Способ осаждения пленки фосфоросиликатного стекла

Номер патента: 1795829

Опубликовано: 20.02.1996

Авторы: Кастрицкий, Козлов, Корешков, Красницкий, Турцевич, Химко

МПК: H01L 21/316

Метки: осаждения, плазмохимического, пленок, стекла, фосфоросиликатного

...более 2 ат. о, возрастает в 5 и более раз, что обуславливает улучшение пассивирующей способности пленки за счет повышения ее влагостойкости и повышение стойкости стекла к диффузии ионов металлов.Выбор отношения ингредиентов закись азота-аммиак при осаждении пленки ФСС сделан на основе экспериментальных результатов.При соотношении ингредиентов закись азота-аммиак менее 5 ухудшаются условия для введения фосфора в пленку, что обуславливает ухудшение качества ФСС из-за увеличения дефектности,При соотношении ингредиентов закись азота-аммиак более 25 ухудшается пассивирующая способность пленки из-за уменьшения количества азота в ней, что наряду с увеличением привносимой дефектности обуславливает ухудшение качества пленок ФСС.Возможность...

Номер патента: 1415670

Опубликовано: 27.10.1995

Авторы: Васильев, Духанова

МПК: C03B 8/04, C03C 17/09

Метки: пленок, стекла, фосфоросиликатного

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ФОСФОРОСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА путем нагрева подложки до 200-500oС и осаждения пленок из парогазовой смеси, состоящей из моносилана, кислорода, триметилфосфата и аргона, с откачкой продуктов реакции со стороны, противоположной вводу смеси, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пленок за счет стабилизации содержания в них фосфорного ангидрида, осаждение ведут при пониженном давлении из смеси состава, об.Моносилан 2,0-8,0Кислород 5,0-50,0Триметилфосфат 0,02-2,0Аргон Остальноепричем пары триметилфосфата подают в горячую зону реактора, моносилан и кислород в холодную.

Номер патента: 1820782

Опубликовано: 27.11.1996

Авторы: Дударчик, Кабаков, Козлов, Красницкий, Турцевич

МПК: H01L 21/205

Метки: двуокиси, кремния, пленок, формирования

...моносилана при осаждении не превышала 50 см /мин, а закиси азота - 3000 см /мин, Величина давлениязпри осаждении составляла 133,3 Па. Температура при продувке реактора и осаждении составляла 800+1 С (пр, 24-7), 650 С (пр,1), 850 С (пр. 3); в примере 8 температура продувки реактора и осаждения составила 680 С, а в примере 9 - 820 С,Всего проведено 10 процентов.Процесс включал следующие стадии:ПР а ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ размещение кремниевых подложек в продуваемом азотом реакторе;- вакуумирование реактора;- продувку реактора закисью азота; - плавное установление потока моносилана, подачу его в реактор, осаждение 31 Ог;- прекращение осаждения, вакуумирование реактора;подача в реактор кислорода (при достижении необходимой температуры) и...

Номер патента: 62531

Опубликовано: 01.01.1943

Автор: Гуревич

МПК: F04D 17/16

Метки: воздуха, кислорода, лётчика, подачи, скафандр, смеси

...в скафандр лет молета, отличающийся тем, чт влением кислород пропускают через одающий в скафандр смесь воздуха эту турбину,пка и:цгпостут рбин,ерметиче ающ вращаюродом,кисло При высотных полетах летчикдышат смесью атмосферного воздухв скафандр летчика, либо в герметсжатом состоянии хранится и баллруется. Настоящии способ предназна сжатого кислорода, добавляемого в;вижение вентилятора, подающег к потребителю с одновременным с с нагнетаемым воздухом.Устройство для осуществления и состоит из вентиляторного колеса пусе 2. По периферии диска колеса .;жатый кислород подводится к соп совершая работу, проникает внутрь хом, подаваемым вентилятором. По направляется для потребления в ск кабину. ли пассажиры в кабине для использовани 51 э 1 ер 191...

Номер патента: 999230

Опубликовано: 20.02.1995

Авторы: Белопольский, Вытнов, Евдокимов

МПК: B01J 8/04

Метки: каталитическом, реакторе, реакции, температуры, трубчатом, экзотермической

СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКОЙ РЕАКЦИИ В ТРУБЧАТОМ КАТАЛИТИЧЕСКОМ РЕАКТОРЕ, включающий непрерывную подачу исходных продуктов в трубки, заполненные катализатором, при одновременной непрерывной подаче в межтрубное пространство теплоносителя, транспортируемого по напралению перемещения реакционной смеси и контроле температур в трубках по длине реактора, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода целевых продуктов и повышения производительности реактора за счет поддержания постоянной оптимальной температуры реакции, количество транспортируемого теплоносителя уменьшают путем непрерывного отбора части теплоносителя в точке начала падения оптимальной температуры реакционной смеси.