Устройство для измерения перемещений объекта

/24-289 О,Бюп,Р 4 ия является пов шение точности з огрешностей изго ет уменьшен вления дифракционнои решетки и, расрение пределов измерения. Излучениот источника света расщепляется н ектроники АН БСС т ьин.27(088.8)ктоические два пучка щит элеме и по орректируювляет их т н преобраз д, Д,И. П ие, 1974,т, котел ьнуающнмс 1 и на снуод на измери с перемещ выполнена решетку, связаннуобъектом. Решеткаческих одножильных шиностро Фиг. 80. из опти Проше рфериру ерен(54) УСТРОЙСТВО Г 1 ЛЯ ИЗМЕРЕНИЯЩЕНИЙ ОБЪЕКТА(57) Изобретение относится ктельной технике и может бытьзовано при прецизионных измеперемещений объекта. Целью и ПЕРЕМЕ чение ин чивает и проециру терф т их измери исполь у и даль игналы с поступа на Фотопри от в сче нияхбрете Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при прецизионных измеренияхперемещений объекта,Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения погрешностей изготовления дифракционной решетки и расширение пределов измерения,На чертеже изображено устройстводля измерения,перемещений объекта.Устройство содержит последовательно установленные источник 1 светаи две прозрачнье решетки 2 и 3, однаиз которых (2) индикаторная, а другая (3) измерительная, предназначенная для связи с объектом, и приемнуюсистему, состоящую из последовательно установленных объектива 4, двухцелевой диафрагмы 5 и двух Фотоприемников 6 и 7, счетчика 8 и дв лителей 9 и 10, электрически св ных входами с Фотоприемниками 6 а выходами - со счетчиком 8, и ректирующий элемент 11, установ ный за индикаторной решеткой 2 диафрагированных ею пучках 1-г порядка, Измерительная решетка выполнена в виде приставленных к другу без зазора оптических о жильных световодов (ОЖС) без за оболочки и установлена в месте сечения дифрагированных пучков плоскости, параллельной плоско решетки 2,Устройство работает следующи разом,.Излучещ е в,качеств е н ух уси язани 7 кор- ленднощитнойперее от источника 1 св которого использова т лазер,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГННТ СССР(21) 4642129 (22) 27.01.8 (46) 30. 10,9 (71) Кнститу (72) В,Н, Ил (53) 531, 15 (56) Фотоэле тели информа хина. М.: Иа с. 135-174,дшее решетку излует. Объектив увелиционные полосы идвухщелевую диафрага фотоприемника.емников усиливаютсятчпк. 1 ил, 1603189расщепляется индикаторной решеткой 2 на два пучка, которые поступают на корректирующий элемент 11. Корректирующий элемент 11 направляет оба пучка в заданную точку, где они пересекаются. Элемент 11 состоит из одной неподвижной и двух подвижных частей. Это обеспечивает возможность изменения элементом 11 углов, под 10 которыми пучки направляются в точку пересеченяя. Изменяя углы, можно менять чувствительность устройства к перемещениям. Диапазон изменения угФ лов - от нескольких градусов до 40 Соответственно, чувствительность может меняться в диапазоне 100-1 мкм, В точке пересечения дифрагированные пучки попадают на измерительную решетку 3, связанную с перемещающимся объектом. Решетка 3 выполнена из приставленных друг к другу беэ зазора ОЖС без защитной оболочки и представляет собой наборный оптический растр(НОР)Наращивание НОР путем присты"25 ковки к нему новых ОИС дает воэможность измерять перемещения объекта практически на любые расстояния. Прошедшее НОР излучение интерферирует. Объектив 4 увеличивает интерференционные полосы и проецирует их на двухщелевую диафрагму 5 и дальше на фотоприемники 6 и 7, сдвинутые в пространстве интерференционнойо-, лосы на в/2, При перемещении НОР интерференционные полосы перемещаются, усилители 9 и 10 усиливают фототоки с фотоприемников 6 и 7 и преобразуют их в импульсы, которые накапливаются в счетчике 8.Диаметр дифрагированных пучков должен быть вдвое больше диаметра ОИС, из которых составлен НОР. Вьыолнение этого условия обеспечивает ностоянный контакт интерференционных полос.В качестве источника 1 света могут применяться лазеры с малой длиной когерентности (например, полупро" водниковые).НОР может быть выполнен по любой криволинейной траектории с радиусом кривизны 10-12 диаметров ОИС и виве, что дает возможность измерять криволинейные перемещения при движении устройства вдоль НОР. НОР может быт выполнен путем крепления как на жесткую, так и на гибкую поверхностьформула изобретенияУстройство для измерения перемещений объекта, содержащее последовательно установленные источник света и две прозрачные решетки, одна из которых индикаторная, а другая измерительная, предназначенная для связи с объектом, и приемную систему, состоящую из последовательно установленных объектива, двухщелевой диафрагмы и двух фотоприемников, счетчика.и двух усилителей, электрически связан ных входаии с фото риеиникаии, а выходами - со счетчиком, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и расширения пределов измерения, оно снабжено корректи рующим элементом, установленнвв за индикаторной решеткой в дифрагирован ных ею пучках 1-го порядка, а измерительная решетка выполнена в виде приставленных друг к другу без зазора оптических однааильиых световодов без защитной оболочки и установлена в месте пересечения дифрагированных пучков в плоскости, параллельной плоскости. решетки.1603189 оставитель В. Костюченко ехред М.Ходанич Корректор С. ШевкУн едактор 0 аказ 3376 Тираж 491 ПодписноеВНИИПИ Государственного, комитета по изобретениям и открытиям113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., д. 4/5 КНТ СССР Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101