G01B 11/02 — для измерения длины, ширины или толщины

Номер патента: 1538039

Опубликовано: 23.01.1990

Авторы: Никонов, Хейфец

МПК: G01B 11/02

Метки: линейных, размеров

...в направле,нии, перпендикулярном оси вращения(00 . Измеряемый объект 8 помещаетсяна пути сканирующего пучка между сканирующей системой и плоским зеркалом5 и ориентируется таким образом, чтобыизмеряемый размер Й располагался параллельно направлениюсмещения сканирующего пучка. Причем, за время оборотадиска с зеркалами на 360 О лазерныйпучок дважды сканирует измерительноепространство. Измеряемое иэделие 83"предпочтительно размещать таким образом, чтобы измеряемый размер Йрасполагался симметрично относительно первоначального направления 1светового пучка,40 Не затененный измеряемым изделиемсветовой пучок попадает на плоскоезеркало 5 под небольшим углом с кнормали к его поверхности . Отразивщись от него, снова отражается вобратном ходе...

Номер патента: 1551987

Опубликовано: 23.03.1990

Авторы: Берсон, Веревкин, Ковалев, Тараненко

МПК: G01B 11/02

Метки: одномерных, параметров, тел

...6 и электронный блок 7.Устройство работает следующим образом, 20Поток источника 1 излучения преобразуется в параллельный коллиматором2.и, проходя через область расположения объекта, на входной грани оптической системы 4 образует теневое 25иэображение объекта. Оптическая система 4 разворачивает поток излучения на 270 в плоскости расположенияьь оси потока излучения и на 90 вокруг его собственной оси и направляет на 30 объект вторично под углом 90 к иапо равлению распространения потока на входе оптической системы 4. На пространственном фильтре 5, расположенном в плоскости регистрации, формируются два теневых изображения объекта в виде пересекающихся полос, координаты центра пересечения которых однозначно связаны с координатными...

Номер патента: 1551988

Опубликовано: 23.03.1990

Авторы: Качалов, Лендер, Нежеметдинов

МПК: G01B 11/02

Метки: перемещений, фоторастровый

...амплитуд выходных сигналов. Амплитуда сигнала зависит от,мощности излучателя,положения излучателя относительно ос Отальных элементов преобразователя,фотоотклика фотоприемника. Перемещение диафрагмы в виде клина вдоль штрихов растров изменяют интенсивность свеового потока, падающего на фотоприемник. Вращением диаФрагмы вркруг оси, перпендикулярной плоскости клина, диафрагмируется часть светового потока с определенным углом падения. Исключением иэ потока излучения определенной его части регулируется фаза выходного сигнала фотоприемника и, следовательно, разность фаз сигналов фотоприемников. От степени равенства амплитуд выходных сигналов зависит равномерность распределения отсчетов н пределах периода растра, связанная с уровнями...

Номер патента: 1578457

Опубликовано: 15.07.1990

Авторы: Кокоулин, Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...2 на опорный, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и на измерительный, отраженный от нее. Измерительный пучок .отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачнойповерхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси У в зонеприемника 6 света формируется интер.ференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос (пятен).Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемещения отражателя 5,Плоскопараллельная пластина 4необходима для финишного совмещенияопорного и отраженного лучей на. приемнике 6 света, так как юстировочнаяподвижка зеркал 2 и 3 и уголковогоотражателя 5 приводит одновременнокак к смещению опорного и измеритель-ного, лучей параллельно друг...

Номер патента: 1578458

Опубликовано: 15.07.1990

Автор: Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...за счет воэможности задания требуемой точности измерения, например, при использовании в устройствах совмеще- ния для микролитографии.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для измерения линейных перемещений.Интерферсметр содержит источник 1 света, полупрозрачные зеркала 2 и 3,расположенные на оси источника 1 света, уголковые отражатели 4 и 5 (уголковые отражатели могут состоять как из двух, так и из трех отражающих поверхностей), расположенные по обе стороны от полупрозрачных.зеркал 2 и 3, со смещением по оси Х друг относительно друга. Величина смещения а определяется размером в полупрозрачных зеркал (эеркало 2 не должно перекрывать пучки света, отраженные от отражателей 4 и 5, то есть ав/2) Один из уголковых...

Номер патента: 1578459

Опубликовано: 15.07.1990

Авторы: Вагнер, Костюков

МПК: G01B 11/02

Метки: интерферометрическое, перемещений

...стойками 16 так, чтобы ось опорной линейки 14 была параллельна оптической оси лазера 9 и конструктивной оси Х объекта 17 измерения.На опоре, аналогичной опоре 13, закрепляют лазер 1 измерительного канала так, чтобы оптическая ось лазера 1 была параллельна оптическойФормула 10 оси лазера 9 измерительной системы,- конструктивной оси Х объекта 17 из.мерения и оси опорной линейки 14, а пучок от лазера 1, пройдя через интерферометр 2, выполненный в виде светоделительного кубика 3, и, отразившись от уголкового отражателя 4 и подвижного уголкового отражателя 5, закрепленного на каретке 11, поступает на фотоприемники 6 и 7,. электрически связанные с электронным блоком 8 обработки. По опорной линейке 14 переместить каретку 11 так чтобы пучок...

Номер патента: 1597530

Опубликовано: 07.10.1990

Автор: Марапулец

МПК: G01B 11/02

Метки: линейного, перемещения, фотоэлектрический

...этой пары только к одной степени свободы в основном направлении движения, Герметичный кожух, продуваемый сжатым газом, служит для защиты измерительЮ ной системы от засорения посторонними частицами.1 з.п. ф-лы, 2 ил,С". траектории движения, а дконечной. Измерительныйжестко соединяется с общения. При перемещенииправляющей элемента 2 оиндикаторных отверстийпрерывание светового потельной системы 1, постфотоприемники 6. Расстодикаторными отверстиями10 15 20 отличным от шага цепи с целью получе" ния интерференционной картины, анализируемой блоком 7. При случайных отклонениях перемещаемого объекта от основного направления движения, выз" ванных неточностью изготовления путевых направляющих или деформацией конструкции транспортного...

Номер патента: 1601511

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Болдырев, Некрич, Олейников, Шумилин

МПК: G01B 11/02

Метки: детали, поверхностей

...комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина,101 Изобретений относится к измерительной технике и используется прииЗготовлении кристаллических элементов.5Цель изобретения - расширение номенклатуры контролируемых поверхностей.На чертеже представлена схемаустройства для контроля поверхностейдетали.Устройство содержит источникизлучения и последовательно установленные по ходу излучения от источникЭполяризатор 2, анализатор 3 иФотодетектор Й, контролируемую деталь 5, положительную линзу 6, предназначенную для установки междукФнтролируемой деталью 5 и поляризатОром 2, щелевую диафрагму 7, распОложенную между линзой 6 и...

Номер патента: 1603189

Опубликовано: 30.10.1990

Автор: Ильин

МПК: G01B 11/02

Метки: объекта, перемещений

...на корректирующий элемент 11. Корректирующий элемент 11 направляет оба пучка в заданную точку, где они пересекаются. Элемент 11 состоит из одной неподвижной и двух подвижных частей. Это обеспечивает возможность изменения элементом 11 углов, под 10 которыми пучки направляются в точку пересеченяя. Изменяя углы, можно менять чувствительность устройства к перемещениям. Диапазон изменения угФ лов - от нескольких градусов до 40 Соответственно, чувствительность может меняться в диапазоне 100-1 мкм, В точке пересечения дифрагированные пучки попадают на измерительную решетку 3, связанную с перемещающимся объектом. Решетка 3 выполнена из приставленных друг к другу беэ зазора ОЖС без защитной оболочки и представляет собой наборный оптический...

Номер патента: 1605140

Опубликовано: 07.11.1990

Авторы: Гингис, Новиков

МПК: G01B 11/02, G02B 26/12, G02B 27/44 ...

Метки: размера, структуры, топологической, элементов

...по шкале,Способ реализуют следующим образом.Пучок света от лазера (через поворотную призму 2 и формирующееустройство 3) Фокусируется на объекте измерения (топологической структуре типа дифракционной решетки)под углом 9 , дифрагирует и череззеркало 5 попадает на барабан 6 сотражательным экраном 7 и шкалой 8,Вращением барабана переключаютшкалы и на экране наблюдают половинудифракционного спектра, начиная отнулевого пучка.Для определения размера элементатопологической структуры вращениембарабана подводят ту грань, котораясоответствует порядковому номерусчитываемого минимума огибающей дифракционного спектра (наблюдаемогона экране 7 визуально). На каждойшкале грани барабана 6 с номероми = 1, 2 3, ч, 5, 6 значения размера Ь...

Номер патента: 1606853

Опубликовано: 15.11.1990

Авторы: Аджалов, Голуб, Сисакян, Сойфер

МПК: G01B 11/02

Метки: волоконно-оптический, датчик, микроперемещений

...световодов 1,2 располокен плоский отражающий элемент 4, выполненный с возможностью перемещения. Световоды 1,2 оптически связаны отражающим элементом 4.Датчик работает следующим образом, Пучок излучения, формируемый световодом 1, преобразуется отражающим элементом 4 и возбуждает излучение в световоде 2,. Внешние воздействия, приводящие к любым смещениям отражающего элемента 4, обуславливают модуляцию интенсивности направляемых мод световода 2, чем и обеспечивается использование этой схемы в качестве амплитудного датчика микроперемещений.При выполнении отражающего элемента 4 в виде плоского рельефного элемента с высотой рельефа Ь(х, у), определяемой из соотношения+ К( + Н)2+ Р+12 волновое число;длина волны излучения;наты в плоскости...

Номер патента: 1608424

Опубликовано: 23.11.1990

Автор: Попов

МПК: G01B 11/02

Метки: датчик, перемещения

...свет, отраженный от триппельпризмы; связанной с объектом, не испытывает виньетирования при вводе всветоводы, и информационный сигналпередается без искажений. 2 ил. относителОтражателремещенияКонцыращенныев жгут (фложениемдов 1 рас3 1608424 4 ) Датчик работает следующим образом. ного виньетирования конусов света соИзлучатель 9 с помощью объектива 8 седними световодами жгута, световоды равномерно возбуждает световоды 1. уложены регулярно, по спирали с торСвет распространяется по световодам 1, 5 цами на винтовой линии с постоянным цостигает их выходных торцов и с помо углом подъема витков. Это уменьшает щью объектива 1 б и триппель-призмы 15 потери света (уменьшение амплитуд отвозвращается к выходным торцам свето- дельных полуволн).и...

Номер патента: 1613851

Опубликовано: 15.12.1990

Авторы: Аджалов, Немов, Скиба

МПК: G01B 11/02

Метки: датчик, оптический, смещений

...смещений,Датчик содержит излучающий световод 1, приемный световод 2, отражательный элемент 3, излучающий фокон4 и приемный фокон 5.20Оптические оси фоканов 4 и 5 совпадают с осями световодов 1 и 2.Ось сферического отражательного элемента 3 параллельна оси фоконов.Большие основания факонов пристыкованы вплотную к торцам световодов.Торцы малых оснований фоконов установлены в одной плоскости и оптически сопряжены посредством сферическогоотражательного элемента. Сферический отражательный элемент 3 выполненс возможностью перемещения под внеш"ним воздействием относительно малыхоснований фоконов. Длина 1 каждогофокона, радиус г большего основания.фоконов, радиус г малого основанияфоконов, показатель и преломленияматериала фоконов, показатель и...

Номер патента: 1613852

Опубликовано: 15.12.1990

Автор: Веденов

МПК: G01B 11/02

Метки: перемещений

...сигнал Н= -Б 5 ДХ, где Б - координатная чувствительность ПЧФ 5,Одновременно световой зонд, отраженный от триппельпризмы, перемещается по поверхности ПЧФ 6 на +2, формируя на его выходе электрический сиг 5нал О = 2 Б ДХ, где Б 6" координатная чувствительность ПЧФ 6.Линейные и угловые флюктуацпи пространственного положения ДНЛ формируютна выходах ПЧФ напряжения Нь = ЯЬХ +в+ ЯУфф 1 й06 Б 6 ЬХп + Я ф 105деДХ - линейная нестабильностЬ ДНЛ; К -угловая нестабильность ДНЛ; 1длина оптического пути излучатель 1ПЧФ 5; 1 л 6 - длина оптического путиизлучатель 1 - триппельпризма ПЧФ 6.После усиления сигналов с ПЧФ 5 и6 электронными блоками 7 и 8 получаютЦ 7 - К 7 ЯЕХ + КтЯДХ+ КБ 01 щ еНб = 2 КЕЯЬДХ - КВЯ 6 ДХ - КЕЯ 6 Ы 1 а 6.Регулируя...

Номер патента: 1620825

Опубликовано: 15.01.1991

Авторы: Аджалов, Гаричев, Есаян, Кривошлыков, Скиба

МПК: G01B 11/02

Метки: микропозиционирования, объекта

...и второго световода Т имеют следующий вид: у = - 21 и (Л.б); Н - двумерные полиномы Эрмита);Ь - величина смещения отражателя; То =. ехр - ) 1 2 Я+ - х к ехр ( - кю(л +б ) -Р Коэффициенты связи мод равны квадратам модулей соответствующих интегралов перекрытия На фиг. 2-4 приведены результаты вычислений коэффициентов связи модРОО, ) РолиРю второго световода с модой ) РОО первого световода от смещения Лдля различных величин О. Анализ приведенных зависимостей позволил установить. что коэффициенты связи фундаментальной моды с модамиРоп иРло, и = 1,2, имеют немонотонный характер, Следовательно, измеряя дополнительно к основной моде мощность модР или Р, можно получать дополнительную информацию о положении обьекта и, следовательно, выставлять...

Номер патента: 1633273

Опубликовано: 07.03.1991

Автор: Логачев

МПК: G01B 11/02

Метки: бесконтактного, линейных, размеров

...технике, может использоватьсяв машиностроении и является усовершенствованием изобретения по авт.св.У 1052855,Цель изобретения - повышение точности измерения.На,чертеже представлена схема устройства. 1 О 1Устройство для бесконтактного измерения линейных размеров содержитпоследовательно расположенные источник 1 света, щелевую диафрагму 2 иразвертывающий цилиндр 3, у одного из 15оснований которого установлен фотоприемник 4, соединенный с измерительной схемой 5, Развертывающий цилиндр3 выполнен из оптически прозрачногоматериала и установлен с возможностью 20вращения в подшипниках 6, На боковуюповерхность развертывающего цилиндра3 нанесено светонепроницаемое покрытие, внутренняя сторона которого обладает отражающими свойствами. В...

Номер патента: 1634973

Опубликовано: 15.03.1991

Автор: Гафановия

МПК: G01B 11/02, G01B 5/02

Метки: делений, нанесения, объектах, равноделенных, точности

...1 ил . ду оптическими о микроскоправный и делениям объекта, научастке делений от начала отсча поКаэания отсчетных средств устроства устанавливают ноль. Перемещают контролируемь ъект относительно измерительного устройства(или наоборот) на величину одногоили нескольких шагов объекта, номеньшую, чем размер 1, образцовоймеры, и сравнивают величину шага Ьвторой группы п делений с размеромЕ, на который настроено измерительное устройство. По рассогласованиюизмерительных сигналов от обоихкроскопов определяют разницу в ш,Шекма Потениямская на исноеоткрытиям при ГКНТ СС д. 4/5 роиэводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гаг 1 О Затеи снова перемещают контролируемых объект на такую же величину и сравнивают размер Е шага...

Номер патента: 1640533

Опубликовано: 07.04.1991

Автор: Миронченко

МПК: G01B 11/02

Метки: бесконтактного, детали, размера

...жестко скреплены и являются оптической частью устройства,Способ осуществляется следующим образом,При настройке устройства на опорную поверхность 14 устанавливают образцовую деталь (не показана) с гладкой поверхностью, Пучок света осветителем 1 направляют на поверхность образцовой детали под углом а к ее поверхности, Измерение угла а.производят любым известным способом.Осветитель 1 вместе с обьективом 2, светоделителем 3 и фотоприемниками 4 и 5 перемещают в плоскости хода осевого луча падающего и зеркально отраженного пучков света до тех пор, пока центр отраженного пучка света не совпадет с центром светочувствительной зоны позиционно-чувствительного фотоприемника 4. При этом фотоприемник 5 располагают так, чтобы на него падала часть...

Номер патента: 1276044

Опубликовано: 30.05.1991

Автор: Ермохин

МПК: G01B 11/02

Метки: величин, волоконно-оптическая, физических

...передающий 5 и приемный 6 световоды, и измерительного преобразователя 7, содержащего последовательно ии соосно установленные выходной ивходной концы соответственно передающего 5 и приемного 6 световодов, оптический коллиматор 8, равнобедренную призму 9 и отражатель 10. Приэтом гипотенузная грань призмы перпендикулярна оптической оси коллиматора, а перпендикуляры, восстановленные к ее боковым граням, составляют с оптической осью коллиматораугол, лежащий в пределах от нуля доугла полного внутреннего отражения.Система работает следующим образом,Световой поток от излучателя 2проходит последовательно по передающему световоду 5 оптического кабеля4 в прямом и обратном направлениичерез оптический коллиматор 8, призмы 9 и отражатель 10...

Номер патента: 1342181

Опубликовано: 30.05.1991

Авторы: Ермохин, Ширяев

МПК: G01B 11/02

Метки: величин, волоконно-оптическая, физических

...приемапередающего блска1, включающего излучасель 2 и Фотодетектор 3, оптического кабеля 4,имеющего соединенные с излучателемиФотодетектором 3 соответственно передающий 5 и приемный 6 светанады,и измерительного преобразователя 7,содержащего саосна и последовательноустановленные выходной и входной концы соответственно передающего 5 и приемнага 6 световадон, оптический ксллиматар 8, равнобедренные призмы 9 соснованиями, перпендикулярными опти-.ческой аси коллиматора 8, и боковымигранями, составляющими с оснозачием.угол, лежащий в пределах ат нуля даугла полнОгО внутреннего отражения.;и Отражатель 10 Пни этом общее кал:, -честно призм 9 ранна отношению диаметра выходного зрачка каллиматор:; кразмеру гипотенузнай грани призмы,Кроме того,...

Номер патента: 1652812

Опубликовано: 30.05.1991

Автор: Ильин

МПК: G01B 11/02

Метки: датчик, линейных, перемещений

...Х, У и Х, то, углы ад между пучками излучения и нормалью к решетке 2.Датчик работает следующим образом, Излучение от источника 1 света поступает на светоделитель 4, который делит его на два пучка; прошедший и отраженный, Прошедший пучок попадает на зеркало 5, отражается от него и направляется на приз 1652812му Дове. Туда же направляется и отраженный пучок, Пройдя призму б Дове, пучки пересекаются в плоскОсти расположения ршетки 2, состоящ 8 Й из двух ОртОГОнзльно ОриентирОВанных слОВВ Оптических ВОЛО- кон. Пучки Образуют уГлы (хвс нормалью к решетк 8 2. В м 8 ст 8 пер 8 сечения пучков Образу 8 тся инт 8 рференциОнняя хзр", ин , КОторая увеличивается волокном реше 1 ки 2 и отрицательной линзой 7, При линейном смещении решетки 2...

Номер патента: 1663413

Опубликовано: 15.07.1991

Авторы: Волченков, Воробьев, Кац, Марков, Усик

МПК: G01B 11/02, G01B 9/08

Метки: дистанционного, объекта, размеров

...и объектив 2 строит иэображение объектана входном торце волоконно-оптическогожгута.3, которое передается на его выходной торец. Иэображение объекта с выходно 1663413го торца волоконно-оптического жгута 3 проецируется на экран 5 с помощью объектива 4, На полученном в плоскости экрана 5 изображении выбирается г .и роизвол ьная точка, например, точка А 1, Определяется ее 5 координата Хд 1, Далее плоскопараллельная, пластина 1 поворачивается (ее новое положение показано на чертеже штриховой линией) и в результате этого световые лучи, идущие от объекта, смещаются на фиксиро ванную величину А,Г 1 ройдя объектив 2, волоконно-оптический жгут 3, проецирующий объектив 4 они образуют на экране 5 смещенное изображение объекта 6 (показано на...

Номер патента: 1665225

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Андреев, Михайлов, Рыжков

МПК: G01B 11/02

Метки: излучения, площадок, приемников, размеров, чувствительных

...работает следующим образом.Поток излучения от источника 1 преобразуется с помощью оптической системы 2в параллельный пучок, проходит через модулятор 3 ис помощью плоскопараллельнойпластины 4 преобразуется в семейство элементарных пучков. Задний торец Т плоскопараллельной пластины 4 выполнен в видезеркального среза, ориентированного перпендикулярно потоку излучения, благодарячему поток излучения, отражяась от чувствительных площадок 8 фотоприемника в обратном направлении; выравниваетинтенсивности элементарных пучков, Шагэлементарных пучков формируют равнымшагу чувствительных площадок 8 путем применения плоскопараллельной пластины соответствующей толщи нй, которымикомплектуется устройство по мере необходимости,Вначале устанавливают...

Номер патента: 1668857

Опубликовано: 07.08.1991

Автор: Куликов

МПК: G01B 11/02

Метки: геометрических, колец, параметров

...во втором - фотоприемник 7 совмещают с продольной осью симметрии изделия 11 (фиг,1).Для обоих вариантов размещения фотоприемника 7 (фиг,2, а и д) в виде прямых изображена траектория астр сканирования, контролируемого кольца 11.Траектория Ьр характеризуется шестью особыми точками: точкой К (М), соответствующей исходному состоянию оптических клиньев системы 3, точками Ао, Во, Со и Оо, соответствующими моментам касания световым пучком границ торцовой поверхности изделия 11 с его внешней и внутренней образующими, и точкой Цгч), соответствую-. щей моменту возвращения светового пучка в исходное состояние, Временные интервалы между особыми точками содержат всю информацию, необходимую для оценки геометрических параметров изделия 11: интервал...

Номер патента: 1670382

Опубликовано: 15.08.1991

Авторы: Дербенев, Кранчюкас, Оржекаускас, Римша, Рондоманскас

МПК: G01B 11/02

Метки: размера

...образом.Коллимированный пучок света, сформированный источником 1 света и объективом 2, освещает контролируемую деталь 4, Ее теневое изображение проектируется в фокусирующий объектив 3, который фокусирует данное изображение в матрицу фотопреобраэователя 6 таким образом, что верхний край контролируемой детали 4 всегда проектируется только на одну половину по длине поверхности матрицы фотопреобраэователя 6, а нижний край - на другую половину,В случае, когда размер исследуемой детали О2 г 3, световые пучки, прошедшие по краям контролируемой детали 4, отражаются от зеркальных полосок первой секции 10 системы зеркал и проектируются в правую зону по ширине матричного фотопреобразователя 6.Когда размер исследуемой детали 2 гфд 4 гр,...

Номер патента: 1675664

Опубликовано: 07.09.1991

Автор: Куликов

МПК: G01B 11/02

Метки: геометрических, колец, параметров

...первой конической поверхностью Ф) (плоскость 1 сечения данного конуса торцом сЯ), которое заканчивается в момент касания лучом 11 ф) точки м дальней по отношению к световому пучку о торцовой поверхности контролируемого кольца 16 (плоскость 11), При этом вершина С) (линза 7 и элементы (8. 9 и 11) схемы контроля, объединенные на фиг.1, 2 плоскостью й) сместится на расстояние СоМо, информация о положении особой точки Ао сечения У при формировании выходного сигнала не используется;При дальнейшем смещении вершины 0 (линзы 7) профиль зеп (сам) изделия (16) сканируется световым конусом Фг (плоскости 11, 1 У, У и соответствующие им особые точки Зо, го и Мо), Благодаря тому, что тангенсы углов у) и уг наклона лучей), (1)2) и 1 гг (121) являются...

Номер патента: 1682766

Опубликовано: 07.10.1991

Авторы: Коковский, Куцевич, Лушпак, Мальчевский, Новосад, Рудник

МПК: G01B 11/02

Метки: бесконтактного, расстояний

...образом.Предварительно определяют Ь, для чего совмещают изображение световых марок с центральной точкой вспомогательного шаблона, расположенного перед контролируемой поверхностью, затем, поворачивая столик 7 со штангой 4 вокруг оси 0 и линейно перемещая его, совмещают изображения марок с двумя метками шаблона, расположенными на расстояниях О, 2, соответственно, по разные стороны от центральной метки,Фиксируют при этом линейные перемещения столика У 1 и У 2 и вычисляют значение Ь из следующей зависимости После этого проектируют световые марки, подсвеченные источником 1 света с помощью объективов 2, 3 и зеркал 5, 6 на контролируемую поверхность 9. Каждое изображение световой марки формируют в виде пары штрихов различной длины. В...

Номер патента: 1695125

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Гусев, Милинкис, Петров

МПК: G01B 11/02

Метки: излучения, измеритель, мощности

...элемента 1 измерительный 1 и опорный 2 чувствительные элементы имеют одинаковую температуру, равную температуре окружающей среды. Емкости С параэлектрических конденсаторов измерительного 1 и опорного 2 чувствительных элементов, определяют по формуле 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 С -Т - О=а(Т - О)ВС где а - эффективный коэффициент тепло- передачи;а - константа, зависящая от размеров и свойств материала чувствительных элементов 1 и 2;ЯС - постоянная времени времязадающей цепочки управляемых генераторов 3 и 4.Поэтому в. исходном состоянии на выходе смесителя 5 сигнал, определяемый по формулеЬ=-а(Т - Т 2) =-а ЛТ, г 3) равен нулю. При этом ключ 6 в течение калиброванного промежутка времени, определяемого таймером 7, закрыт, т.е. на...

Номер патента: 1696854

Опубликовано: 07.12.1991

Авторы: Галушко, Ильин

МПК: G01B 11/02

Метки: объекта, перемещений

...между коллиматором 2 и наборным оптическим растром 3, и четыре параллельных друг другу зеркала 9 - 12, размещенные по ходу прошедшего и отраженного светоделителем 8 излучения попарно симметрично относительно плоскости светоделителя 8.Излучение лазера 1 проходит коллиматор 2 и попадает на светоделитель 8, котошение точности за счет определения дробной части интерференционной полосы, Излучение лазера проходит коллиматор и (1 опадает на светоделитель, который делит его на прошедший и отраженный пучки. Пучки отражаются от четырех зеркал и образуют две пэры вторичных пучков, сходящихся на наборном оптическом растре под углами, отличающимися на небольшую величину. Вторичные пучки проходят растр и образуют две интерференционные картины,...

Номер патента: 1714343

Опубликовано: 23.02.1992

Автор: Куликов

МПК: G01B 11/02

Метки: полых, формы, цилиндрической

...шагом, равным отношению скоростей поступательного Чо и вращательного ь движений, а внутренней поверхности - вид винтовой линии с полем обзора, равным внутреннему диаметру очередного контролируемого изделия 19.Другую часть светового. излучения 1 источника 1, прошедшую зеркало 2 без отражения. в виде светового пучка 2 отражают зеркалом 3 в сторону интерферометра 8 перемещений, Посредством дифракционной решетки 9 интерферометра из пучка 2 формируют кроме пучка 12 нулевого порядка+1два световых пучка 12 и 2 первого порядка дифракции, значение оптической длины пути одного из которых (на фиг.1 пучка 2 ) связывают с пространственным положением общей вершины 0 конических поверхностей Рз и Р 4, Этоо достигают жестким соединением с линзой 7...