Способ выращивания монокристаллов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
262860 Союз Советских Соддиалистическик РеспубликОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ симое от авт. свидетельства-л. 12 д, 17/О аявлено 18 Х 1.1968 ( 1249099(2присоединением заявки-Комитет по деламобретений и открытийри Совете МинистровСССР МПК В 01 дУДК 669.054-172 (088,8) орите Опубликован 11.1970, Бюллетень М та опубликования описания 11.1.19 Авторыизобретени, А, Рыбин А. Н, Киргин нститут неорганической химирского отделения АН 1 СС ь аявите ОКРИСТАЛЛОВ ИВАНИ СПОСОБ В 2 Изобретение относится преимущественно к области выращивания из расплава моно- кристаллов полупроводниковых материалов.Известен способ выращивания монокристаллов направленной кристаллизацией расплава в трубчатом контейнере, установленном горизонтально или под углом к горизонту и вращающемся вокруг продольной оси. Монокристалл, выращиваемый из расплава, занимающего часть объема контейнера, повторяет форму внутренней полости контейнера, в связи с чем он имеет повышенную плотность дислокаций,По предлагаемому способу кристаллизацию осуществляют при начальном осевом градиенте температуры в твердой фазе не менее 100 С на 1 см и перегреве расплава до гемпературы не менее, чем на 100 С, превышающей температуру плавления кристаллизуемого материала.Скорость вращения контейнера поддерживают в пределах 300 - 400 об,мин. Это отличие устраняет контакт расплава у фронга кристаллизации со стенками контейнера, вследствие чего монокристалл растет в свободных условиях и имеет меньшую плотность дислокадий,На чертеже изображена схема, поясняющаяредлагаемый способ,Исходный материал загружают в трубчатыйконтейнер 1 из графита или кварца в количестве, при котором распла загр) женного кдатериала занимает 40 - 70% объема внутренней5 полости контейнера. Контейнер устанавливают под углом 0 - 5 к горизонту и вращают со скоростью 300 - 400 об(иан. Выращивание производят на затравку 2, плотно входящую в полость контейнера. Расплав перегревают до 10 температуры не менее чем на 100 С вышетемпературы плавления кристаллизуемого материала, Затравку принудительно охлаждают для создания в твердой фазе начального осевого градиента температуры не менее 100 С 15 на 1 слд. В этих условиях происходит расслоение расплава по длине контейнера на а-расплав, примыкающий к затравке, и р-расплав, а-расплав более вязкий и плохо смачивает стенки контейнера. В связи с этим монокрнс талл, кристаллпзующпйся из а-расплава, растет в свободном состоянии и имеет дпаметр несколько меньше внутреннего диаметра контейнера. По данному способу в контейнере с внут.ренним диаметром 16 ллт получают монокрис таллы германия, имеющие плотность дислокаций (ддсключая последние 20 лдлд) 10 з - 104 с,ц, длиной 140 - 150 лдлд. Расслоение расплава германия происходпт при температуре -расплава 1200 С и осевом градиенте температуры в за- ЗО травке 200 С на 1 сль,Заказ 3769/15 Тираж 48 С ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Рауьпская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 1. Способ выращивания монокристаллов,например полупроводников, направленной крис. таллизацией расплава в трубчатом контейнере, установленном под углом к горизонту не более 5, с частичным заполнением полости контейнера расплавом исходного материала и вращением контейнера вокруг продольной оси, отличающийся тем, что, с целью устранения контакта расплава со стенками контейнера у фронта кристаллизации, кристаллизацию осуществляют при начальном осевом градиенте температуры в твердой фазе не менее 100 на 1 слю, причем расплав перегревают до тем пературы не менее, чем на 100 С, превышающей температуру плавления кристаллизуемого материала.2, Способ по п. 1, отличающийся тем, что,.с целью улучшения условий перемешивания 10 расплава, скорость вращения контейнера поддерживают в пределах 300 - 400 об/мин,
СмотретьЗаявка
1249099
А. Н. Киргинцев, Ю. А. Рыбин, Институт неорганической химии Сибирского отделени
МПК / Метки
МПК: C30B 11/02
Метки: выращивания, монокристаллов
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-262860-sposob-vyrashhivaniya-monokristallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ выращивания монокристаллов</a>
Предыдущий патент: Автоклав для выращивания кристаллов в гидротермальных условиях
Следующий патент: 262861
Случайный патент: Винтовая машина