Номер патента: 1651760

Авторы: Балмашнов, Голубев

Описание

Способ генерации плазмы, включающий подачу газа в рабочую камеру, создание в рабочей камере магнитного поля с пробочной конфигурацией силовых линий, подачу СВЧ-энергии в резонатор, в полости которого находится рабочая камера, и зажигание разряда при частоте 1 СВЧ-поля, выбранной из условия электронно-циклотронного резонанса в плазме разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности ионизации рабочего газа, на плазму разряда дополнительно воздействуют СВЧ-полем, частоту 2 которого выбирают из условия где 3 - ионно-звуковая или ионно-плазменная частота.

Заявка

4678376/25, 18.04.1989

Университет дружбы народов им. Патриса Лумумбы

Балмашнов А. А, Голубев А. К

МПК / Метки

МПК: H05H 1/00

Метки: генерации, плазмы

Опубликовано: 20.07.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1651760-sposob-generacii-plazmy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ генерации плазмы</a>

Похожие патенты