Контейнер для выращивания кристаллов из расплава и способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 976726
Авторы: Браташевский, Васильков, Дорошенко, Стоян
Описание

2. Способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце путем термического разложения CH3SiCl3 в потоке водорода, отличающийся тем, что, с целью получения облицовки в виде оптически прозрачной шероховатой пленки, осаждение ведут при концентрации CH3SiCl3 в водороде 0,05-0,5 об.%, перемещая зону нагрева со скоростью 0,125-2,0 м/ч вдоль направления газового потока при его скорости 4,66-7,56 м/ч.
Заявка
3229589/26, 28.11.1980
Донецкий физико-технический институт АН УССР
Браташевский Ю. А, Васильков В. М, Дорошенко Н. А, Стоян А. С
МПК / Метки
МПК: C30B 15/10, C30B 25/02
Метки: выращивания, кварце, контейнер, кристаллов, облицовки, расплава, углеродсодержащей
Опубликовано: 20.11.2002
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-976726-kontejjner-dlya-vyrashhivaniya-kristallov-iz-rasplava-i-sposob-polucheniya-uglerodsoderzhashhejj-oblicovki-na-kvarce.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Контейнер для выращивания кристаллов из расплава и способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце</a>
Предыдущий патент: Устройство для обнаружения дефектов оболочек облученных тепловыделяющих элементов
Следующий патент: Способ получения монокристаллов in sb lt; bigt;
Случайный патент: Струговая установка