Патенты с меткой «ионно-геттерный»

Номер патента: 970510

Опубликовано: 30.10.1982

Авторы: Гуревич, Саксаганский

МПК: H01J 41/20

Метки: ионно-геттерный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...насоса изготовленного,например, из нержавеющей стали, коэффициент распыления которой практическиравен коэффициенту распыления титана,.Использование стенок корпуса насосав качестве катода магниторазрядных ячеек увеличивает проводимость этих ячеек и, следовательно, дополнительно эффективную быстроту действия насоса по инертным газам, Оценка показывает, что можно ожидать увеличенияэффективной быстроты действия насоса по инертным газам в 1,5- 2 разапо сравнению с известными конструкциями.Для предотвращения выхода плазмы, горящей в магниторазрядных ячейках в процессе их работы, за пределы ячеек их входное сечение закрыто сеткой 5. При использовании электродуговых испарителей 2 геттера наличие сетки 5 позволяет также изолировать...

Номер патента: 1102408

Опубликовано: 23.02.1989

Авторы: Гуревич, Карпов, Назаров, Потехин, Саксаганский

МПК: H01J 41/12

Метки: ионно-геттерный, насос

...между внутренним электродом1 и внешним электродом 2 - прямоймагнетрон.Величина зазора между катодом ианодом ячеек определяется напряженностью магнитного поля и электрическим напряжением между, катодом и анодом. При напряженности магнитногополя 200-800 Э и электрическим напряжением 1-10 кВ величина зазорамежду катодом и анодом магниторазрядных ячеек составляет 4-30 мм, Внутренний электрод 1 является одновременно корпусом откачного блока, а.внешний 2 - электростатическим экраном цилиндрического катода 4 электродугового испарителя геттера (титана) расположенного аксиально магниторазрядным ячейкам. Внутреннийэлектрод магниторазрядных ячеек 1 и,стержень 3 выполнены из немагнитного электропроводящего материала, авнешний электрод - из...