Магниторазрядный манометр

, 8010 СОЮЗ СОВЕТСКИХС 64 ВЯапйеиРЕСПУБЛИК ИХ 01 Ь 21/3 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ от . гав(прототип) .(54) (57) ИАГЖИОРАЭРсодержащий два коакожеиных цилиидрическ,идетельство .СС 21/34, 1980 . етельство СССР 21/34, 1975 ЯЯНЫВ МАНОМЕТР иально располо их. электрода, внешний из которых снабжен торцевой;крввкой с отверстием, подключенныик обмотке трансФорматора, и размещенный снаружи внешнего электродамагнйт, магнитное поле которого нан;равлено вдоль оси электродов о тличавж.ийс я тем, что, сцелью увеличения точности путемповышения эФФективности очистки,измерения, ой снабжен стержневыммагнитом, а внутренний электрод выполнен в виде стакана и в нем размещен стержневой магнит, при этом стакан установлен в отверстии крышки иприкреплен к ней через изолятор.Все магниторазрядные манометры являются одновременно по принципусвоей работы и небольшими насосами, Закрытость разрядной камеры по от.- ношению к откачиваемому объему при-: водит к тому, что давление в ней нк 1 же, чем в окружающем манометр пространстве.Наиболее близким по технической сущностк к предлагаемому манометру является самоочищающийся магнитораэ рядный манометр, содержащий два со-,. осных цилиндрическихэлектрода, размещенных между плоскими торцевыми катодами и соединенных с концами высоковольтный обмотки трансформато ра., причем наружный цилиндрический электрод соединен с торцевыми катодами и снабжен внутренним кольцевым выступом, расположенным между диска мк, которые укреплены на внутреннем цйлиндрическом электроде. В этом манометре на любой из электродов манометра подают знакопеременное напряжение, а измерение разрядного тока производят в цепи другого электрода. В известном манометре образуются схожие конфигурации разрядных :промежутков как со стороны внутреннего, так и со стороны наружного электродов, что обеспечивает в определенной области рабочих давлений существованиеразряда, ток которого служит мерой давления при любом "знаке напряжения на внутреннемэлектроде относительно заземленного наружного электрода 23.Недостатком известного манометра является невозможность измерять давления более низкие, чем 10-Па, что связано с затрудненностью существования разряда из-за наличия кольцевого выступа, который делает этот манометр аналогичным ячейке Пеннинга в ее первоначальном виде, неэффективном для измерения нивках давлений. Кроме того, к его недостаткам следует отнести снижение точности измерений при низких давлениях, что связано с затрудненностьюфсуществования разряда и снижением эффектив.ности очистки электродов.Целью изобретения является уве" личенже точности за счет повышенияэффективности очистки электродов ирасширение диапазона измерения. Эта цель достигается тем, что магниторазрядный манометр, содержа" щкй два коаксиально расположенных цилиндрических электрода, внешни кз которых снабжен торцевой крышкой с отверстием, подключенных к обмотке трансформатора и размещенный снаружи внешнего электрода магнит, магнитное поле. которого направлено вдоль оси электродов, снабжен стержневым магнитом, а внутренний электрод выполнен Изобретение относится к контролБно-измерительной технике, в частнос;ти к магниторазрядным манометрам для,измерения низких давлений, с питаниемих переменным, током.низкие давления измеряюэся ионй-, 5зационными манометрами с горяЧим каФтсдом и магниторазрядными, Магнкто.разрядные манометры по сравнениюс ионизационными весьма прости поустройству, долговечны, устойчивы к 10пап;оку в работающий манометр атМос,феры, Однако при длительной работев парах масел и органических соединений в них наблюдается ьарастающаясо временем нестабильность показа" 15ний вплоть до полной потери работо"способности, что ограниживает кхболее широкое распространение. Этиявления происходят в основном из-за.покрытия анода диэлектрическими .20пленками, образующкмкся на поверхности в результате полимеризацкиорганических соединений под действкем электронной бомбардировки. Разрубпять полимерные пленки можно либОмеханически при периодической чисткеманометра с нарушением вакуума либб;за счет ионной бомбардировкк припитании манометра переменным током.Известен самоочкщающийся магнкторазрядный манометр, содеРжащий дваосокиных цилиндрических электрода,.соединенных с концами высоковольтной,обмотки трансформатора, и охватывие,щий наружный электрод кольцевой маг,нит. манометр снабжен двумя плоскимк 5торцевыми катодами, .между которымирасположены соосные цилиндрическиеэлектроды, и источником постоянного,разрядного напряжения, отрицательнаяклемма которого соединена с плоскими 40торцевыми катодами, а положительная;- со средней точкой высоковбльтнойобмотки трансФорматора, 1 .В процессе работы известного манометра в каждый полупериод питающе", 45го напряжения анодом служит лишьодин из цилиндрических электродов,другой в это время является катодом:находится под воздействием потокаионов и, следовательно, очищается.В отличие от всех описанных аналогово,в данном манометре поддерживаетсянепрерывный разряд независимо от Фазы переменного напряжения вплоть досамого глубокого вакуума.Недостатком известного манометраявляется сложность его конструкции, так как он фактически имеет два источника питания. переменного к пос", тоянного напряжения. Другим недостатком известного манометра является 60 наличие погрешности измерения, свя- занной с присутствием собственного откачивающего действкя манометра и закрытостью его конструкции иэ"за наличия плоских торцевых катодов. 651013781 3в виде стакана и в нем размещен ,: .измерение давления в широком диапа-стержневой магнит, при этом стакан зоне (10- - 10 мм рт.ст.). В проустановлен в отверстии крышки и При-Цессе Работы манометра в каждый покреплен к ней через изолятор. .лупериод анодом служит лишь один изНа чертеже приведена схейа мано-цилиндрических электродов, другой в.метра. 5 зто время является катодом и. нахоОн содержит два соосных цнлиндри- дится под воздействием потока ионовческих элекррода 1 и 2, соединенных, За полный период изменения перемен- .с концами высоковольтной обмотки ного напряжения происходит жоочеред"трансФорматора 3, и охватывающий . ная самоочистка цилиндрических электнаружный электрод 1 кольцевой магнит 10 родов. Камера манометра открыта по4 с полюсными наконечниками 5.внутрен-. . отношению к измеряемому объекту,чтонкй электрод 2 выполнен полым в виде позволяет вскюючить вв числа источ-:стакана и в нем размещен стержневой маг-, - , ников погрешности влйявия его собст",нит б с полюсными наконечниками 7.,венного откачивающего действия иМагниты 4 к б направлены одноимев".явлений сорбции в.десорбции на повьачи полюсами в одну сторону. Наруж- верхности торцевых дисков.ный электрод 1 служит. одновременно . - Давление в полости манометра икорпусом манометра. Внутренний элект- . измеряемом объекте одинаковы. Геомет"род 2 изолирован от корпуса через: рическве размеры разрядных промежутизолятор 8. Полость.в электроде 2:ков манометра близки между собой,открыта в сторону атмосферы,.так ;: . а расположение электродов в распре-что оба магнита 4 в б могут быть : ., : деление электрического к магнитного ,удалейййз манометра при его прогревеЬ. полей между ними способствует проте".Манометр работает следующим об - , :. канию газового разряда таким обраразом. :, . . ;:2 э зом,что токи.разряда в каждый поМагнитное поле в манометре между.:. лупервоц изменения. пктающего напря-цилкндрвческимв электродамв образует. жения будут практически одинаковы ися каждым из магнитов:4 к б, Маг-.", .; ,. пропорциональны давлению. Это .повынитные силовые линии, ,эвэображевные .:. кает точность измерения давления н соз-на чертеже кривыми лкниямй, начинают-дает в процессе работы манометра одинася и заканчиваются на электродах 1 "3 ф ковые условия для очистки электродов.н 2. Электрические силовые ликии - , . Простота конструкции, широкий между цилиндрами идут по радкУсайю ,: .:диапазон рабочих давлений, повышенв объеме между .цилиндрами электри;:, . иая точность измерений и эффективческое и магнитное воля взаимно пеР- . ":ность самоочистки позволит широко ,нендвкулярны, что необходимо дяя. .:35 использовать предлагаеьаюй манометр вподдержания разряда. В Один вз по-;.:;камерах и вакуумных.технологических ус+, лупериодоэ переменного напряжения. тановках с парами маслаи другими орта" : ,внутрейний электрсЖ 2 находится, .": .,:нвческими соединениями в остаточном газе,"например, под положительным нотен".:Открытость конструкции манометрациалом относительно наружного элект,:.40 позволяет существенно снизить погрода 1 и служит анодом. Разряд под-:.".,решность кзмеренвя в потоках газадерживается в.наружной половине меж ,по сравнению.с.известною, имеющимв,электронного пространства., в очища-.; торцевые диски, В манометрах закрытоется наружный электрод, При смене.-;.", го типа давление внутри камеры .отлкполяриоств питающего напряжения раз;:,.4 ,чается от давления в потоке.рядперемещается к внутреннему элакт" манометр также эфФективен припо вроду, который становится катодом и . .-установке его на летательном аппараодвергается очистке: . те где присутствуют испаре ия оргР бв аа ота .манометра наиболее эффек-:..нвческих соединений. Смещением вдоль.тивна прк литании переменным вапря- - осв цилиндрического.магнита внутрен,ен ем в Энде прямоугольной Форшы. , - него электрода можно получить.прак-.,":50При этом измерение давления и само.тически полное.сбдиженне характерисочищение его происходит непрерывно, ткк манометра -. зависимости разряд-Такое конструктивное выполнениеного тока отрицательной полярности.манометрапри соосном расположении ,; . к положительной полярности по отно-цилиндров и магнитов позволило осу-.,5 шенвю к корпусу от величины измеряе ществить его работу, как внверсво- : " мого давления.;магветровного, когда на внутренней . ; . технкко-экономические преимущест,цилиндре положительная полуволна , ва предлагаемого маноьетра обуслов-.:электрического напряжения перемен- :.лены его простотой, высокой точностьюного тока, а на внешнем - отркца-60 измерения давления в масляной атмос-.тельная, и магнетровного, когда по-Фере, широким рабочим диапазоном,лярвость пщгающего напряжения обрат ,технологичностью изготовления и вываЭ. Данная конструкция обеспечквае ;сокой надежностью.ВНИИПИ Заказ 3002 49 Ти аж 871 ПодписноеФилиал ППП "Патентф, г.ужгород,ул.Проектная,4