Магниторазрядный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 945925
Авторы: Кузинец, Менбаев, Шерешевский
Текст
(51)М. Кл. Н 01 1 41/ОО Гоеудерстеенный коюнтет СССР но делам нзобретеннй н отерытнй(54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСО Цель изобретен ти откачки маг зобрете технике ционным акуумонноотносится частности повышение скооразрядного насонасосам, и предназначено ия и поддерживания высокосокого безмасляного вакусо для и верх о ма.Из естен магни азряднанод,атодам на асположенсодержащии ячеистыи ный между плоскими к ную систему 1,Недостатком э низкая скорость откачки магнит 1 о является того насо Недостизкая ск ком этого наость откачкио развитой продов. са являе ограниченнаяощадью поверх недостато ности эле, Известен также магниторазрядныи насос, содержащий металлический корпус с размещенной в нем электронной системой, состоящей из коаксиально расположенных полых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит 23.2 о са.Эта цель достигается тем, что в ма магниторазрядном насосе, содержащем металлический корпус с размещенной в нем электродной системой, состоящей из коаксиальна расположенных полых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит, каждый из электродов выполнен в виде набора перфорированных цилиндров, причем анодные цилиндры чередуются с катодными.На фиг. 1 представлен насос; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.Магниторазрядный насос содержит систему цилиндров 1, присоединенных к электрическому вакуумному вводу 2, систему цилиндров 3, электрически соединенных с корпусом 4, кольцевой магнит 5 и полюсные наконечники 6. К вакуумной системе насос присоеди 3 94592няется через патрубок 7, Для улучшения условий зажигания газового разряда и снижения вакуумного сопротивле-.ния цилиндры насоса выполнены перфорированными, 5Предлагаемый магниторазрядный насос работает следующим образом.При подаче высокого напряжения наэлектроды насоса во всех кольцевыхячейках, образованных смежными элек отродами, зажигается газовый разряд,Под действием образующихся в разрядеположительных ионов происходит распыление поверхностного слоя катодныхцилиндров, частицы которого оседаютна поверхности ан дных цилиндров, Врезультате осуществляется типичныйдля магниторазрядных насосов механизмионной и сорбционной откачки,Высокий коэициент использованияобъема и большой суммарной поверхности электродов предлагаемого насосапозволяет достичь высокую скоростьоткачки при сравнительно небольшихгабаритах насоса,25Предлагаемый магниторазрядный насос предназначенв частности,для электронных спектрометров и оже-спектро 5 4метров, но может быть использован практически в любых приборах и установках для получения высокого и сверхвысокого безмасляного вакуума,Формула изобретенияМагниторазрядный насос, содержащийметаллический корпус с размещенной внем электродной системой, состоящейиз коаксиально расположенных полыхцилиндрических анода и катода, одиниз которых электрически соединен скорпусом, и коаксиальный кольцевоймагнит, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью увеличения скорости откач"ки, каждый из электродов выполнен ввиде набора перфорированных цилиндров,причем анодные цилиндры чередуются скатодными,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1, Васильев Г, А. Магниторазрядные насосы. М., фЭнергия", 1970, с, 43. 2. Патент США йо 3216652,кл, 417-49, 1965 прототип).9 М 925 2 Состав Техред тор А. Дзятко грцшев акто Заказ 5341/ Ктндя жг ул ь А. Захаровадь Ко Тираж 761 По ВНИИПИ Государственного комитпо делам изобретений и отк 3035 Иосква, В, Раушская н илиал ППП "Патентн исноеа СССРтийдМ 5
СмотретьЗаявка
3230597, 03.11.1980
ЛЕНИНГРАДСКОЕ НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "БУРЕВЕСТНИК"
КУЗИНЕЦ АРНОЛЬД САМУИЛОВИЧ, ШЕРЕШЕВСКИЙ АРОН МАРКОВИЧ, МЕНБАЕВ ЗАУРБЕК КУРМАНАЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 41/00
Метки: магниторазрядный, насос
Опубликовано: 23.07.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-945925-magnitorazryadnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магниторазрядный насос</a>
Предыдущий патент: Способ защиты электроннолучевой установки
Следующий патент: Способ измерения коэффициента усиления электронного умножителя
Случайный патент: Флюс для наплавки