Магниторазрядный насос

Союз СоветскмиСоцкалистнческиеРеслублик ОП ИСАНИЕИЗЬБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ои 871255(51) М. Кл.з Н 01 3 11/12 Гееударстееииме иемитет Опубликовано 07.10.81. Бюллетень 37по аелам изебретеиий и етермтийДата опубликования описания 07.10.81) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к магниторазрядным насосам и может найти применение для получения вакуума без следов углеводородов.Известен магниторазрядный насос, состоящий из катодов в виде двух полых фигурных цилиндров, на которые надеты магниты в форме колец, и двух анодов, один из которых имеет форму цилиндра и размещен в зазоре между катодами, а другой - в виде шпильки - расположен на оси насоса 11.Недостатком данного насоса является то, что магнитная энергия не локализована в области разряда, что повышает необходимый вес магнитной системы.Также известен магниторазрядный насос, содержащий корпус, в котором размещены катоды, ячеистый анод и коллекторы, удовлетворительно откачивающие все газы, в том числе инертные и углеводороды 12.Недостатками этого насоса является то, что насос, рассчитанный на большие скорости откачки, имеет габариты, значительно превышающие размер стандартного фланца для данного условного прохода, а его вес в значительной мере состоит из веса корпуса.Целью изобретения является уменьшениевеса и габаритов магниторазрядного насоса.Указанная цель достигается тем, чтоу магниторазрядного насоса, содержащегокорпус, в котором размещены катоды, ячеистый анод и коллекторы, катоды выполнены в виде коаксиальных цилиндров, а анод и коллекторы раоположены с противоположных торцов катодов.1 о На чертеже представлен магниторазрядный насос в разрезе,Насос состоит из корпуса 1 с фланцем 2для присоединения его к откачиваемому объему (на чертеже не . показан). Внутри корпуса коаксиально размещены четыре 1 з цилиндрических катода 3 - 6, изготовленныхиз геттерного материала, например, титана.Анод 7 в форме жалюзийной ловушки и коллекторы 8 и 9 образуют вместе с катодами 3 - 6 два тороидальных разрядных промежутка 10 и 11. (Число катодов, коллекторов и, соответственно, разрядных промежутков может быть выбрано произвольно).Магнитное поле создается постоянными871255 Формула изобретения И 5 Ф 11Составитель В. Остенин Редактор Н. Коляда Техред А. Бойкас Корректор С. Щомак Заказ 8448/26 Тираж 787 Подписное ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4магнитами 12, удерживаемыми на корпусе 1 плитой 13, и формируется магнитопроводами 14, 15, 16. Катоды 3 - 6 и коллекторы 8, 9 имеют вакуумноплотные токовводы 17. Магниты 12, токовводы 17 и электрическая разводка (на чертеже не показана) закрыты заземленным декоративным кожухом 18,Перед работой насоса объем, в котором нужно создать разряжение, предварительно откачивается до давления - 10 з мм рт. ст.В это время корпус 1 насоса и все расположенные в вакууме поверхности могут быть прогреты проточной горячей водой (система водоснабжения не показана) для уменьшения газоотделения с них. При достижении давления - 10 з мм рт. ст. форвакуумную магистраль перекрывают и вклю чают электрическое питание насоса для обеспечения его работы. Источник электрического питания подключен таким образом, чтобы подаваемый на коллекторы 8 и 9 потенциал имел промежуточное значение между потенциалами катодов 3 - 6 и анода 7.При этом в разрядных промежутках 10 и 11 возникает магнитоизолированный газовый разряд. Распыляемый материал катодов 3 - 6 осаждается преимущественно на развитой поверхности анода 7 и коллекторах 8, 9. 25 Осаждаемая на аноде 7 пленка будет сор. бировать компоненты газа, образующие химические соединения с материалом катодов. Более отрицательный, чем у анода 7 потенциал коллекторов 8, 9 обеспечивает вытягивание из разряда ионов и поэтому на коллекторах 8, 9 наряду с хемосорбцией происходит ионная откачка. Как видно из приведенного чертежа, габаритный диаметр насоса не превышает диаметра стандартного фланца для данного условного прохода.,Увеличение номинальной скоростиоткачки насосом данной конструкции сводится к увеличению числа разрядных промежутков и диаметра условного прохода, а высота насоса для всего ряда остается постоянной. Спроектированный для технического предложения насос в соответствии с изобретением имеет высоту 100 мм. Наибольшие размеры насоса и простые формы его составных частей характеризуют его, как изделие более технологичное и менее трудоемкое, чем известные насосы той же производительности. Магниторазрядный насос, содержащий корпус в котором размещены катоды, ячеистый анод и коллекторы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения веса и габаритов насоса, катоды выполнены в виде коаксиальных цилиндров, а анод и кдллекторы расположены с противоположных торцов катодов. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР593267, кл, Н 01 1 41/12, 1976.2, Технология тонких пленок. СправочникМ Советское радио, 1977, т. 1, с. 217