Способ получения бис-(триметилсилил)аминотри (с с ) алкоксигерманов

(5)5 ГОСУДАРСТВЕН.ЮЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ТЕНТНОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ческой химии СО Нечаева, Е,Е, Грин,Г, Мирсков и М.Г.,1964, В.51, М 25, 5 НИЯ БИС.(ТРИМЕИ(С - Сз) АЛКОКСИт елен растворител осадка и ра кой целевогоПроцессреагенты вв рическом со му уравнени, с последующим о дтворителя и вакуумной опродукта.экзотермичен. Все исдятся в реакцию в стехтношении согласно сле ходн иом дующ е(7 1) И нсти тут о р га нАН СССР(54) СПОСОБ ПОЛУЧТИЛСИЛИЛ) АМИНОТГЕРМАНОВ Изобретение относится к области химии элементоорганических соединений, а именно к усовершенствованному способу получения бис-(триметилсилил)аминотриалкоксигерманов общей формулы СНз)зЯгй-бе(ОВ)з, где К=СНз, СгН 5, СзНт. Эти соединения могут быть использованы в качестве исходных реагентов в злементоорганическом синтезе, а также как источник совместной подачи кремния и германия в плазмохимических процессах осаждения тонких пленок оксидных и оксинитридных покрытий в изделиях электронной техники.Целью изобретения является увеличение выхода целевых продуктов и упрощение технологии процесса,Поставленная цель достигается описываемым способом, заключающимся в том, что тетрахлорид германия подвергают взаимодействию с гексаметилдисилазаном и (С - Сз) алканолом в присутствии инертного акцептора хлористого водорода - триэтиламина и трибутиламина, в среде неполярного(57) Сущность изобретения: бис (триметилсилил) аминотриметоксигерман, (Мезе)гй - бе(ОСгНБ)э, т,кип. 100-103 С (10 мм рт,ст,): бис (триметилсилил) аминотриэтоксигермана, (Мезе)гч-бе(ОСгНБ)з, т.кип, 83-85 С (Э мм рт,ст.) бис-(триметилсилил)аминотрипропоксигерман, (Ме 9)гй - бе(ОСзН 7)э, т.кип.118 - 120 СIЗ мм рт.ст, Реагент 1: бис-(триметилсилил) амин, (МеЯ)гйН. Реагент 2: деС 4 Реагент 3. ВОН, где й-метил, этил, пропил, Условия реакции: нагревание до кипения в абс, гексане в присутствии триэтиламина в течение 2 ч, 1 з.п,ф-лы. еС 4+ (Меэ)гйН + ЗВОН + 4 Етзч- (МезЯ)губе(ОВ)з+ 4 Етзй НС Выход продуктов достигает 52 - 61.Выход целевого продукта достигает наибольшего значения 61 при проведении данной реакции с н-пропанолом в гексане (пример 3). Применение в этой экзотермической реакции более высококипящих по сравнению с гексаном растворителей - гептана и октана, снижает выход продукта до 48,42, соответственно (примеры 4,5). Уменьшение выхода происходит, по-видимому, в результате более сильного разогре 1824405вания реакционной смеси в укаэанных растворителях и образования вследствие этогобольшего количества смолообразных продуктов, При использовании в данной реакции ароматического растворителя, указанного в прототипе, такого как бензол, который имеет способность к комплексообраэованию, выделить целевой продукт не удалось. В этом случае образуются исключительно смолообраэные продукты (пример 6).Синтез проводят следующим образом.П р и м е р 1. К смеси 64,2 г (0,3 моль)тетрахлоргермана, 48,8 г (0,3 моль) гексаме 510 тилдисилазана, 121,2 г (1,2 моль) триэтиламина в 500 мл абс. гексана добавляют по 15 каплям раствор 28,8 г (0,9 моль) абс.метанола в 100 мл абс.гексана. При этом температура смеси поднимается до температуры кипения гексана (64 С), Смесь выдерживают при этой температуре в течение 2 ч и 20 затем охлаждают до комнатной температуры. Выпавший осадок триэтиламиногидрохлорида отфил ьтро вы ва ют. Растворител ь отделяют дистилляцией. Перегонкой в вакууме выделяют 51 г (52 ь) бис(триметилси лил)аминотриметоксигермана(Мез 51)2 й - бе(ОМе)з, т.кип. 100 - 103/10 мм. Спектр ПМР (д, м.д,): 0,25 (Мезе); 3,64 (ОМе). Хромато-масс-спектрометрическим анализом в продукте идентифицировайо менее 30 2 примесей кремний- и германийсодержащих соединений, Суммарное содержание примесей металлов менее 1 ф 10 мас-4П р и м е р 2. Аналогично примеру 1 с использованием 41,4 г (0,9 моль) абс.этэно ла перегонкой в вакууме выделяют 61,8 г (56) бис(триметилсилил)аминотриэтоксигермана (Мез 51)гй-Ое(ОС 2 Нь)з с т,кип, 83- 85/3 мм. (Литературные данные: Т.кип. 87/1 мм), Спектр ПМР (д, м,д.): 0,24 (Меэ 9); 1.26 40 (СНЗ); 3,82 (ОСН 2),П р и м е р 3. Аналогично примеру 1 с использованием 54 г (9,9 моль) абс, н-пропанола перегонкой в вакууме выделяют 75 г (61 ф) бис(триметилсилил)аминотрипропок сигермана (Мезе)гй-бе(ОСэНт)з с т,кип.118 - 120/3 мм. Спектр ПМР (д, м.д.): 0,25- 0,3 м (Мезе); 0,92 т (СНз); 1,57 м (СНг); 3,79 м (ОСНОВ).П р и м е р 4. Аналогично примеру 1 с использованием в качестве растворителя 600 мл абс. гептана и 54 г (0,9 моль) абс. н-пропанола перегонкой в вакууме выделяют 66,1 г (48) бис(триметилсилил)аминотрипропоксигермана (МезеЬй-Ое(ОСзН 7)з с т.кип. 118 - 120/3 мм,П р и м е р 5. Аналогично примеру 1 с использованием в качестве растворителя 600 мл абс. октана и 54 г (0,9 моль) абс, н-пропанола перегонкой в вакууме выделяют 57,83 г (42) бис(триметилсилил)аминотрипропоксигермана (Мез 31)гй-Ое(ОСзНт)з с т.кип. 118 - 120/3 мм,П р и м е р 6. Аналогично примеру 1 с использованием в качестве растворителя 600 мл абс. бензола и 41,4 г (0,9 моль) абс, этанола после удаления растворителя образуется 98 г полимерного продукта.П р и ме р 7. Аналогично примеру 1 с использованием 600 мл гексана, 54 г (0,9 моль. абс. н-пропанола и 222 г (1,2 моль) три-н-бутиламина вакуумной перегонкой выделяют 74,35 г (547 ь) бис(триметилсилил)аминотрипропоксигермана (Мез 31)2 Й - бе(ОСзНт)з с т.кип. 118 - 120/3 мм.Таким образом, предлагаемый способ получения бис(триметилсилил)аминотри(С-Сз)алкоксигерманов позволяет на 20";ь повысить выход целевых продуктов.Формула изобретения1. Способ получения бис-(триметилсилил)аминотри(С 1 Сз) алкокси германов взаимодействием силилэамещенного аминосоединения с соединением германия в органическом растворителе, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью увеличения выхода целевого продукта и упрощения технологии, в качестве силилэамещенного аминосоединения используют бис(триметилсилил)амин, в качестве соединения германия используют тетрахлорид германия, и процесс ведут в присутствии реагента-спирта ВОН, где й - алкильный радикал, содержащий от одного до трех атомов углерода, в органическом растворителе иэ класса предельных углеводородов, таких как гексан, гептан, октан, в присутствии акцептора хлористого водорода - третичного амина при температуре кипения органического растворителя.2, Способ по п.1, о тл ич а ю щи йс я тем, что в качестве третичного амина используют триэтиламин или трибутиламин.1824405 Составитель С, ХангажеевТехред М. Моргентал Корректор М. Петрова Редактор Т, Ходакова Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 Заказ 2214 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5