Шерешевской
Магниторазрядный насос
Номер патента: 940263
Опубликовано: 30.06.1982
Авторы: Бинунский, Крупальников, Пакулин, Цирлин, Шерешевской
МПК: H01J 41/00
Метки: магниторазрядный, насос
...набора кольце- кого и магнитного полей. Кольцевые об- вых постоянных магнитов 4, обращенных ласти, расположенные в центральных плъ друг к рругу одноименными полюсами и скостях шайб, не участвуют в разряде и разделенных шайбами 5 иэ магнитомягконе подвергаются распылению. Своей тор- го материала (например, Армко). Внутри цовой частью полость между анодом и ка- магнитов с шайбами установлены примытодом, где существует разряд и происхо- кающий к ним цилиндр 6 и проходящий по дит откачка газа, открыта к откачивае оси стержень 7. Цилиндр 6 соеринен с35мому обьему, так что вакуумная проводи- катодом 3 торцовым кольцом 8, а стермость от этого обьема к области откачки жень 7 - с анодом 1 риском 9. Все в отличие от насосов с ячеистым анодом...