Патенты с меткой «топологической»
Способ контроля размера элементов топологической структуры и устройство для его осуществления
Номер патента: 1605140
Опубликовано: 07.11.1990
МПК: G01B 11/02, G02B 26/12, G02B 27/44 ...
Метки: размера, структуры, топологической, элементов
...по шкале,Способ реализуют следующим образом.Пучок света от лазера (через поворотную призму 2 и формирующееустройство 3) Фокусируется на объекте измерения (топологической структуре типа дифракционной решетки)под углом 9 , дифрагирует и череззеркало 5 попадает на барабан 6 сотражательным экраном 7 и шкалой 8,Вращением барабана переключаютшкалы и на экране наблюдают половинудифракционного спектра, начиная отнулевого пучка.Для определения размера элементатопологической структуры вращениембарабана подводят ту грань, котораясоответствует порядковому номерусчитываемого минимума огибающей дифракционного спектра (наблюдаемогона экране 7 визуально). На каждойшкале грани барабана 6 с номероми = 1, 2 3, ч, 5, 6 значения размера Ь...