Интерферометрическое устройство для измерения перемещений

1578459 электронного блока 3 обработки. Аналогичная работа измерительных каналов и измерительных систем осуществляется 5по всем конструктивным осям объекта 17 измерения. 3 ил. Изобретение относится к иэмерительной технике, а именно к измерительным устройствам для контроля и измерения геометрических параметров крупногабаритных машин, оборудования ,и других объектов машиностроения,Цель изобретения - расширение функциональных воэможностей интерферометрического устройства для измерения перемещений за счет измерения также размеров объекта.На Аиг,1 изображена общая схема устройства; на Аиг.2 - схема измерений по одной из координат объекта; на Аиг,3 - конструкция стойки с закрепленной в ее узле опорной линейкой,:.на которой размещена каретка с пентаприэмой и подвижным уголковым отражателем интерАерометра. гУстройство содержит три измерительных канала, каждый из которых состоит из лазера 1, стабилизированного по частоте излучения, интерферометра 2, выполненного в виде светоделительного кубика 3 с уголковым отражателем 4 в опорном плече и с подвижным отражателем 5 в измерительном плече, Аотоприемников 6 и 7, соединенных с электронным блоком 8 обработки и три измерительных системы каждая иэ которых установлена соответственно параллельно одному из каналов и содержит последовательно ус" ф тановленные лазер 9, стабилизированный по диаграмме направленности излучения, .поворотную пентапризму 10, закрепленную с механизмом сканирования лазерного пучка на каретке 11 и Фото- приемник 12, оптически связанный с лазером 9 через пентаприэму 10, закрепленный на опоре 13. Опорная линейка 14 закреплена в узлах 15, регулируемых стоек 16, а узлы 15 стоек 1 б выполнены с опорной поверхностью,55 представляющих собой часть кругового цилиндра, ориентированного так, что ось его совмещена с осью лазера 9 электронный блок 8 обработки производит счет интерАеренционных полоси перевод их в единицу длины, а вмомент засветки Аотоприемника 19 подается электрический сигнал на выключение счетчика циАровой инАормации измерительной системы. Каретка 11 с закрепленными на ней поворотной пен- . тапризмой 10 и уголковым отражателей 5 измерительного канала имеет возможность перемещения по опорной линейке 14.На объекте 17 измерения, на трех попарно смежных сторонах его установлены попарно шесть фотоприемников 18 и 19, соединенных с электронным блоком 8, обработки. Каждый измерительный канал, предназначенный для установки соответственно вдоль одной иэ координат объекта 17, имеет свой электронный блок 8 обработки.Подвижная каретка 11 измерительной системы содержит Аиксатор (на чертеже не показан), который кинематически без люфтов соединен со съемным упором (репликой) 20, установленным на опорной линейке 14,.предназначенным для Аиксации каретки 11 в заданном месте на опорной линейке 14. Рассмотрим работу устройства на примере одного измерительного канала и измерительной системы, предназначенных для установки вдоль одной из координат объекта.Возле объекта 17 измерения, на опорах 13 закрепляют лазер 9 измерительной системы и фотоприемник 12.так, чтобы ось пучка лазера 9, направленного на Аотоприемник 12, была параллельна конструктивной оси Х объекта 17 измерений. Беря за базу ось пучка лазера 9 с помощью каретки 11, перемещая ее вдоль опорной линейки 14, выставляют опорную:линейку 14 и соединяют ее через узлы 15 с регулируемыми стойками 16 так, чтобы ось опорной линейки 14 была параллельна оптической оси лазера 9 и конструктивной оси Х объекта 17 измерения.На опоре, аналогичной опоре 13, закрепляют лазер 1 измерительного канала так, чтобы оптическая ось лазера 1 была параллельна оптическойФормула 10 оси лазера 9 измерительной системы,- конструктивной оси Х объекта 17 из.мерения и оси опорной линейки 14, а пучок от лазера 1, пройдя через интерферометр 2, выполненный в виде светоделительного кубика 3, и, отразившись от уголкового отражателя 4 и подвижного уголкового отражателя 5, закрепленного на каретке 11, поступает на фотоприемники 6 и 7,. электрически связанные с электронным блоком 8 обработки. По опорной линейке 14 переместить каретку 11 так чтобы пучок лазера 9 измерительной системы, направленный на фотоприемник 12, после преломления на поворотной пентапризме, закрепленной с механизмом сканирова ния лазерного пучка на каретке .11, попал на фотоприемник 18, установленный на объекте 17 измерения и включил счетчик цифровой информации электронного блока 8 обработки. При перемещении . 15 каретки 11 с размещенным на ней отражателем 5 измерительного канала; по опорной линейке 14 до положения, в котором произойдет засветка фотоприемника 19, закрепленного на объекте 30 17 измерения, электронный блок 8 обработки производит счет интерференционных полос и перевод их в единицу длины, а в момент засветки фотоприемника 19 подается электрический ,сигнал на выключение счетчика цифровой информации электронного блока 8 обработки, Аналогичная работа измерительных каналов и измерительных систем осуществляется по всем конструктивным осям объекта 17 измерения. С целью повышения производительности измерений. в процессе контроля геометрических параметров объекта 17 предусмотрена установка на опорной линейке 14 упоров (реплик) 20 по номинальным размерам чертежа. В этом случае контроль геометрических параметров объекта 17 осуществляется пу 50 тем перемещения каретки 11 относительно номинального положения реплики 20 и регистрации этих отклонений на электронном блоке 8 обработки. изобретения Интерферометрическое устройство для измерения перемещений, содержащее лазер, два измерительных канала, предназначенных для установки соот-, ветственно вдоль одной из координат объекта и включающих интерферометр и фотоприемник, и электронный блок обработки, соединенный с фотоприемниками, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет измерения также, размеров объектов, оно снабжено третьим .измерительным каналом, предназначенным для установки вдоль третьей координаты объекта и выполненным "идентично двум первым двумя лазерами, установленными вместе с первым лазером соответственно в каждом из каналов и оптически связанными с интерферометром канала, тремя измерительными системами, ,каждая из которых установлена соот- . ветственно параллельно одному из каналов и содержит последовательно установленные лазер, закрепленную в узле стойки опорную линейку с размещенной на ней кареткой с пентапризмой, и фотоприемник, оптически связанный с лазером через пентапризму и шестью фотоприемниками, предназначенными для попарной установки на трех попарно-смежных сторонах объекта так, что пентапризма каждой из измерительной систем имеет возможность оптической связи с соответствующей парой фотоприемников, узлы стойки выполнены с опорной поверхностью, представляющей собой часть кругового цилиндра, ориентированного так, что его ось совмещена с оптической осью лазера измерительной системы, фотоприемники, предназначенные . для установки на объекте и фотоприемник третьего канала электрически соединены с электронным блоком обработки, а отражатель измерительного канала каждого интерферометра размещен на каретке соответствующей измерительной системы.1578459 ставитель В. Климов Редактор Л.Пчолинская Техред Л.Сердюкова Корректор М.Кучерявая КНТ ССС Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 10 аказ 1905НИИПИ Государственно11303 Тираж 493 Подписное комитета по изобретениям и открытиям и Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5