Магниторазрядный насос

СОЮЗ СОВЕТСКИХСООИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИН ЗОБРЕТ ИСА ВИДЕТЕЛЬСТВ ВТОРСКО 5М. Рудницки 4, Бюл. Укьянов и(088.8)ильев Г.АМ., "Энефранции1/12, 19 Магнитораэрядгия", 1970.У 2244257,2 (прототип),(5 содерж тичный катода матери СУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ) МАГНИТОРАЗРЯДНЬЙ НАСОС, щий магнитную систему и герме корпус с размещенными в немми, выполненными иэ геттерногоала, и расположенным между ни 01 3 41 00 Н 01 Л 41 1 ми ячеистым анодом, ячейки которого выполнены в виде полых цилиндров,Оустановленных с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения и стабилизации быстроты откачки, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширения слоя биметалла со сто" роны внешней поверхности цилиндров превышает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности.40 указанная цель достигается тем, л что в магниторазрядном насосе, содержащем магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в нем катодами, выполненными из геттерного материала, и расположенным между 55 ними ячеистым анодом, ячейки которого выполнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью пеИзобретение относится к вакуумной технике, а именно к магнито"разрядным насосам, и может найтиприменение при откачке электровакуумных приборов и других объемовразличного назначения,Известен магниторазрядный насос,содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в немкатодами из геттерного материала и 10расположенным между ними ячеистыманодом с ячейками в виде полых цилиндров 11 .В таких насосах при давлении выше10 мм рт.ст. происходит сильное 15распыление катода.и в местах пересечения осей ячеек анода с катодамив последних образуются кратеры. Срокслужбы магнитораэрядного насоса поэтому определяется толщиной катодных 30пластин, увеличение которых приводитк увеличению массы насоса и повышениюего стоимости.Известен также магниторазрядныйнасос, содержащий магнитную систему 25и герметичный корпус с размещенными.в нем катодами, выполненными изгеттерного материала, и расположен"ным между ними ячеистым анодом, ячейки которого выполнены в виде полыхцилиндров, установленных с возможностью перемещения в направлении,перпендикулярном оси цилиндров.Срок службы таких насосов повышенза счет обеспечения воэможности35перемещения анодных ячеек в направлении, перпендикулярном их оси,чтопозволяет располагать под ячейкаминовые участки катода, еще не обработанные разрядом 2 .Недостатками этого насоса явля-.ются невысокая скорость откачки иневозможность ее стабилизации впроцессе работы насоса, когда давление откачивающего газа меняется вшироких пределах.Целью изобретения является повышение и стабилизация скорости откачки,ремещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширениягслоя биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превышает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности.На фиг. 1 показан насос, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1 ф, на фиг.3 - ячейка анода.Магнитораэрядный насос содержит герметичный корпус 1, катоды 2, анод Э в виде цилиндрических ячеек, выполненных из биметалла, магнитную систему 4, электрический, ввод 5 и откачкой патрубок 6При этом анод 3 установлен между катодами 2 с возможностью перемещения относительно катодов в направлении, перпендикулярном оси ячеек анода.Насос работает следующим образом.При подаче на анод 3 высокого положительного потенциала в насосе возбуждается разряд Пеннинга в скрещенных электрическом и магнитном полях и в результате ионной бомбардировки происходит распыпение катодов, выполненных иэ геттерного материала.Образующаяся при этом пленка геттера связывает остаточные газы.При запуске. насоса (работа при повышенном давлении) ячейки анода имеют большой диаметр. В процессе. работы насоса в режиме запуска в разряде выделяется мощность в виде тепла, в результате чего анод 3 разогревается до температуры, которая может достигать 300 оС. Под влиянием этого нагрева биметаллические ячейки деформируются (фиг.З), что приводит к уменьшению их в диаметре, и быстрота действия в этой области давления получается максимальной. По мере понижения давления в насосе уменьшается разрядный ток и выделяемая мощность, что приводит к понижению температуры на аноде и увеличению диаметра ячеек вплоть до исходного, Таким образом, и в этой области давления достигается максимальная скорость откачки.В результате уменьшения и увеличения диаметра ячейки центр ячейки смещается (фиг.З), смещается и эона1088091 4Таким образом, предлагаемая конструкция насоса позволяет повысить и стабилизировать скорость откачки в широком диапазоне давлений без ухудшения срока службы по сравнению с известной. иг. Составитель А. ЗахароТехред Т.Маточка Редактор И. Шулл Заказ 2683/ нного к тений и Раушска Филиал ППП "Пате г. Ужгород, ул. Проектная,интенсивного распыления на катодах,обеспечивая тем самым увеличениесрока службы насоса. Распыпяемый с,катодом геттер оседает на поверхностьанода, образуя пленку, способную сорбировать газы. Тираж 683 ВНИИПИ Гос 9 дарст по делам изоб 3035, Москва, Ж