Контейнер для выращивания кристаллов из расплава и способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце

Номер патента: 976726

Авторы: Браташевский, Васильков, Дорошенко, Стоян

Описание

1. Контейнер для выращивания кристаллов из расплава, выполненный из кварца с углеродсодержащей облицовкой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения смачивания стенок контейнера расплавом и обеспечения возможности наблюдения за процессом кристаллизации, облицовка выполнена из -карбида кремния в виде пленки с шероховатой поверхностью.
2. Способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце путем термического разложения CH3SiCl3 в потоке водорода, отличающийся тем, что, с целью получения облицовки в виде оптически прозрачной шероховатой пленки, осаждение ведут при концентрации CH3SiCl3 в водороде 0,05-0,5 об.%, перемещая зону нагрева со скоростью 0,125-2,0 м/ч вдоль направления газового потока при его скорости 4,66-7,56 м/ч.

Заявка

3229589/26, 28.11.1980

Донецкий физико-технический институт АН УССР

Браташевский Ю. А, Васильков В. М, Дорошенко Н. А, Стоян А. С

МПК / Метки

МПК: C30B 15/10, C30B 25/02

Метки: выращивания, кварце, контейнер, кристаллов, облицовки, расплава, углеродсодержащей

Опубликовано: 20.11.2002

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-976726-kontejjner-dlya-vyrashhivaniya-kristallov-iz-rasplava-i-sposob-polucheniya-uglerodsoderzhashhejj-oblicovki-na-kvarce.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Контейнер для выращивания кристаллов из расплава и способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце</a>

Похожие патенты