Магниторазрядный насос

ОЮЗ СОВЕТСКИХ ОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУ БЛИН 0 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ О ИСАНИ ОРСКОМУ ОБРЕТЕН К 1. Б(57) Изрбретение может бытьзовано при откачке большихводорода в электрофизическихновках, в технологических иобработки электровакуумныхв среде водорода. Магниторанасос (МРН) содержит полюса исполь отоков устаоцесса рибсро рядный 1 маги(46) 30.07.9 (21) 4012680 (22) 23. 128 (72) С.П. Лу Е.И. Контор (53) 621.528 (56) Василье насосы. М.:Патент ФР кл. Н 01 Л 4 СВИДЕТЕЛЬСТВ 80135146 ной системы, герметичный корпус 2,катоды 3 в виде пластин с кольцевымиперемычками (П) 5, анод 4 с круглымиотверстиями. Катоды 3 изготовлены изтитана и установлены параллельнодруг другу. П 5 соосны отверстиям ваноде 4. Против отверстий в аноде 4расположены участки катодов, отделные от остальной их части П 5, с ораэованием разрядных ячеек. П 5 могут быть выполнены и в виде цилиндрнческих стенок, образованных в материале катодов кольцевыми проточками,выполненными на поверхности катодакак со стороны, обращенной к аноду,так ис противоположной стороны.Изобретение увеличивает ресурс МРН.,1 з в и е . ф"лы, 2 ил.1351465 Изобретение относится к областивакуумной техники и может найти применение при откачке больших потоковводорода в электроФизических уста 5новках, в технологических процессахобработки ЭВП в среде водорода, атакже при откачке вакуумных объемовразличного назначения до сверхнизкихдавлений в различных отраслях промы" 10шленности,Целью изобретения является увеличение ресурса магнитораэрядного насоса, Цель достигается за счет сни/женйя механических напряжений в мате бриале катодов при работе насоса.На Фиг. 1 представлена конструктивная схема рабочей части насоса;на фиг. 2 " изображена зависимостьресурсанасоса от отношения днаметра перемычки й к диаметру йотверстий в аноде,Устройство состоит иэ полюсов 1магнитной системы, герметичного корпуса 2, плоских катодов 3, ячеистого 25анода 4. Катоды выполнены с кольцевыми перемычками 5.Катоды изготовлены из титана и установлены параллельно друг другу.1Перек,ьчки 5 соосны отверстиям в аноде 4. Таким образом, против отверстийв аноде расположены участки катодов,отделенные от остальной их части пе-,ремычками 5. Эти участки совместнос соответствующими им участками анода ЗБобразуют разрядные ячейки. Перемычкимогут быть выполнены в виде цилиндрических стенок, образованных в материале катодов кольцевыми проточками,выполненными на поверхностях катода 40как со стороны, обращенной к аноду(внутренняя поверхность), так и спротивоположной стороны (наружнаяповерхность),Работает устройство следующим образом.При подаче на электроды высокогонапряжения между анодом 4 и катодом3 зажигается разряд в скрещенныхэлектрическом и магнитном полях -разряд Пеннинга, Образовавшиеся поло"жительные ионы бомбардируют поверхность геттерных катодов 3, вызываяего Распыление. Откачка активных газов происходит за счет сорбции рас.пыляемьщ материалом катодов эа счетвнедрения ионов в катоды. Инертныегази откачиваются в основном за счетвнедрения ионов Титан и водород хорошо реагируют друг с другом образуя гидрид титана. Наивысшаяизмеренная концентрация водорода в титане соответствует соединению ТН и рассматриваетсяне как химическое соединение, а как твердый раствор водорода в титане. Раствор титан - водород имеет больший объем, чем сам титан, что приводит к возникновению в зонах внедрения водорода внутренних напряжений, вызывающих нарушение структуры геттерного материала катода, постепенное его разрушение и выход из строя.Поверхность катодных пластин, бомбардируемая ионами, является проекций активной эоны разряда в ячейках анода, и, например, при круглых ячейках представляет собой круг, диаметр которого меньше диаметра ячейки на два циклотронных радиуса электрона, находящегося вблизи стенки ячейки анода.Таким образом, диаметр распыляемой поверхности геттерного катода или зоны поглощения водорода равен диаметру активной эоны разряда, вследствие чего на катодных пластинах соосно разрядным ячейкам анода образуются нераспыляемые поверхности. В результате выполнения в этой нераспыляемой поверхности перемычек:выделенные места внедрения водорода свободно расширяются при увеличении их объема, не вызывая разрушения катодов.Как показали испытания, выполнение перемычек на катодных пластинах позволяет увеличить ресурс (фиг. 2) катодов при работе на водороде и по высить надежность работы насоса в диапазоне повышенных давлений при откачке других газов.Формула изобретения1. Иагниторазрядный насос, содержащий магнитную систему, герметичный корпус и размещенную в нем электродную систему, состоящую из двух параллельных пластин - катодов и расположенного между ними анода с круглыми отверстиями, Формирующими разрядные ячейки о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения ресурса насоса эа счет снижения механических напряжений в материале катодов, катоды выполнены с кольцевыми,