Устройство для получения металлосодержащих пленок из паров химических соединений

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ .РЕСПУБЛИК 00097 А 1 ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК ИЗ ПАРОВХЮЛИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ(57) Изобретение относится к нанесению покрытий в контролируемой атмосфере и может быть использовано для полученияметаллсодержащих пленок из паров химических соединений, Цель изобретения - повышение качества покрытий путем обеспечения равномерного нагрева и распределения газовой смеси. Устройство включаеткорпус 1,которьй подключен к вакуумной:.системе, имеющей питатель 5 для вводареакционной газовой смеси, в корпусерасположен соединенный с приводным механизмом держатель 2 с укрепленной нанем подложкой в виде диска 3, нагреватель4, Держатель 2 выполнен в виде горизонтально установленного стержня, на которомперпендикулярно его оси укреплена подложка, при этом с противоположных сторонот оси стержня, параллельно плоскостям диска-подложки снизу установлен нагреватель 4, а сверху - питатель 5 газовой смеси,Устройство может бьть использовано для 3получения моно- и полиметаллических оксидных, карбидных и других пленок для же- Жстких магнитных дисков для записи и (воспооизведения звуковых сигналов и види-.мого изображения, 1 ил.Изобретение относится к аппаратам для получения металлсодержащих пленок из паров химических соединений и пред" наэначеГо для получения мана" и Гюлиме" таллических оксиДных, карбиДных и Други," пленок для жестких магнитных дисков для записи и ВоспрОизвед 8 ния звукОВых сиГнзлов и видимого изображения.Цель изобретения - повышение качес 1- Ва пленок путем Обеспечения равнОмернаГО нагрева и распределения газовой смеси,На чертеже представлена схема предлагаемого устройства,Устройства содержит сарг,с 1, стержень-д 8 ржатель 2, диск-подложку 3, еаГреватель 4, пита 18 ль 5 Газовой смеси, Отверстие б предн:",зчачена для Вывода реакционных Газов,Нагреватель мо,кет бь:ть Выполнен в Виде сектора или сегмента с разной площадью нагрева диска, Размер нагаеваемой площади определяется разли ными техналаглческими параметрами.процесса, например СОставом ГазОВОЙ смеси, количеством подаваемых реагентОВ, скоростьо вращения диска-пОДлажки и Др, Питатель Газовой смеси может быть Выполнен в виде У-образной трубки или Оуса с отверстиями со стороны, обращенной к плоскости Диска,Нагревательное устройство и питатель Обеспечивают двусторонний нагрев и подачу паров ме.галлсадержащи. саедине 5 й к каждой из двух сторон диска"падлам(ки, Движение гаров металлсадер 5 ц 1 гциххимк 1- чесСих соединений 1 Знутри ВГпарата Осу 8- с В 5 яетсл с Г 1 амацью 8 ГлубакоГО Вакууа 1, фа 1 вакуумз ). ПОДачу паров в аппарат праизвОдят из те)мастзтируемых даэатарав.Регулирав:.а 1 чс 1 грева Осугдсствляется с помодь 1 а автОтрансфарматорав,Предлагаемая конструкИп апггарата имеет ряд отличий От известага; дерхатель выполнен в виде стержня; с прогивапалажных сторон ат Оси-дермател 51 Стерм 1 я, 1 араллэльна плоскостям;.,Иска-под, О 5 кки установлены нагреватель и питатель паров металлсодерм(аших соединении,Мож 1 о предположить, чта Граисхадит более усредненный равномерный нагреь всей поверхности Гюдлокки за сет радиа- ционннОГО и канВекциОннога потоков Г 1 ри многократном прохождени:. диска-подложки через нагреватв 1 ь.Используемый как в извет 1-Ом, так и В бытующей практике резистивный кантактнь:й нагрев падло 5 кек ва всех без исключения случаях неспособен Обеспечи 1 усреднения скорости теплова" го движения элекгронов и равномернога 5 15О 28 Я 5 35 40 50 55 пс)огрева в силу наличия отрицательного "эффекта Витка" неравномерного прогрева ках(дога из витков спирали нагревателя),.П р и м е р, Подложка-диск из сплава аломиния с магнием диаметром 130 мм, толщиной 2 мм крепится на цилиндрическом держателе перпендикулярна бго оси, Павле герметизации аппарата в последнем создаот вакуум 2 10 мм рт, ствключа 1 от нагреватель и Вращение диска-подложки са скоростью 2,0 аб/мин, При достижении температуры подложки 190 С через распределительное питательное устройство вводят пары пентакарбонила железа ЕеСО) в количестве 1,0 г на операцию. В маме,нт ввода паров давление в реакторе увеличиваетсЯ Да 110 мм рт,ст, Соприкасаясь с нагретой подложкой, пары ЕеСО)5 диссациируют, образуют на ней магнитный железасадержащий слой, состоящий из структурированного Ге, содержащего карбид железа ЕезС и смесь оксидов железа 1-820 з и 1-ез 04,Электронно-микроскопический анализ на сканирующем микроскопе позволяет установить Высокую равномерность образовавшейся магнитной пленки. Изменение магнитных свойств полученного магнитного диска показывает, что коэрцитивная сила Н = 608 Э, остаточная намагниченность )Г.-= 710 Гс, коэффициент прямоугольности 11 0,91. Плотность записи при этом состав 51 яет: = 3185 бит/мм . Эти параметры значлтел ь на превышают таковые для диска, палучанного в известном аппарате и в других методах, используемых для создания рабачега металлсодержащего магнитного слоя, Известное устройство имеет более низкие параметры (Нс = 480 Э,= 690 Гс, Кд г 0,90 и П = 2320 бит/мм .аким образом, предлагаемая конструкция аппарата обеспечивает равномерный нагрев подложки и равномерное распределение реакционнОГО Газа, чта приводит к улучшению качества получаемых пленок, а зта Выража 8 тся В паВышнии значений электромагнитных параметров преимущ 8 стВенно Нс и П на 20;4.сРармула изобретения Устройство для получения металлсодермащих пленок из паров химических соединений, содержащее корпус, подключен и ый к вакуумной системе, питатель для ввода реакционой газовой смеси, держаГ 8 ль подложки, саединенныи с приВодом, нагреватель и подложку в виде диска, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью ;,авышения качества пленок пуем обеспе1700097 Составитель Л,ГрудневаРедактор Н, Бобкова Техред М,Моргентал Корректор С,Черни Заказ 4445 ТиражПодписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 чения равномерного нагрева и распределения газовой смеси, держатель выполнен в виде горизонтально, установленного стержня, на котором перпендикулярно его оси укреплен диск, при этом с противоположных сторон от оси стержня симметричноотносительно плоскостей диска установлены нагреватель и питатель газовой смеси.