожие патенты