H01J 41/00 — Разрядные приборы и соединенные с ними средства, предназначенные для измерения давления газа; разрядные приборы, предназначенные для откачки при помощи диффузии ионов

Номер патента: 60594

Опубликовано: 01.01.1942

Автор: Сена

МПК: H01J 41/00

Метки: газового, ионизационный, манометр, приборах, разряда

...приводится возможное оформление и расположение ионизационного манометра для измерения плотности ртутного пара в металлическом ртутном выпрямителе. В этом случае манометр может быть введен в выпрямитель через смотровое окно или через анодный фланец.Если в ионизационный манометр, содержащий фланец 1, соединительную муфту 2, ввод 3 первой сетки 4, ввод 5 второй сетки 6, ввод 7 электрода (коллектора) 8 и держатель 9, через входное отверстие 10 войдет пучок ионов, то в пространстве между сеткой 6 и электродом (коллектором) 8 при прохождении через газ часть этих ионов переза-. рядится и образуется некоторое количество медленных ионов. Если при этом потенциалом электрода относительно сетки будет отрицательным, то все ионы (и быстрые, и...

Номер патента: 253256

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Горбенко, Шепелев, Шоль

МПК: H01J 41/00

Метки: воздуха, ионизации, перемещения

...друг от друга приваривают коронирующие острия. Некоронирующий электрод представляет собой проволочную сетку. гольного илиз диэлектрика Корпус б устроиства прямкруглого сечения изготовлен(вини пласт, текстолит, органическое стекло и др.). Электроды закреплены в корпусе. Острия коронирующего электрода направлены в сторону желаемого направления и движения 5 воздуха.Для изменения производительности устройства при неизменном напряжении источника один из электродов 1 б) выполнен подвижным, Для перемещения подвижного электрода кор пус имеет прорезь 7, закрываемую подвижнойпланкой. Высокое напряженно на электроды подают через выводы 8 н 9.Устройство работает следующнм образом, К коронирующему электроду подводится от рицательный полюс нсгочника...

Номер патента: 441614

Опубликовано: 30.08.1974

Авторы: Зайцев, Малолетков, Николаев, Шумаков

МПК: H01J 41/00

Метки: газа, газоразрядных, давления, пара, приборах

...катодом влияет статическое время запаздывания.Цель изобретения - увеличеизмерения и расширение диапамых давлений. При подаче постоянного напряжения на электроды газоразрядного прибора в промежутке зажигается слаботочный вспомогательный разряд, величина тока которого ограничивается сопротивлением в пределах единиц миллиампер. Между электродами устанавливается напряжение горения.Импульс положительной полярности, по амплитуде превышающий напряжение горения, подается через диод на анод. Длительность импульса должна превышать время запаздывания и формирования разряда. Во время действия импульса в промежутке образуется разряд с более высокой концентрацией зарядов. По окончании импульса начинается распад плазмы (низковольтная стадия) прп...

Номер патента: 473240

Опубликовано: 05.06.1975

Авторы: Лебедев, Мешковский, Розанов, Рябов, Холодов

МПК: H01J 41/00

Метки: адсорбционноразрядный, насос

...достигается в результате того, что алсорбционный элемент выполнен из токо:роволящсго материала в вилс пластины с отверстиями, окруженными тепловым экраном, находящимся под отрицательным потенциалом по отношению к корпусу насоса, сослиненному с токопроволящим адсорбционным элементом, и образующими разрядные ячейки.На чертеже показан предло;кснный алсорбционно-разрядный насос.Насос солсржит корпус 1 с патрубком 2,ля поЛсосдинения к откачивасмой системе; магнитную систему 3, алсорбциошьй элемент 4 из токопроволягцсго материала, вы:юлненный с отверстиями 5 и сослиненный с корпусом насоса: систему охляжлсння 6, Отверстия в алсорбциоьпом элемснте окружены тепловым экраном 7, находящимся под отрицательным потенциалом по отношению к корпусу наси...

Номер патента: 490211

Опубликовано: 30.10.1975

Авторы: Белоусов, Варнакова, Грушников, Донской, Назаров, Силаев

МПК: H01J 41/00

Метки: геттерно-ионный, насос

Номер патента: 506920

Опубликовано: 15.03.1976

Авторы: Босов, Виноградов

МПК: H01J 41/00

Метки: водорода, выделения, газовой, фазы

...в енки мета, ее пленкодающего т рая меньш использ качеств чла-погл "т вспомо еплотой е теплот ванием по предлапоглотителя водоотителя с нанесенгательного вещестадсорбции водороы растворения этоет в сыИзобретение от ния водорода из предусматриваюп компактными илт и может оыть ттсп качке газов из обИзвестны спос использованием и ний, редкие и тх способов является фициента прилипания начения - 0,3 - 0,6 на ерхности до величины глощения первых порприблизительно соотию моноатомного адледствие этого поглоличества газа проис- высокой скоростью. повышение эффективч,а,г аза в металле-поглотителе, а также оольш чем у металла-поглотителя, коэффициент прилппания молекул водорода.Такая система обладает той особенностью, что более глубокой...

Номер патента: 562016

Опубликовано: 15.06.1977

Автор: Маханов

МПК: H01J 41/00

Метки: насос, электроразрядный

...от оси насоса на расстояние не более половины внутреннего радиуса корпуса-анода 1.Корпус-анод 1 имеет форму полого цилиндра с внутренним диаметром 20 мм. Стержни катода 2 изготавливают из титано-молибденовой проволоки диаметром 1,1 мм. Онп располагаются на расстоянии 2 мм друг от друга, Диски катода 3 выполнены пз компактноготитана диаметром 16 мм и толщиной 2 мм, они располагаются друг от друга на расстоянии 20 мм.Для оценки проявления эффекта памяти насос обезгаживают при температуре 450 С в течение 5 часов в вакууме не ниже 5 10Тор. Затем на катод относительно корпуса-анода 1 подают отрицательное напряжение 3 кВ, а на стержни 2 через выводы а и б - переменное напряжение 1,1 В, при этом по ним течет ток 20 А, и стержни 2 нагреваются...

Номер патента: 879675

Опубликовано: 07.11.1981

Авторы: Бакиров, Молчанов

МПК: H01J 41/00

Метки: газовый, насос, электродинамический

...65 ля, которое проникает в газ, находящийся в диэлектрическом вакуумпро- воде 3. Когда напряженность электрического поля в вакуумпроводе превысит то значение, при котором зажигается разряд, происходит ионизация газа, Предл гаемые варианты выполнения насоса обеспечивают те условия, при которых образовавшиеся ионы и электроны приобретают направленное в одну сторону движение, и сталкиваясь с нейтральными частицами, увлекают их за собой. Электрическое и магнитное поля в резонаторах взаимно ортогональны и сдвинуты по времени друг относительно друга на четверть периода колебаний (фиг. 1 и 2) поэтому частицы газа в вакуумпроводе, как заряженные, так и нейтральные, приобретают скорость в направлении, перпендикулярном направлениям электрического...

Номер патента: 820512

Опубликовано: 15.02.1982

Авторы: Лившиц, Меттер, Ноткин

МПК: H01J 41/00

Метки: водорода, выделения, изотопов, фильтр

...спираль), фильтр для выделения водорода и его изотопов, состоящий из покрытого слоем золота ал еобъем реку рац илУстройс р едзом.5 С помощью фланца 1 устройство устанавливают на объекте, в котором водородявляется рабочим газом и где необходимоосуществить выделение (откачку) и рекуперацию газа. Поступающий и откачиваемый10 объем 2 газ диссоциирует на спирали 3, Атомы водорода диффундируют через слой золота 4 к палладию 5. Поскольку потенциальная энергия атома водорода в золоте существенно выше, чем в палладии, водород,15 достигая границы золото-палладий, легкопереходит в палладий и десорбируется вобъем рекуперации 6. Обратное движениеводорода практически отсутствует вследст.вие существования высокого потенциально 20 го барьера на...

Номер патента: 940262

Опубликовано: 30.06.1982

Авторы: Королинский, Озеров, Пушкина, Слуцкий, Яковлев

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядным, насосом, откачки

...насос доакен обладать значительными габаритами н весом,а ресурс его работы оказывается невысоким,Цель изобретения - уменьшение габаритов и веса насоса и увеличение ресурса его рабаты.20 Поставленная цель достигается тем,что в известном способе, включающемпредварительную обработку электродовнасоса электрическим разрядом в инертном газе в магнитном поле, предварите940262 3льную обработку проводят в магнитном поле, соответствующем началу режима насыщения скорости откачки,а эксплуатацию насоса осуществляют в магнитном поле, уменьшенном в 1,5-2 раза по сравнению с магнитным полем чри предвари-тельной обработке. 0 0 1,0;1,0 1,0 7 5 7 бразом обеспечив ти откачки и ре я на. единицу ма способ реализова сс-спектрометро редназначенных д ваний....

Номер патента: 940263

Опубликовано: 30.06.1982

Авторы: Бинунский, Крупальников, Пакулин, Цирлин, Шерешевской

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...набора кольце- кого и магнитного полей. Кольцевые об- вых постоянных магнитов 4, обращенных ласти, расположенные в центральных плъ друг к рругу одноименными полюсами и скостях шайб, не участвуют в разряде и разделенных шайбами 5 иэ магнитомягконе подвергаются распылению. Своей тор- го материала (например, Армко). Внутри цовой частью полость между анодом и ка- магнитов с шайбами установлены примытодом, где существует разряд и происхо- кающий к ним цилиндр 6 и проходящий по дит откачка газа, открыта к откачивае оси стержень 7. Цилиндр 6 соеринен с35мому обьему, так что вакуумная проводи- катодом 3 торцовым кольцом 8, а стермость от этого обьема к области откачки жень 7 - с анодом 1 риском 9. Все в отличие от насосов с ячеистым анодом...

Номер патента: 945925

Опубликовано: 23.07.1982

Авторы: Кузинец, Менбаев, Шерешевский

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...цилиндров 1, присоединенных к электрическому вакуумному вводу 2, систему цилиндров 3, электрически соединенных с корпусом 4, кольцевой магнит 5 и полюсные наконечники 6. К вакуумной системе насос присоеди 3 94592няется через патрубок 7, Для улучшения условий зажигания газового разряда и снижения вакуумного сопротивле-.ния цилиндры насоса выполнены перфорированными, 5Предлагаемый магниторазрядный насос работает следующим образом.При подаче высокого напряжения наэлектроды насоса во всех кольцевыхячейках, образованных смежными элек отродами, зажигается газовый разряд,Под действием образующихся в разрядеположительных ионов происходит распыление поверхностного слоя катодныхцилиндров, частицы которого оседаютна поверхности ан дных цилиндров,...

Номер патента: 1088091

Опубликовано: 23.04.1984

Авторы: Лукьянов, Рудницкий

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...перемещения в направлении,перпендикулярном оси цилиндров.Срок службы таких насосов повышенза счет обеспечения воэможности35перемещения анодных ячеек в направлении, перпендикулярном их оси,чтопозволяет располагать под ячейкаминовые участки катода, еще не обработанные разрядом 2 .Недостатками этого насоса явля-.ются невысокая скорость откачки иневозможность ее стабилизации впроцессе работы насоса, когда давление откачивающего газа меняется вшироких пределах.Целью изобретения является повышение и стабилизация скорости откачки,ремещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент...

Номер патента: 1091254

Опубликовано: 07.05.1984

Автор: Маханов

МПК: H01J 41/00

Метки: магниторазрядный, насос

...цаибольшая скорость постижения этаГО вакуумяИзвестно, что скорость геттерирования газов пористым титаном определяется величиной площади рабочей поверхности материала (рабочая поверхность - поверхность, доступная отка чиваемому газу), а скорость ионной откачки газов - интенсивностью газо 20 ности разряда, что ведет, как уже отмечалось выше, .к повышению удельнойпроизводительности насоса, Кроме того, магнитное попе, необходимое дляинтенсивного разряда, в каждой ячейке создается при меньших размерахмагнитной системы, так как определяется суммой магнитный поток от двух вого разряда, которая в свою очередьопределяется геометрическими размерами ячейки насоса.1 ОЗависимость предельного вакуумамагниторазрядного насоса с анодом изпористого...

Номер патента: 1749542

Опубликовано: 23.07.1992

Авторы: Бендер, Кузнецов

МПК: F04B 37/02, H01J 41/00

Метки: насос, сорбционный

...габаритовнассов:Йедостатком известных насбсов является также значительный выброс газа вовремя дугового разряда, поступающего 30 главным образом со стенок камеры-исоздающего из-за малого коэффициента прилипания и большой скорости перетеканияброски давления в вакуумной системе приимпульсном напылении и являющегося причиной низкого предельного вакуума при непрерывном напылении.Известен сорбционный насос, содержащий сорбционную поверхность; внутрикоторой расположен исйаритель,Недостатком известной конструкцииявляется малая сорбирующая поверхйбсть, что уменьшает скорость откачки газов, При увеличении сорбирующей поверхности данного насоса растут его габариты.Цель изобретения "увеличение скорости откачки газов при тех же габаритах...

Номер патента: 1132727

Опубликовано: 20.12.1998

Авторы: Мироненко, Назаров, Пасманник, Петрук, Самохина, Терехов

МПК: H01J 41/00, H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

Магниторазрядный насос, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с осесимметричным патрубком откачки и осесиметрично размещенными в корпусе катодом, выполненным в виде плоских пластин из титана, и анодом, выполненным в виде набора цилиндрических ячеек, примыкающих к полому цилиндру, охватывающему патрубок откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки инертных газов и устранения аргонной нестабильности при расширении диапазона рабочих давлений от 2 10-1 до 5 10-9 Па, в насос введен дополнительный катод, выполненный в виде полого цилиндра из геттерного металла,...