Способ получения пленок твердых растворов и устройство для его осуществления

Номер патента: 1307905

Авторы: Васин, Неизвестный, Шумский

Описание

1. Способ получения пленок твердых растворов, включающий напыление на подложку из молекулярного пучка элементов твердого состава, образуемого при их нагреве в источниках, в сверхвысоком вакууме, отличающийся тем, что, с целью получения пленок с заданным профилем химического состава по толщине, на поверхность растущей пленки направляют монохроматический электронный пучок с энергией, в 1,5-3 раза превышающей энергию возбуждения характеристического рентгеновского излучения наиболее тяжелого химического элемента твердого раствора, под углом к поверхности подложки 1-5o, регистрируют возбуждаемый в поверхностном слое пленки спектр рентгеновского излучения, сравнивают отношение интенсивностей характеристических линий элементов с заданными величинами и корректируют температуры испарителей.
2. Устройство для получения пленок твердых растворов, включающее вакуумную камеру с системой испарителей для элементов твердого раствора, манипулятор для закрепления подложки, снабженный нагревателем, электронную пушку и управляющую ЭВМ, выход которой подключен к входу системы управления температурой испарителей и подложки, отличающееся тем, что, с целью получения пленок с заданным профилем химического состава по толщине, устройство снабжено системой регистрации рентгеновского излучения растущей пленки, для вывода которого камера снабжена окном из бериллиевой фольги толщиной 10-100 мкм, выход системы подключен к входу ЭВМ, а электронная пушка установлена так, что ее оптическая ось пересекает поверхность пленки под углом 1-5o.

Заявка

3873547/26, 07.01.1985

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Васин О. И, Неизвестный И. Г, Шумский В. Н

МПК / Метки

МПК: C30B 23/08

Метки: пленок, растворов, твердых

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1307905-sposob-polucheniya-plenok-tverdykh-rastvorov-i-ustrojjstvo-dlya-ego-osushhestvleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения пленок твердых растворов и устройство для его осуществления</a>

Похожие патенты