Способ получения пленок твердых растворов и устройство для его осуществления
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1307905
Авторы: Васин, Неизвестный, Шумский
Описание
2. Устройство для получения пленок твердых растворов, включающее вакуумную камеру с системой испарителей для элементов твердого раствора, манипулятор для закрепления подложки, снабженный нагревателем, электронную пушку и управляющую ЭВМ, выход которой подключен к входу системы управления температурой испарителей и подложки, отличающееся тем, что, с целью получения пленок с заданным профилем химического состава по толщине, устройство снабжено системой регистрации рентгеновского излучения растущей пленки, для вывода которого камера снабжена окном из бериллиевой фольги толщиной 10-100 мкм, выход системы подключен к входу ЭВМ, а электронная пушка установлена так, что ее оптическая ось пересекает поверхность пленки под углом 1-5o.
Заявка
3873547/26, 07.01.1985
Институт физики полупроводников СО АН СССР
Васин О. И, Неизвестный И. Г, Шумский В. Н
МПК / Метки
МПК: C30B 23/08
Метки: пленок, растворов, твердых
Опубликовано: 10.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1307905-sposob-polucheniya-plenok-tverdykh-rastvorov-i-ustrojjstvo-dlya-ego-osushhestvleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения пленок твердых растворов и устройство для его осуществления</a>
Предыдущий патент: Диодная электронно-оптическая система
Следующий патент: Комбинированный гироскопический измеритель
Случайный патент: Способ дуговой сварки плавящимся электродом