Базыленко

Номер патента: 1701064

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Базыленко, Василевич, Родин, Турцевич

МПК: H01L 21/302

Метки: кремния, микрорисунка, поверхности, создания

Способ создания микрорисунка на поверхности кремния, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности кремния, обработку поверхности кремния и фоторезиста в кислородсодержащей плазме ВЧ-разряда при давлении 2,0-13,3 Па и локальное травление кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости создания микрорисунка в кремнии, кислородсодержащая плазма, в которой проводят обработку поверхности кремния и фоторезиста, дополнительно содержит 40-50 об.% гексафторида серы, плотность мощности разряда на обрабатываемой поверхности создают в диапазоне 0,7-0,9 Вт/см 2 и обработку проводят до удаления слоя кремния толщиной 0,04-0,12 мкм.

Номер патента: 1697563

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Базыленко, Баянов, Родин, Турцевич

МПК: H01L 21/306

Метки: металла, микрорисунка, многослойной, полицидом, структуре, тугоплавкого

Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла, нанесенным на микрорельеф из двуокиси кремния, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности структуры с полицидом тугоплавкого металла, реактивно-ионное травление полицида в окнах маски в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом при давлении 1,0-8,0 Па и плотности мощности разряда на поверхности полицида 0,3-0,6 Вт/см 2, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных структур за счет повышения анизотропности травления и создания вертикального профиля травления, травление полицида тугоплавкого металла в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом приводят...

Номер патента: 1753893

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Базыленко, Баянов, Буляк, Родин, Турцевич

МПК: H01L 21/312

Метки: алюминия, диэлектрика, межслойного, микрорельефе, микрорисунка, слое, создания, сплавов

Способ создания микрорисунка в слое алюминия или его сплавов на микрорельефе из межслойного диэлектрика, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности слоя и его селективное реактивно-ионное травление в хлорсодержащей плазмообразующей смеси при давлении 15-20 Па и плотности мощности на поверхности слоя 0,4-0,5 Вт/см 2, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет улучшения воспроизводимости микрорисунка и предотвращения коротких замыканий на микрорельефе, травление проводят до вскрытия планарных поверхностей микрорельефа, после чего осуществляют дотравливание слоя при давлении 6-12 Па и плотности мощности на поверхности слоя 0,6-0,8...

Номер патента: 1817617

Опубликовано: 20.09.1996

Авторы: Базыленко, Гулевич, Державская, Родин

МПК: H01L 21/306

Метки: поверхности, полупроводниковых, слоев, структур, сухого, травления

...(по абсолютной величине), соответствует моменту начала вскрытия поверхности, находящейся под слоем (нижележащей) структуры. При вскрытии всей немаскированной поверхности нижележащей структуры сигнал стабилизируется, что соответствует моменту окончания травления, Очевидно, отрезок времени между началом роста первой производной сигнала и моментом окончания травления слоя равен времени вскрытия поверхности нижележащей структуры. Это время может быть получено следующим образом. К моменту вскрытия поверхности нижележащей структуры в месте на пластине с максимальной скоростью травления в месте с минимальной скоростью травления толщина остатка слоя составляетЛЬ = (Ч.-Ч.) 1. (1) где Ч, Ч, - максимальная и минимальная скорости травления...

Номер патента: 1805788

Опубликовано: 27.04.1996

Авторы: Базыленко, Гулевич, Цыбулько

МПК: H01L 21/306

Метки: двухкамерных, поверхности, проводящим, слоем, структур, сухого, травления, установках

...между реакционными обьемами приводит к, невоспроизводимости в определении момента окончания травления. Во избежание этого возмОжны два варианта распределения времени между реакционными объемами: а) тй 11+гй 21 и б) тй 12+тй 22 где тй 1 и тй 2 - время обработки соответственно в первом и втором реакционном обьемах. При этом учтено время стабилизации разряда, в течение которого контроль невозможен. В варианте а) момент окончания травления определяют в первом реакционном обьеме, а в варианте б) - во втором, Максимальной производительности соответствует тот из двух названных вариантов, для которого разница времени обработки в обоих реакционных объемах меньше, т.е, для которого меньше (тй 1 - тй 2). исходя из этого. условие реализации варианта...

Номер патента: 118334

Опубликовано: 01.01.1958

Автор: Базыленко

МПК: D05B 1/18, D05B 35/10

Метки: крае, кромочная, машине, направляющая, обметочной

...при направлении их мимо ножей способствует перекосу этих деталей при сшивании.Кроме того, при сшивании деталей швейных изделий без ограничения величины обрезания кромки, которая достигает ширины до 1,5 см, увеличивается расход ткани на величину обрезаемых кромок.В описываемой кромочной направляющей отмеченные недостатки устранены тем, что на ней, на наклонной оси свободно установлена звездочка с отогнутыми зубцами, взаимодействующими с кромками деталей.При соответствующей установке положения кромочной направляющей со звездочкой обеспечивается сшивание деталей без обрезания их кромки или с минимальной величиной обрезания, при которой происходит лишь выравнивание этих кромок.На фиг. 1 изображена кромочная направляющая, вид спереди; на...

Номер патента: 86215

Опубликовано: 01.01.1950

Автор: Базыленко

МПК: B65G 67/04

Метки: грузов, кратковременного, кузовов, насыпных, ним, перевозимых, повозок, предохранения, примерзания, транспортных

...10 мм, сверх которой перед каждой загрузкой кузов транспортируемым материалом подсыпается слой (2) сухого хорошо промерзшего снега толщиной 5 - 15 см, в зависимости от степени влажности транспортируемого материала.Иногда в соответствии с состояниемтранспортируемого материала ледяная корка не намораживается, а на дно кузоВа цОВОзкц цасы 1 цается 1 ол 1 ко слои щ- шо промерзшего сухого снег (фпг. 2).Второй в 1 ант способы Отличается от первого тем, что снег це цодсьпается,наморажцвется только ледяня корка к днищу ц борт)м кузов повозки (фцг, 3).После кждоц рзгрузкп гаморзгружающейся повозки в мест, где целость ледяной корки и дне ку;юв нарушена, подлцвается вода. которая в период движения повозки от места разгрузки к месту погрузки...

Номер патента: 61389

Опубликовано: 01.01.1942

Автор: Базыленко

МПК: B65D 30/00

Метки: крупнокусковых, оболочка, перегрузки, сетчатая, транспортирования

...с размерами ячеек примерно 60 Х 60 м,я. Сетка присоединяется к тягам 1 в верхней своей части при помощи каната или тросика б. Это присоединение необходимо при опорожненни оболочки, чтобы сетка нс сползала и не вываливалась вместе с камнем.Несколько сложнее низ сетки, поскольку внизу могут иметь место значительные боковые давления от камня, что вызывает расширение металлической сетки по окружности. В этом случае предлагается несколько вариантов: 1) сетка присоединяется к кольцевой цепи 3 днища при помощи отдельных колец или же при помощи пенькового каната 8 (фиг, 1); 2) сетка не присоединяется к кольцевой цепи 3, но чтобы не было вытягивания сетки по окружности от бокового давления камня, низ сетки опоясыва ется пеньковым канатом...