Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос

Изобретение относится к вакуумной технике и касается, в частности конструирования вакуумных насосовс совмещенными ионной откачкой посредством разряда Пеннинга и поглощением газов пленкой испаряемого геттера. Оно может найти широкое применение в установках термоядерногосинтеза, в электронной промышленности при производстве электровакуумных приборов, радиокомпонентови другихизделий, в металлургии приполучении металлов высокой чистотыи в других областях, где для обеспечения технологического процесса .необходим беэмасляный вакуум.Известен комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос,содержащий магниторазрядную сту"пень откачки и испаритель геттера 11,Такой насос имеет сравнительноневысокую быстроту откачки, таккак обладает существенными недостатками, ограничивающими эффективность его быстродействия, Размещение рядов карманов и магниторазрядных блоков у корпуса в видемногоугольника, а испарителей геттера в центральной камере, внутримагнито-разрядной ступени, не позволяет использовать большую частьвнутренней поверхности корпуса иобращенных к ней поверхностей карманов с разрядными блоками междуними для запыления геттером.Кроме того, насос неудобен вобслуживании. В вертикальном положении эксплуатация и обслуживание насоса затруднены. Прогрев насоса должен осуществляться при предварительно снятых магнитах. Магнитные блоки снимаются со стороны днища внизчерез открытые концы полых карманов.Это вызывает необходимость прииспользовании насоса в различных.установках и системах предусматриватьвозможность доступа к днищу насоса.Известен также комбинированныймагнитораэрядный геттерно-ионныйнасос, содержащий герметичный корпус с размещенными в нем карманами смагнитами, разделяющими корпус насекторы, в которых установлены ис.парители геттера, а между карманами размещены разрядные блоки с плоскими электродами 21.В этом насосе ряды карманов смагниторазрядными блоками расположены рядами вдоль радиусов, так,что плоскость симметрии каждогоряда проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насосаи углы между плоскостями симметриисоседних рядов равны, а испарителигеттера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другустенками соседних рядов карманов.Несмотря на такую компоновку насоса, не вся сорбционная поверхность корпуса насоса и кармановодновременно используется для откачки, Это следует из того, что в много ,секторных насосах с тремя и болеесекторами количество работающих одновременно испарителей меньше,чем чис" ло секторов. В результате этого по 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 бО Ь 5 верхность сорбции используется нерационально. Кроме того, карманы, выступающие внутрь корпуса, сокращает внутренний объем насоса, создавая тем самым сопротивление поступающему через входной патрубок газу. Все эти факторы в совокупности приводят к снижению удельной быстроты откачки, Насос также обладает невысокими эксплуатационными показателями при установке в различных положениях.Цель изобретения - повышение удельной быстроты откачки и улучшение условий эксплуатации насоса.Поставленная цель достигается тем, что в комбинированном магниторазрядном геттерно-ионном насосе, содержащем герметичный корпус с размещенным в нем карманами с магнитами, разделяющими корпус на секторы, в которых установлены испарители геттера, а между карманами размещены разрядные блоки с плоскими электродами, карманы расположены друг над другом симметрично отно" сительно диаметральной плоскости насоса а поверхности электродов разрядных блоков перпендикулярны оси насоса, при этом карманы выполнены сквозными и герметично соеди" нены с корпусом по их торцам.На фиг. 1 изображен насос, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху,Йасос содержит цилиндрический; корпус 1 с днищем, входной патрубок с фланцем 2 для присоединения к откачиваемому объему,. В корпУсе 1 под фланцем размещены друг над другом полые сквозные карманы 3, продольные оси которых совпадают с плоскостью симметрии и осью насоса. Поверхности карманов 3, обоазующие зазор для разрядных блоков, перпендикулярны оси насоса. С двух противоположных сторон в корпусе имеются отверстия, соответствующие профилю карманов, которые совместно с герметично присоединенными к корпусу карманами служат для установки магнитов 4, Карманы снаружи закрыты магнитопроводами 5. Между карманами расположены разрядные блоки, состоящие из ячеистого анода б и катодных пластин 7. По обе стороны от карманов внутри корпуса размещены испарители 8.Насос предварительно откачивается до давления 13,3 Па, после чего одновременно включаются магни1034100 Составитель А, Захароведактор Е. Лушникова Техреду О.Неце Корректор А,фере Тираж 703 рственного комитет зобретений и открЗаказ 5635/55 вНИИПИ Госуда по делам 113035, Москва, Мфилиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная торазрядная ступень и два испарителя, расположенные с противоположных сторон карманов.Поток газа, проходяцнй через входной патрубок, раздваивается на поверхности верхнего кармана и поступает с двух сторон в разрядные промежутки электродных блоков, а также в областирасположения испарителей. й разрядных промежутках .газ откачивается за счет ионизации и собирания ионов на катодах, а в об.ластимежду карманами и стенками корпуса поглошение газа происходит путем захвата его атомами испаряемого геттера на лету и химического взаимодействия геттера с молекула-ми газа на стенках, Благодаря тому,что вся внутренняя поверхность корпу са используется для откачки, а также благодаря рациональной компоновке.карманов разрядных блоков удельная быстрота откачки, как показыва ет расчет, увеличивается по сравнению с айалогом и прототипом в 2,5 и 1,6 раза соответственно.Насос удобен в обслуживании иэксплуатации, удобен в работе. Сквоэ" 30 ные карманы позволяют при прогревенасоса легко снимать .и устанавливать магнитные блоки с любой стороны карманов. Это позволяет исполь. зовать насос в любом положении и 5 не требует наличия больших свободных пространств для его сборки (разборки).