C23C 16/458 — характеризуемые способом, используемым для поддерживания подложек в реакционной камере

Номер патента: 953003

Опубликовано: 23.08.1982

Авторы: Воронин, Глускин, Димант, Куркин, Мурзин, Хлапов

МПК: C23C 16/458, C23C 16/46

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...толкателе камеру металлизации и эагрузочноразгрузочную камеру разобщает заслонка при выходе на режим, смене 25 деталей и т.п. При этом также предотвращается попадание паров исходного соединения и продуктов их распада на изделия.На чертеже показана принципиальная схема предлагаемой установки.Она содержит загрузочно-разгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3, торцовая часть которого ныполнена в виде заглушки 4 с резистиннымнагревателем 5, предназначенным для перемещения изделия б, шлюзовое устройство 7 с заслонкой 8, камеру 9 металлизации, помещенную в промежуточную камеру 10, причем камера 9 металлизации снабжена испа ряющим устройством 11. Промежуточная камера .10 соединена с шлюзовым устройством 7, установленным на верхней...

Номер патента: 1316305

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Быков, Гельфонд, Земсков, Игуменов, Ларионов, Царев

МПК: C23C 16/458

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...с наружной трубкой 9 30 для подачи газа - реагента, На нижней крышке 10 соосно подложке 7 ус" тановлен блок 11 подачи газов с встроенным в него нагревателем 12 и трубкой 13 для подачи газа-носителя, 35 на который установлена перфорирован" ная тарелка 14, заполненная пористым материалом с нанесенным .на него ве" ществом для покрытия. Подложкодержатель 6 вставлен в захват 15, связан ный со штоком 6, пропущенным через уплотненное отверстие 17 в камере- шлюзе 18. Имеется аналогичное приспособление для смени тарелки 14 (условно не показано), К крышке 2 прикреп лены трубка 19 для отвода отработанных газов и привод вращения нагрева-. тельного блока 3 (условно не показан). На нагревательном блоке 3 смонтирован магнитопровод 20 и немагнитная...

Номер патента: 1700097

Опубликовано: 23.12.1991

Авторы: Горбунов, Персиянцев, Соцков, Сыркин, Толмасский, Уэльский, Францев

МПК: C23C 16/458

Метки: металлосодержащих, паров, пленок, соединений, химических

...конструкИп апггарата имеет ряд отличий От известага; дерхатель выполнен в виде стержня; с прогивапалажных сторон ат Оси-дермател 51 Стерм 1 я, 1 араллэльна плоскостям;.,Иска-под, О 5 кки установлены нагреватель и питатель паров металлсодерм(аших соединении,Мож 1 о предположить, чта Граисхадит более усредненный равномерный нагреь всей поверхности Гюдлокки за сет радиа- ционннОГО и канВекциОннога потоков Г 1 ри многократном прохождени:. диска-подложки через нагреватв 1 ь.Используемый как в извет 1-Ом, так и В бытующей практике резистивный кантактнь:й нагрев падло 5 кек ва всех без исключения случаях неспособен Обеспечи 1 усреднения скорости теплова" го движения элекгронов и равномернога 5 15О 28 Я 5 35 40 50 55 пс)огрева в силу...