Способ отжига монослойных эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок для создания автосмещения

СОЮЗ СО 8 ЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 19) (111 11 С 11 14 ЗСЕСЖОЗН 4% ТЕ;н ." З ЬИЗЛМОТЕе:"1 ПИСА АВТООКО твенныйий инженерноГерасимчук,нцов 8) 303,1970.0 3. ГА ИОНОСЛОИНЫХ . ЕРРИТ-ГРАНАТОВЫХ НИЯ АВТОСИЕЩЕНИЯ(54) СПОСО ЗПИТАКСИАЛ ПЛЕНОК ДЛЯ (57) Изобр лительной пользовано ОТ НЫХ СОЗ вычи относитс тениехнипри и е и мож поми готовле ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫ(56) Патент США У 3529кл, 340-174, опублик.Патент США 9 371464кл, 340-174, опублик,нающих устройств на цилиндрических магнитных доменах (1 ЩЦ), Целью изобретения является упрощение получения эпитаксиальных феррит-гранатовых пле нок (ЭФГП) с автосмещением. Подложку с ЭФПГ помещают в вакуумную отжиговую камеру, производят откачку камеры, поднимают температуру в камере до 505-520 С и выдерживают ЭФГП в изотермическом режиме в течение времени, необходимого для получения заданной величины автосмещения, производят стабилизирующее охлаждение образца со скоростью 5-10 С/мин доо температуры 150 С, выключают нагреватель отжиговой камеры и ожидают ае охлаждения ЗФГП внутри камеры. Способ позволяет получать дешевые доменосодержащие пленки с малыми размерами ЦМД и низким требуемым полем смещения. 1 з,п. ф-лы.Предлагаемый способ отжига монослойных ЭФГП позволяет получать доменосодержащие пленки с малыми размерами ЦМД и низким требуемым полем смещения. Он значительно проще и дешевле способа получения доменосодержащих пленок с автосмещением на основе многослойных ЭФГП. Составитель Г,АникеевТехред А.Кравчук Корректор И,Муска Редактор Л.Пчолинская Заказ 4439/54 Тираж 589 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва Ж, Раушская наб., д,4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 1 13416Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано при изготовлении запоминающихустройств на цилиндрических магнитных доменах (ЦМД).Цель изобретения - упрощение технологии получения эпитаксиальныхферрит-гранатовых пленок с. автосмещением, 10Способ осуществляется следующимобразом.Подложку с нанесенной на нееэпитаксиальной Феррит-гранатовойпленкой (ЭФГП) помещают в вакуумнуюотжиговую камеру, обеспечивающуюградиент температуры по поверхностипленки не более двух градусов. Производится безмасляная откачка объемакамеры до величины давления порядка10" мм рт,ст. Включают нагревателькамеры и температуру поднимают дозаданной со скоростью, не превышаюощей 150 С/мин. После достижения темапературы в диапазоне 505-520 С подложку с ЭФГП выдерживают в изотермическом режиме в течение времени,необходимого для получения заданнойвеличины автосмещения. После этогопроизводится стабилизирующее охлаж- Зоодение образца со скоростью 5-10 С/миндо 150 С, Затем нагреватель отжиговой камеры выключают и остывание. образца происходит вместе с медленнымостыванием камеры. Откачка вакуумнойкамеры производится в течение. всегопроцесса термообработки.Время вьдержки ЭФГП в изотермическом режиме для конкретного типапленки с заданными параметрами определяется экспериментально., Например,величина поля автосмещения кальций.германиевой ЭФГП толщиной 3 мкм при 79 2изотермической вьдержке 10 ч ь Н=407 от поля смещения пленки, а для пленки толщиной 5 и 7 мм при изатермической выдержке 15 и 20 ч величина ьН соответственно равна 30 и 203, При этом способ обеспечивает разброс параметров образцов равных по толщине ЭФГП не более 27. При увеличенииа скорости охлаждения до 20-30 С мин разброс параметров возрастает до 10-157. Формула изобретения 1. Способ отжига монослойных эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок для создания автосмещения, основанный на жидкофазной эпитаксии, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения получения эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок с автосмещением, феррит-гранатовую пленку подвергают низкотемпературному вакуумному отжигу при 505-520 С с газотермической выдержкой и последующим стабилизирующим охлаждением.2. Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью уменьшения разброса параметров эпитаксиальных феррит-гранатовых пленок после отжига, стабилизирующее охлаждение ее производят со скоростью 5-10 град/мин,