Способ контроля качества полирования деталей

Номер патента: 1142764

Авторы: Дворский, Маслов, Мельник, Одарич

ZIP архив

Текст

) (57) 1 ПОЛИРО ким м Масло к ческихК.Г.Куо с, 62. ова Т.А., 0 иследова верхнос ле мехкая про торГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) 1. Формообразование опповерхностей. Под ред. д.т.макина, М., Оборонгиз, 19622, Маслов В,П., Владимирдарич В.А., Скачков М.М. Иние методом эллипсометрии пти оптических материалов пообработки. "Оптико-механичемышленность", 1981, Нф 1.(54 СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВАНИЯ ДЕТАЛЕЙ эллипсометчес етодом, о т л и ч а ю щс я тем, что,с целью повышениячувствительности контроля, анализемые образцы изготавливают с одинвым "цветом", обрабатывают этиловспиртом, серной кислотой и повторэтиловым спиртом.2. Способ по и. 1, о т л и ч аю щ и й с я тем, что обработку эловым спиртом ведут в течение 4-8серной кислотой - 4-20 мин и повно этиловым спиртом - 10-60 мин.Чувствительность при изменении чистоты Время выдержки в Способ с 711 Т по 71 кл. с Ч 1 по 17 кл, с 17 по 1 кл. серной спирте,к-те, минмин спирте, ч Известный 1 0 0 1,0 0,510 0,5 О 10 5,0 Предлагаемый2 4 4 25 8,0 2,5 2,5 1,5,10 1,5 30 10 О 3 О 3 0 2 О 10 2 О 10 3 6 10 4 8 20 40 26 8,7 2,6 2,5 1,8 1,7 . 60 Составитель Т. Жукова Редактор Н, Горват Техред А.Бабинец Корректор Е. РошкоЗаказ 710/38 Тираж 897 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Рауаская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 1142764 4величину которого вычисляют по соот- ва поверхности .проводят эллипсометриношению 8 б = и. В пределах этих ческим методом, как в примере 1.углов зависймость созе от угла паП р и м е р 3. Образцы в видедения является линейной. Построив плоскопараллельных пластин из стеклаэту зависимость по экспериментальнымКЗ подготавливают по примеру 1 иточкам, определяют главный угол, для обрабатывают этиловым спиртом 8 ч,которого соз а = О. Эллиптичность серной кислотой 20 мин, повторновблизи этого угла достигает минималь- этиловым спиртом 60 мин. Измеренияной величины. проводят, как в примереП р и м е р 2. Образцы в виде 1 п В таблице представлены данныеплоскопараллельных пластин из квар- по чувствительности известного ицевого стекла готовят по примеру 1, предложенного способов.после чего образцы выдерживают в Как видно из таблицы, предложенэтиловом спирте 6 ч, в 403-ном раст- ный способ позволяет повысить чувстворе серной кислоты 10 мин и повтор вительность контроля качества полироно в спирте 40 мин. Контроль качест- -вания в 2-3 раза,

Смотреть

Заявка

3616775, 27.04.1983

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2038

ДВОРСКИЙ АЛЕКСАНДР АНДРЕЕВИЧ, МАСЛОВ ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ, МЕЛЬНИК ТАМИЛА САМОЙЛОВНА, ОДАРИЧ ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 1/38

Метки: качества, полирования

Опубликовано: 28.02.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1142764-sposob-kontrolya-kachestva-polirovaniya-detalejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля качества полирования деталей</a>

Похожие патенты