Способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом чохральского

Номер патента: 485763

Авторы: Вишневский, Лавров, Цицугин

ZIP архив

Текст

пи 485763 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИяК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик) 1868068/23-2 заявкиприсоединен иек ыи комите тров СССР о суда рстее Совета Мин(088,8) Ла делам изобретении и открытийата опубликования описания 24.12.7(54) СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГОУи кп 4 освещает торец монокрпсталла, выполненный в виде сферы для рассеивания узкого пучка лучей лазерного источника. Оптический блок 5 передает изображение на телевпзион ный блок 6. Телевизионный блок синхронизирован с блоком подсветки и вращением кристалла. Вычислительный блок 7 обрабатывает электрический сигнал и передает его на блок управления мощностью установки 8, ИзО менение мощности нагрева приводит к изменению температуры расплава до восстановления заданного значения диаметра монокристалла,Предмет изобретен Способ сом выра Чохральс 20 стущего контраст,впзионны тем, что,ния диаь 25 подсветк ло расту монохрокИзобретение относится к способам автоматического управления процессом выращивания малоконтрастных монокристаллов методом Чохральского и может быть применено для выращивания монокристаллов полупроводниковых материалов.Известен способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом Чохральского путем измерения диаметра растущего оптического монокристалла с низкой контрастностью зоны расплав-кристалл телевизионным автоматом.Однако такой способ при малой контрастности зоны расплав-кристалл не позволяет с уверенностью управлять процессом роста по диаметру.С целью повышения точности измерения диаметра монокристалла по предлагаемому способу осуществляют подсветку параллельным пучком лучей в тело растущего монокристалла от источника монохроматического излучения,На чертеже представлена схема реализации предлагаемого способа управления процессом выращивания монокристаллов,В тигле 1 находится расплав 2, из которого вытягивается монокристалл 3. Блок подсветавтоматического управления процесщпвания монокрпсталлов методом кого путем измерения диаметра раоптического монокрпсталла с низкой чостью зоны расплав-крпсталл телем автоматом, о т л и ч а ю щ и й с я с целью повышения точности пзмереетра мопокристалла, осуществляют у параллельным пучком лучей в тещего монокрпсталла от источника татпческого излучения.485763 Составитель В. Шушков Техред Т. Курилко Корректор Е, Хмелева Редактор Н. Спиридонова Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 3172/9 Изд.1828 Тираж 782 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 45

Смотреть

Заявка

1868068, 05.01.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4147

ВИШНЕВСКИЙ СЕРГЕЙ МИРОНОВИЧ, ЦИЦУГИН ВЛАДИМИР ДМИТРИЕВИЧ, ЛАВРОВ АНАТОЛИЙ ФЕДОРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B01J 17/18

Метки: выращивания, методом, монокристаллов, процессом, чохральского

Опубликовано: 30.09.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-485763-sposob-avtomaticheskogo-upravleniya-processom-vyrashhivaniya-monokristallov-metodom-chokhralskogo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом чохральского</a>

Похожие патенты