H01J 41/20 — с использованием газопоглотительных сорбционных материалов, т.е. геттеров

Номер патента: 111517

Опубликовано: 01.01.1957

Авторы: Григорьев, Григорьева, Сакович

МПК: H01J 41/20, H01J 7/16

Метки: вакуума, высокого, газоразрядных, поддержания, приборах, создания

...прибор, содсржашпй распыляюшийся электрод 2, на который подастся отрицательный потенциалЭлектрод 2 изготовляется из титана, циркония, тантала, ниобия или другого металла, обладающего способностью поглощать газ и нс взапмодсйств ющего с ртутью,Вблизи электрода 2 располагастся вспомогательный электрод 3, на который подается положитсльнь 1 й потенциал по отношению к общему катоду 4.При возникновении между электродами 2 и 3 определенной разности потенциалов происходит ионная бомбардировка электрода 2, вызывающая его распыление. Распыленный металл электрода 2 осаждается на экране 5, который предотвращает загрязнение распыленным металлом деталей прибора. Чтобы нс происходило отслаивания пленок от экрана111517 1000 -ЭОООЮ 5, он имеет...

Номер патента: 139375

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Рейхрудель, Смирницкая

МПК: H01J 41/20

Метки: высоковакуумный, газоразрядный, многопучковый, насос

...один из которых расположен в плоскости симметрии между анодами и вместе с последними образует два разрядных промежутка в общем магнитном зазоре.На чертеже изображен общий вид многопучкового высоковакуумного газоразрядного насоса, состоящего из катодной коробки , двух сетчатых анода 2, крышки 3 коробки, вывода анода 4, изолятора 5 и перехода 6.Лнодное напряжение в насосе постоянное, магнитное поле создается либо постоянными магнитами, либо электромагнитом. В объеме между плоскостями катодов электроны совершают колебательное и вращательнос движение, пока не произойдет соударение с молекулами газа. Образующиеся ионы перемещаются вдоль силовых линий электрического и магнитного полей к катодам и вызывают интенсивное катодное...

Номер патента: 140123

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Мартинсон, Мызников, Романенко, Хабарова, Шугаева

МПК: F04B 37/02, F04B 37/08, H01J 41/20 ...

Метки: насос, сверхвысоковакуумный, сорбционно-конденсационно-ионный

...того, желательно найти такие условия работы насоса, чтобы слой геттера откачивал с большой скоростью метан, аргон и некоторые другис газы.Для улучшения характеристик описываемых сорбционно-ионных насосов предложено напылять слой геттера (титан, цирконий или торий) на поверхность, охлаждаемую до низких температур. Для распыления геттера используется один из известных испарителей, например испаритель типа манометра Альперта с коллектором в виде молибденового или вольфрамового стержня, на который надета спираль из тичановой или циркониевой проволоки или спеченный штабик из порошкообразного тория. При электронной бомбардировке можно напылить на поверхность в 500 слР десятки монослоев титана в течение нескольких минут, Напыленный слой...

Номер патента: 366515

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бов, Саксаганский

МПК: H01J 41/20

Метки: магниторазрядное, откачное

...и магнитного полей значениях угла наклона вектора магнитной индукции к осям анодных ячеек,Целью изобретения явэффективности откачки вразличной ориентации.Для этого в предложенном устройстве ортогоцальные грани ячеек ацода выполнены разцовысокими, причем большая грань параллельна вектору магнитной индукции, а высота Й меньшей грани связана со стороной а ячейкц в плоскости, параллельной катоду, соотношением /г(а с 1 д тг, где тг - максимальныйугол наклона поля к продольной осц ячейки,Выполнение ортогоцальных граней ячеек5 анода разцовысокцмц позволяет сохранитьвнутри я .ейкц электронный сгусток, всегдаориентированный по вцешнему магнитномуполю прц больших углах наклона векторамагнитной индукции к продольцоц оси ячеекО анода, нежели это...

Номер патента: 367484

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бов, Саксаганский

МПК: H01J 41/20

Метки: магниторазрядное, откачное

...ячеек.Цель изобретения - повышение эффности откачки в магнитных полях разориентации.Цель достигается тем, что в предтагаоткачном устройстве стороны а, а, Йанода связаны соотношениемб=.а зесз+й ф,- ребро грани ячейки, елвектору магнитного по а - ребро ортогональной грани;р - угол наклона вектора поля к продольной оси ячейки.Это означает, что анодные ячейки выполнены в плоскости, перпендикулярной к вектору индукции магнитного поля, приблизительно квадратными (прозрачными для силовых линий магнитного поля); форма ячейки в плоскости, перпендикулярной к оси, прямоугольная, что обеспечивает возможность использования магниторазрядного устройства в качестве эффективной встроенной системы откачки в установках с собственным магнитным полем при...

Номер патента: 371633

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Беккер, Соловьев

МПК: H01J 41/20

Метки: магнитный, насос, электроразрядный

...скорости ОК Я 1 К 1.2) Магнити( электрордержа(ций рязх(ещенные 5 пластинчатые катоды изи охлаждаемый анод, от с целью повышения пус обеспечения устойчивой давлениях ниже 10 (,1 в виде спирали, навито 1" ЯЗР 51 ДИЫИ НсСОС, СО.в магнитном ноле активных металлов ,ича(ойся тем, что, кового давления нработы насоса при рт. Ст., анод выполнениз трубки. Изобретение опосится к области вакуумной техники и может быть использовано при конструировании магниторазрядных насосов.Известен магнитный электроразрядный насос, содержащий размещенные в магнитном ноле пласт)шчатые катоды из активных металлов и охляждаемый анод.ИЗВЕСтияя КОНСтруКцня НС Обе снес(нваст эффективного охлакдения анода.Цель изобретешя - повышение пускового давления и обеспечение...

Номер патента: 612315

Опубликовано: 25.06.1978

Автор: Гуревич

МПК: H01J 41/20

Метки: геттера, испаритель, электродуговой

...высокие скорости испарения геттера 11. Известна также необходимость охлаждения катода этик испарителей проточной водой для отвода пэдвэдимой к ним электрической мощности,Известен также электродуговэй испаритель геттера, содержащий катод, выполненный из материала геттера, и встроенную в катод систему охлаждения с разделяющей оболочкой между ними 12. Оболочка в виде трубки выпэлнеца из меди, а катод - из х электрэдуговых испаз определенное время едцую оболочку системы тэк гэрения дуги для эка горения дуги длявыходу из строй и эграццчивает степень тк,тигается тем, чтэ оболочка, разатод и встроенную в него систеения, выполнена из материала с тэка горения дуги, пре ну для материала гетте озможным переход дуги)ГОР РОСЫ1 1" 1111 а ка ) 34) д...

Номер патента: 771762

Опубликовано: 15.10.1980

Авторы: Ахманов, Нэйсс, Островка

МПК: H01J 41/20

Метки: вакуумный, магниторазрядный, насос

...источником питания10. Соленоид охлаждается водой, жидкимазотом .и другими хладагентами.Перед запуском насоса в работу его внутренний объем откачивается с помощью фор 5 вакуумных средств откачки до давления 10мм рт. стпосле чего через соленоид 3 пропускается электрический ток от источника 9, а на блок анодов подается высокий положительный потенциал от источника 10. Внутри5 соленоида создается магнитное поле, силовые линии которого пронизывают. электродную систему в направлении осей ячеек анодов 4, Скрещенные электрическое и магнитное поле 4возбуждают в промежутках между анодами икатодами электродной системы тлеющий раз.ряд, посредством которого осу)цествляетсяпроцесс откачки, Электроны, генерируемыеразрядом, сталкиваются с частицами...

Номер патента: 813537

Опубликовано: 15.03.1981

Автор: Фискис

МПК: H01J 41/20

Метки: магнитный, электроразрядныйнасос

...ортогональность электрического поля к магнитному, что значительно увеличивает вероятность ионизации молекул остаточного газа в насосе. Наличие авто- электронной эмиссии с острий и ортогональность полей способствует уменьшению величины порогового давления зажигания разряда. Для насоса с корпусом цилиндрической формы (фиг. 1 и 2) уменьшение высоты острий к центру приводит к равномерности электрического поля во всем рабочем пространстве насоса.Для насоса с корпусом прямоугольной формы (фиг, 3 и 4) высота острий одинакова по всей длине стержня, что обеспечивает также равномерность электрического поля во всем рабочем пространстве насоса.Идентичность конструкций катодов и анодов насоса обеспечивает возможность использования каждого...

Номер патента: 740068

Опубликовано: 23.06.1981

Авторы: Ключко, Саблев, Ступак

МПК: H01J 41/20

Метки: высоковакуумныйнасос, плазменный, сорбционный

...конденсатора на сорбирующей поверхности одиникова, Этим достигается высокая экономичность и эффективность работы насоса,В изобретении решена задача увеличения запаса титана, В экспериментальном насосе с диаметром камеры. 100 см,120 кг,. что обеспечивает огромный Ресурс работы насоса,Формула изобретения3, Плазменный сорбционный высоко- вакуумный насос, содержащий цилиндрическую вакуумную камеру, в которой 3 740068Это достигается тем, что катод вы-, 1 ду анодом и катодом 10 см, Снаружиполнен в,виде полого цилиндра, охватывающего коаксиально расположенный цилиндрический анод, а снаружи камеры,по всей длине катода, расположен проводник, выполненный в форме змеевикаспостоянным шагом намотки и перехлестом концов только. в одной точке,...

Номер патента: 970510

Опубликовано: 30.10.1982

Авторы: Гуревич, Саксаганский

МПК: H01J 41/20

Метки: ионно-геттерный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...насоса изготовленного,например, из нержавеющей стали, коэффициент распыления которой практическиравен коэффициенту распыления титана,.Использование стенок корпуса насосав качестве катода магниторазрядных ячеек увеличивает проводимость этих ячеек и, следовательно, дополнительно эффективную быстроту действия насоса по инертным газам, Оценка показывает, что можно ожидать увеличенияэффективной быстроты действия насоса по инертным газам в 1,5- 2 разапо сравнению с известными конструкциями.Для предотвращения выхода плазмы, горящей в магниторазрядных ячейках в процессе их работы, за пределы ячеек их входное сечение закрыто сеткой 5. При использовании электродуговых испарителей 2 геттера наличие сетки 5 позволяет также изолировать...

Номер патента: 1065928

Опубликовано: 07.01.1984

Авторы: Аркузский, Волчков, Гербовицкий, Саблев, Слуцкий

МПК: H01J 41/20

Метки: насос, сорбционный, электродуговой

...электроизолированными от корпуса катодом и геттерного материала и полым анодом, анод выполнен в виде экрана, перекрывающего всю поверхность корпуса, за исключением участка, расположенного за рабочей поверхностью катода в сторону от анода, и участка, перекрытого ловушкой, а ловушка снабжена токовводом, изолированным от корпуса и анода.Нагрев и обезгаживание сорбирующей поверхности насоса, которой является поверхность тонкостенного анода и оптически непрозрачной ловушки, осуществляется энергией дуового разряда при форвакуумной откачке насоса. При горении дуги в электродуовом испарителе с камерой-анодом примерно 2/3 подводимой энергии выделяется на аноде.Поскольку масса анода в предлагаемой конструкции меньше массы вакуумной...

Номер патента: 1152433

Опубликовано: 30.10.1988

Авторы: Баранов, Карпов, Потехин, Саксаганский

МПК: H01J 41/20

Метки: газов, испарительный, насос, откачки, электродуговой

...Данный эксперимент показал эффективность предлагаемого способа для откачки активных газов.Ч Рорнгде Ч - объем установки.Оптимальное соотношение временраспыления геттера С Р и паузы Сд,при которых быстрота действия остается постоянной во времени, определяется по формулам8 10и Ро4ВМР, еЧ;ф аоР 1 " Я крвф"3,310" 0 1 Р; Ф;, Кмгде и - количество монослоев (и == 5-10);Р, Р, в площа поверхности испарения и входного отверстия насоса,- поверхность непосредственного1 фмассообмена между поверхностью напыления и испарителем;- скорость испарения геттера(0,2-0,8),К ,.- коэффициент неравномерностиюраспределения молекулярногопотока;Ф;, - коэффициент, учитывающий переотражения молекул на различных поверхностях устройства;" молекулярный поток, входящийв...

Номер патента: 693988

Опубликовано: 07.11.1988

Авторы: Саксаганский, Сорокин, Турченко

МПК: F04B 37/02, H01J 41/20

Метки: испаритель, электродуговой

...геттера, т.е. к сокращению срока службы насоса. Кромб того, наличие специального поджигающего электрода приводит к усложнению и, как следствие, - снижению надежности работы испарителя.Целью настоящего изобретения является повышение срока службы насосаО 520 25 3035404550 за счет упрощения конструкции испари -теля и более полного использованияпервоначального запаса геттера.Указанная цель достигается тем, что в известном электродуговом испарителе, содержащем катод, выполненный из материала геттера с охлаждаемой подложкой, и стабилизирующий экран, катод выполнен в форме полусферы, а экран установлен вокруг подложки катода. В другом варианте между экраном и охлаждаемой подпожкой установлен изолятор, а экран электрически связан с...

Номер патента: 1336845

Опубликовано: 15.02.1990

Авторы: Карпов, Саксаганский

МПК: H01J 41/20

Метки: блок, вакуумной, камеры, откачки, установки, электрофизической

...при этом пленка геттера напыляется на свободные поверхности блока откачки и сорбирует активные газы. Формул а Изобретение относится к техникеполучения вакуума преимущественно вускорителе заряженных частиц.Целью изобретения является увеличение производительности и надежности блока откачки вакуумной камерыэлектрофиэической установки.а фиг, 1 изображена схема предлагаемого блока; на фиг, 2 представлен катод - источник геттерных пленок,Вакуумная камера 1 электрофизической установки содержит встроенныйблок 2 откачки вакуумной камеры, источник 3 заряженных частиц, систему.4 фокусировки пучка, мишень 5, Вбгоке 2 откачки вакуумной камеры установлены катоды 6 электродуговогоисточника геттерных пленок, снабженные защитными экранами 7, На...

Номер патента: 1351465

Опубликовано: 30.07.1991

Авторы: Контор, Лукьянов, Рудницкий, Шишловский

МПК: H01J 41/20

Метки: магниторазрядный, насос

...в аноде 4. Таким образом, против отверстийв аноде расположены участки катодов,отделенные от остальной их части пе-,ремычками 5. Эти участки совместнос соответствующими им участками анода ЗБобразуют разрядные ячейки. Перемычкимогут быть выполнены в виде цилиндрических стенок, образованных в материале катодов кольцевыми проточками,выполненными на поверхностях катода 40как со стороны, обращенной к аноду(внутренняя поверхность), так и спротивоположной стороны (наружнаяповерхность),Работает устройство следующим образом.При подаче на электроды высокогонапряжения между анодом 4 и катодом3 зажигается разряд в скрещенныхэлектрическом и магнитном полях -разряд Пеннинга, Образовавшиеся поло"жительные ионы бомбардируют поверхность геттерных...