Патенты с меткой «полицидом»
Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла
Номер патента: 1697563
Опубликовано: 20.01.2008
Авторы: Базыленко, Баянов, Родин, Турцевич
МПК: H01L 21/306
Метки: металла, микрорисунка, многослойной, полицидом, структуре, тугоплавкого
Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла, нанесенным на микрорельеф из двуокиси кремния, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности структуры с полицидом тугоплавкого металла, реактивно-ионное травление полицида в окнах маски в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом при давлении 1,0-8,0 Па и плотности мощности разряда на поверхности полицида 0,3-0,6 Вт/см 2, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных структур за счет повышения анизотропности травления и создания вертикального профиля травления, травление полицида тугоплавкого металла в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом приводят...