Патенты с меткой «магниторазрядный»

Номер патента: 871255

Опубликовано: 07.10.1981

Автор: Терехов

МПК: H01J 11/02

Метки: магниторазрядный, насос

...произвольно).Магнитное поле создается постоянными871255 Формула изобретения И 5 Ф 11Составитель В. Остенин Редактор Н. Коляда Техред А. Бойкас Корректор С. Щомак Заказ 8448/26 Тираж 787 Подписное ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4магнитами 12, удерживаемыми на корпусе 1 плитой 13, и формируется магнитопроводами 14, 15, 16. Катоды 3 - 6 и коллекторы 8, 9 имеют вакуумноплотные токовводы 17. Магниты 12, токовводы 17 и электрическая разводка (на чертеже не показана) закрыты заземленным декоративным кожухом 18,Перед работой насоса объем, в котором нужно создать разряжение, предварительно откачивается до...

Номер патента: 886097

Опубликовано: 30.11.1981

Авторы: Быков, Глебов

МПК: H01J 41/16

Метки: магниторазрядный, насос

...электроды 1 и 2 разогреваются, происходит активировка покрытия 3, В дальнейшем,при давлении 10Па и ниже, температура элект.родов падает и покрытие начинает сорбироватьгаэ. При этом откачка газа происходит и натех участках внутренней поверхности катодов, 25на которых в процессе разряда не образуетсягеттерная пленка, Быстрота откачки насоса увеличивается также за счет сорбции газа на внеш.них сторонах катодных пластин, Размещениегеттерного покрытия на всей поверхности ячеистого анода также приводит к дополнительномуувеличению быстроты откачки. Кроме того, бла"годаря развитой поверхности геттерного покрытия 3 на участках, подвергаемых запылению,в десятки раз возрастает площадь геттернойпленки, что также увеличивает быстроту...

Номер патента: 930433

Опубликовано: 23.05.1982

Авторы: Агафонов, Ахманов, Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...биметаллических пластин.Такое решение позволяет частям анода автоматически перемещаться при изменении температуры в насосе относительно катодных пластин как в плоскости параллельной пластинам, так и в плоскости перпендикулярной им. Результатом первого перемещения является смещение мест интенсивного распыления катода и увеличение срока службы, а во втором случае - удлинение разрядных пучков в анодных ячейках и повышение быстроты действия насоса.На чертеже схематически изображена конструкция магниторазрядного насоса.Насос состоит из герметичного корпуса 1, катодных пластин 2, анода 3, биметаллических пластин 4 и изоляторов 5. Магнитная система насоса расположена вне корпуса и механически связана с корпусом (система не показана).Насос...

Номер патента: 932320

Опубликовано: 30.05.1982

Авторы: Белоусов, Кириченко, Крот, Пакулин

МПК: G01L 21/34

Метки: давления, датчик, магниторазрядный

...сильно завире гнинего катод в виде постоянно та 2. Магнит закреплен внут на изолированной штанге 3, р в полости державки ч сетчат Магнит 2 электрически соеди точником отрицательного нап (не показан),и сферызмещенной с ер енси яжения Изобретение относится измерительной технике, в датчикам для измерения д переменном по направлени потоке разреженного газаИзвестны магниторазря давления, содержащие маг рической внутренней поло ложенные в полости анод цем анод в виде двух соо ров заключен между плоск катодами 13,Датчик содержит анод в виде сетой сферы 1 и размещенный внутриУ4Формула изобретения 3. 932320Датчик работает следующим образом.При подаче между магнитом и сферойвысокого напряжения между ними воз- Магниторазрядный датчик...

Номер патента: 940263

Опубликовано: 30.06.1982

Авторы: Бинунский, Крупальников, Пакулин, Цирлин, Шерешевской

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...набора кольце- кого и магнитного полей. Кольцевые об- вых постоянных магнитов 4, обращенных ласти, расположенные в центральных плъ друг к рругу одноименными полюсами и скостях шайб, не участвуют в разряде и разделенных шайбами 5 иэ магнитомягконе подвергаются распылению. Своей тор- го материала (например, Армко). Внутри цовой частью полость между анодом и ка- магнитов с шайбами установлены примытодом, где существует разряд и происхо- кающий к ним цилиндр 6 и проходящий по дит откачка газа, открыта к откачивае оси стержень 7. Цилиндр 6 соеринен с35мому обьему, так что вакуумная проводи- катодом 3 торцовым кольцом 8, а стермость от этого обьема к области откачки жень 7 - с анодом 1 риском 9. Все в отличие от насосов с ячеистым анодом...

Номер патента: 943920

Опубликовано: 15.07.1982

Авторы: Ахманов, Нойсс, Островка, Решетняк

МПК: H01J 41/16

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...установленыразрядные блоки, карманы расположены рядами вдоль радиусов, так что.плоскость симметрии каждого рядапроходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углымежду плоскостями симметрии соседних рядов равны, а испарители геттера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенка.ми соседних рядов карманов;На чертеже схематически изображенодин из вариантов предлагаемого насоса, вид сверху.Насос содержит цилиндрическийЭ 5корпус 1 с днищем, входной патрубокс Фланцем 2 для подсоединения к откачиваемому объему, Внутри корпуса1 под Фланцем 2 перпендикулярноднищу и параллельно оси входного4 Опатрубка размещены герметичные карманы 3, в которых установлены магниты 4, а между карманами внутринасоса расположены...

Номер патента: 945925

Опубликовано: 23.07.1982

Авторы: Кузинец, Менбаев, Шерешевский

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...цилиндров 1, присоединенных к электрическому вакуумному вводу 2, систему цилиндров 3, электрически соединенных с корпусом 4, кольцевой магнит 5 и полюсные наконечники 6. К вакуумной системе насос присоеди 3 94592няется через патрубок 7, Для улучшения условий зажигания газового разряда и снижения вакуумного сопротивле-.ния цилиндры насоса выполнены перфорированными, 5Предлагаемый магниторазрядный насос работает следующим образом.При подаче высокого напряжения наэлектроды насоса во всех кольцевыхячейках, образованных смежными элек отродами, зажигается газовый разряд,Под действием образующихся в разрядеположительных ионов происходит распыление поверхностного слоя катодныхцилиндров, частицы которого оседаютна поверхности ан дных цилиндров,...

Номер патента: 970510

Опубликовано: 30.10.1982

Авторы: Гуревич, Саксаганский

МПК: H01J 41/20

Метки: ионно-геттерный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...насоса изготовленного,например, из нержавеющей стали, коэффициент распыления которой практическиравен коэффициенту распыления титана,.Использование стенок корпуса насосав качестве катода магниторазрядных ячеек увеличивает проводимость этих ячеек и, следовательно, дополнительно эффективную быстроту действия насоса по инертным газам, Оценка показывает, что можно ожидать увеличенияэффективной быстроты действия насоса по инертным газам в 1,5- 2 разапо сравнению с известными конструкциями.Для предотвращения выхода плазмы, горящей в магниторазрядных ячейках в процессе их работы, за пределы ячеек их входное сечение закрыто сеткой 5. При использовании электродуговых испарителей 2 геттера наличие сетки 5 позволяет также изолировать...

Номер патента: 983824

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Ахманов, Гумеров, Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...электрическое поле, существующее между испарителем 6 и анодами 4за счет высокой разности потенциаловмежду ними. Приобретая энергию в этомполе, ионы ускоряются и достигают отрицательно заряженныхэлектродов, в томчисле и корпуса насоса, где они покрываются геттером испарителя, а электроныучаствуют в дальнейшей ионизации путемстолкновения их с аомами газа, посл 5 Очего уходят на аноды магниторазрядныхблоков,Возбуждение ультразвуковыми колеба;- ниями, ионами и электронами повышает химическую активность атомов откачиваемого газа, Химическое сродство между атомами титана, например, и, возбужденным атомом или молекулой газа выше,чем в случае взаимодействия титана сневозбужденными частицами газа. Усиленное химическое связывание...

Номер патента: 1013781

Опубликовано: 23.04.1983

Авторы: Крот, Пакулин, Цирлин

МПК: G01L 21/34

Метки: магниторазрядный, манометр

...в это время является катодом:находится под воздействием потокаионов и, следовательно, очищается.В отличие от всех описанных аналогово,в данном манометре поддерживаетсянепрерывный разряд независимо от Фазы переменного напряжения вплоть досамого глубокого вакуума.Недостатком известного манометраявляется сложность его конструкции, так как он фактически имеет два источника питания. переменного к пос", тоянного напряжения. Другим недостатком известного манометра является 60 наличие погрешности измерения, свя- занной с присутствием собственного откачивающего действкя манометра и закрытостью его конструкции иэ"за наличия плоских торцевых катодов. 651013781 3в виде стакана и в нем размещен ,: .измерение давления в широком диапа-стержневой...

Номер патента: 1034100

Опубликовано: 07.08.1983

Авторы: Нойсс, Островка, Решетняк

МПК: H01J 41/16

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...Кроме того, карманы, выступающие внутрь корпуса, сокращает внутренний объем насоса, создавая тем самым сопротивление поступающему через входной патрубок газу. Все эти факторы в совокупности приводят к снижению удельной быстроты откачки, Насос также обладает невысокими эксплуатационными показателями при установке в различных положениях.Цель изобретения - повышение удельной быстроты откачки и улучшение условий эксплуатации насоса.Поставленная цель достигается тем, что в комбинированном магниторазрядном геттерно-ионном насосе, содержащем герметичный корпус с размещенным в нем карманами с магнитами, разделяющими корпус на секторы, в которых установлены испарители геттера, а между карманами размещены разрядные блоки с плоскими...

Номер патента: 1088091

Опубликовано: 23.04.1984

Авторы: Лукьянов, Рудницкий

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...перемещения в направлении,перпендикулярном оси цилиндров.Срок службы таких насосов повышенза счет обеспечения воэможности35перемещения анодных ячеек в направлении, перпендикулярном их оси,чтопозволяет располагать под ячейкаминовые участки катода, еще не обработанные разрядом 2 .Недостатками этого насоса явля-.ются невысокая скорость откачки иневозможность ее стабилизации впроцессе работы насоса, когда давление откачивающего газа меняется вшироких пределах.Целью изобретения является повышение и стабилизация скорости откачки,ремещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент...

Номер патента: 1091254

Опубликовано: 07.05.1984

Автор: Маханов

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...цаибольшая скорость постижения этаГО вакуумяИзвестно, что скорость геттерирования газов пористым титаном определяется величиной площади рабочей поверхности материала (рабочая поверхность - поверхность, доступная отка чиваемому газу), а скорость ионной откачки газов - интенсивностью газо 20 ности разряда, что ведет, как уже отмечалось выше, .к повышению удельнойпроизводительности насоса, Кроме того, магнитное попе, необходимое дляинтенсивного разряда, в каждой ячейке создается при меньших размерахмагнитной системы, так как определяется суммой магнитный поток от двух вого разряда, которая в свою очередьопределяется геометрическими размерами ячейки насоса.1 ОЗависимость предельного вакуумамагниторазрядного насоса с анодом изпористого...

Номер патента: 1150506

Опубликовано: 15.04.1985

Авторы: Васильев, Черенщиков

МПК: G01L 21/34

Метки: давления, магниторазрядный

...питающих напряжений, Высокоенапряжение - источник повышеннойопасности для обслуживающего персонала. Кроме того, за счет высокогонапряжения ионы приобретают значительную энергию и, бомбардируя электроды, вызывают интенсивное их рас-.пыление, приводящее к откачивающемудействию манометра, что понижаетточность измерений.Цель изобретения - улучшение условий техники безопасности и повышения точности измерений за счет снижения напряжения зажигания и поддержания разряда.Укаэанная цель достигается тем,что согласно способу измерения давления, заключающемуся в измеренииразрядного тока, возникающего вэлектрическом и магнитном полях приодновременной подаче на электродыдатчика переменного синусоидальногопостоянного напряжения, используютпеременное...

Номер патента: 1203389

Опубликовано: 07.01.1986

Авторы: Иноземцев, Крот, Ломакин, Пакулин

МПК: G01L 21/34

Метки: давления, датчик, магниторазрядный

...ПИ Гасу;г; С гас;,.с;ги гссии:.и и:Л .Сг(с) дсла:, и:)С)ст.иг(11 и:, иг 3 г:Филиал ПП 1;1(.:гс 3 г, г ссигс)ги)л, (. 1)с)р;, 3;и Изобретение относится к области ко рольно-измерительной техники, в част"Ост . к измерениям низких давлений мгпомстрцческимк средствами.Цель изобретения увели:снис .увс-. вительностк и уменьшенке габарцтов дат цика.На чертеже представлено прсдла ас;1с устроиство.Устройство со,гержит катод 1 и анод .:., выполненные в виде дисков, псрфорироваг - цый полый цилиндр 3 и размегцеццй мект цимк, и примыкаюкую к катоду 1 магицтц,ю систсгм, содержагцмк) цилиндр 4 и;1 м:.1 г(. ПрОВОдцОГО Матсркага С ПО.ОСТЬК) О. Ь КОс- рОй раЗМЕ(цеи ПОСтОяННЬй Ма НИГ с 1,1,ИСГС анода 2 сн 1 ожеп металлцссеким стс 1)жгсм , закрсленным на...

Номер патента: 1351465

Опубликовано: 30.07.1991

Авторы: Контор, Лукьянов, Рудницкий, Шишловский

МПК: H01J 41/20

Метки: магниторазрядный, насос

...в аноде 4. Таким образом, против отверстийв аноде расположены участки катодов,отделенные от остальной их части пе-,ремычками 5. Эти участки совместнос соответствующими им участками анода ЗБобразуют разрядные ячейки. Перемычкимогут быть выполнены в виде цилиндрических стенок, образованных в материале катодов кольцевыми проточками,выполненными на поверхностях катода 40как со стороны, обращенной к аноду(внутренняя поверхность), так и спротивоположной стороны (наружнаяповерхность),Работает устройство следующим образом.При подаче на электроды высокогонапряжения между анодом 4 и катодом3 зажигается разряд в скрещенныхэлектрическом и магнитном полях -разряд Пеннинга, Образовавшиеся поло"жительные ионы бомбардируют поверхность геттерных...

Номер патента: 1803877

Опубликовано: 23.03.1993

Авторы: Гуревич, Ландау, Попкова, Цветков

МПК: G01R 1/00

Метки: магниторазрядный

...электростатическом гироскопе),необходимо осуществить следующую последовательность технологических операций;1) отсоединить (отпаять) стержень 8 гермоввода 7 от источника высокого напряжения (на фигурах не показан);2) снять магнитопровод 13 с преобразователя. Для этого необходимым(и довольнозначительным) усилием переместить магнитопровод 13 вдоль стержня 8 (на фиг,1 этонаправление вниз);3) повернуть магнитопровод 12 вокругоси заборного патрубка 6 на 180 О. Для этогоимеется зазор между магнитопроводом 12 истенкой патрубка 6,Нужно отметить, что этот поворот можно осуществить только в том случае, еслиплоскость 17 находится вне пределов рабо чей камеры преобразователя;4) извлечь из магнитопровода 12 магнит10.При подаче на анод 9 через...

Номер патента: 1826811

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Бендер, Кузнецов

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...увеличена более чем в 6 раз за счет пластин магнитопроводов, Это приводит к значительному увеличению быстроты откачки этих газов. Кроме того, интенсивное напыление геттера позволяет избежать перенасыщения водородом приповерхностного слоя,По этим же причинам растрескивание и коробление поверхностей происходят значительно медленнее, а деформация магнитопроводов, если и возникает в конце концов, не приводит к замыканию электродов. Это дает возможность работать пи давлениях водорода приблизительно 210 Па, в 6 или более раз превышающих допустимые для обычных ячеек (1-Зф 10 Па), и позволяет продлить срок службы насоса при откачке водорода.При откачке инертных газов поверхность, доступная для внедрения ионов инертных газов, поступающих из...

Номер патента: 1132727

Опубликовано: 20.12.1998

Авторы: Мироненко, Назаров, Пасманник, Петрук, Самохина, Терехов

МПК: H01J 41/00, H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

Магниторазрядный насос, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с осесимметричным патрубком откачки и осесиметрично размещенными в корпусе катодом, выполненным в виде плоских пластин из титана, и анодом, выполненным в виде набора цилиндрических ячеек, примыкающих к полому цилиндру, охватывающему патрубок откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки инертных газов и устранения аргонной нестабильности при расширении диапазона рабочих давлений от 2 10-1 до 5 10-9 Па, в насос введен дополнительный катод, выполненный в виде полого цилиндра из геттерного металла,...