Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла

Номер патента: 1697563

Авторы: Базыленко, Баянов, Родин, Турцевич

ZIP архив

Описание

Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла, нанесенным на микрорельеф из двуокиси кремния, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности структуры с полицидом тугоплавкого металла, реактивно-ионное травление полицида в окнах маски в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом при давлении 1,0-8,0 Па и плотности мощности разряда на поверхности полицида 0,3-0,6 Вт/см 2, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных структур за счет повышения анизотропности травления и создания вертикального профиля травления, травление полицида тугоплавкого металла в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом приводят до вскрытия планарных поверхностей микрорельефа из двуокиси кремния и удаляют остатки полицида с поверхности микрорельефа в смеси, содержащей четыреххлористый углерод и 30-50 об.% азота, при давлении 8-20 Па и плотности мощности разряда на поверхности полицида 0,4-0,6 Вт/см2.

Заявка

4815649/25, 17.04.1990

Научно-производственное объединение "Интеграл"

Родин Г. Ф, Базыленко М. В, Баянов А. С, Турцевич А. С

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: металла, микрорисунка, многослойной, полицидом, структуре, тугоплавкого

Опубликовано: 20.01.2008

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1697563-sposob-izgotovleniya-mikrorisunka-v-mnogoslojjnojj-strukture-s-policidom-tugoplavkogo-metalla.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла</a>

Похожие патенты