Патенты с меткой «чохральского»
Устройство для получения монокристаллов и поликристаллов по способу чохральского
Номер патента: 139842
Опубликовано: 01.01.1961
Автор: Банков
МПК: C30B 15/30
Метки: монокристаллов, поликристаллов, способу, чохральского
...находящийся в кассете, подходит под поднятый шток 5 затравки. Оператор вклочает медтснное опускание этой затравки так, чтобы резьбовой конец итока затравки навернулся на держатель, При этом плоскости а не дают проворачиваться держателю. В момент, когда шток затравки ввернулся в держатель, выключается опускание штока затравки. Шток, вращаясь, остается на месте, а держатель, не имея возможности вращаться, поднимается до тех пор, пока шестигранник, держагеля не выйдет из соприкосновения с плоскостью а. После того как держатель навернется на шток затрав139842ки, происходит поворот верхней кассеты 1 на следующий шаг , в эгом положении имеется возможность затравить монокристалл или поли- кристалл.По окончании процесса вытягивания...
Установка для вытягивания из расплава слитков по способу чохральского
Номер патента: 297389
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Вельский, Гин, Государственный, Иванова, Новиков, Проектный
МПК: C30B 15/10
Метки: вытягивания, расплава, слитков, способу, чохральского
...только одного слитка.В предложенной установке нижняя камера и тигель имеют форму кольца, по окружности которого неподвижно установлены верхние камеры, что позволяет повысить ее производительность.На чертеже изображена предложенная установка в плане и разрезе.Установка включает нижнюю кольцевую камеру 1 с тиглем 2 и несколько установленных неподвижно по окружности тигля верхних камер 3, снабженных тянущими штоками 4. Камеры 3 отделены от нижней камеры герметичными затворами 5. Для перемешивания расплавленного материала установка сиабжена электромагнитным насосом б, смонтиро.ванным на тигле.При использовании установки для получения слитков легкоплавких металлов, напри мер галлия, нагрев расплава в тигле производится при помощи...
Способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом чохральского
Номер патента: 485763
Опубликовано: 30.09.1975
Авторы: Вишневский, Лавров, Цицугин
МПК: B01J 17/18
Метки: выращивания, методом, монокристаллов, процессом, чохральского
...тем, что,ния диаь 25 подсветк ло расту монохрокИзобретение относится к способам автоматического управления процессом выращивания малоконтрастных монокристаллов методом Чохральского и может быть применено для выращивания монокристаллов полупроводниковых материалов.Известен способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом Чохральского путем измерения диаметра растущего оптического монокристалла с низкой контрастностью зоны расплав-кристалл телевизионным автоматом.Однако такой способ при малой контрастности зоны расплав-кристалл не позволяет с уверенностью управлять процессом роста по диаметру.С целью повышения точности измерения диаметра монокристалла по предлагаемому способу осуществляют подсветку...
Тигель для вытягивания кристаллов из расплава по способу чохральского
Номер патента: 486780
Опубликовано: 05.10.1975
Автор: Удалов
МПК: B01J 17/18
Метки: вытягивания, кристаллов, расплава, способу, тигель, чохральского
...с теплопроводностью при температуре, близкой к темгдературе плавления, ниже 6 вти. град, в процессе роста затравка отрывается от поверхности расплава вследствие уменьшения градиента температуры оверху вниз по высоте тигля,Целью изобретения является предотвращение отрыва затравки от расплава за счет создания по высоте тигля одинакового градиента температуры.Поставленная цель достигается выполнением тигля с полостью, имеющей форму конуса с углом между образующей и высотой, равным 22,5 - 45.На чертеже изображгель,Тигель имеет цилиндрическую внешнюю оверхность 1 ц полость .-1 в виде онуса с угом к между образующей ц высотой, равным2 5 - 45. При использовании тигля с углом ным 22,5, чолучают кристаллы СаО (т. пл. 1765 С), с углом 30...
Устройство для вытягивания из расплава монокристаллов по способу чохральского
Номер патента: 506161
Опубликовано: 25.08.1976
Авторы: Вервыка, Выдыш, Егорова, Жемчужина, Носов, Печерица, Приварников, Проскурин
МПК: B01J 17/18
Метки: вытягивания, монокристаллов, расплава, способу, чохральского
...ве тальный э монокристаллов преимушеств водниковых материалов из раВ известных устройствах ния монокристаллов из распл Чохральского для уменьшения локаций и более равномерног ления используют тепловые ных конструкций, в том числ полость тигля по его оси вт нижним концом в горизонта ваюший на поверхности распНедостатком устройства раном и укрепленной на нем ся изменение положения вту вания расплава в тигле, что менению тепловых условий в тельнои особенностью предлагаемотва является выполнение располополости тигля горизонтального экксимальным диаметром, допускаю- кение тигля без трения, причем рхним концом встроена в горизонкран, опирающийся на коаксиальный му из тигля верхнему конприсоединен горизонтальрый опирается на вертиеский...
Способ контроля процесса выращивания монокристаллов методом чохральского
Номер патента: 998599
Опубликовано: 23.02.1983
Авторы: Бронштейн, Казимиров, Лебедев, Любимов
МПК: C30B 15/00
Метки: выращивания, методом, монокристаллов, процесса, чохральского
...тока индукторе, и. сигнала, Опропорциональные весу кристалла, измеренные в промежутках между прерываниями тока индуктора, сравнивают их ипо результату сравнения корректируютразность сигналов, пропорциональныхвесу кристалла. Йли тигля с расплавоми весу кристалла заданной формы.На чертеже изображена схема устройства для реализации предлагаемого способа.Устройство содержит кристалл 1, вытягиваемый из расплава 2, образованного путем разогрева шихты индуктором3, динамометрический датчик 4, измеряющий текущий вес тигля с расплавом,сумматоры 5-71 задатчик 8 текущего46веса кристалла заданной формы, интеграторы 9 и 10, прерыватели 11-13.Устройство работает следукицим образом,При выращивании кристалла 1 иэрасплава 2 непрерывно измеряют...
Устройство для вращения, вертикального перемещения и взвешивания слитка, вытягиваемого из расплава по способу чохральского
Номер патента: 469285
Опубликовано: 07.05.1985
Авторы: Батюков, Жадан, Кузьминов, Лейбович, Нагорнов, Сухарев
МПК: C30B 15/28, C30B 15/30
Метки: вертикального, взвешивания, вращения, вытягиваемого, перемещения, расплава, слитка, способу, чохральского
...подвешен на тяге, проходящей в полости штока и передающей усилие 1 О на тензоэлементы, Тензоэлементы вра щаются вместе со штоком и соединены с контрольно-регистрирующей аппаратурой через вращающиеся контакты, поэтому полезные сйгналы значитель но зашумйены помехами (до 257. по амплитуде) ог термо-ЭДС, наводимой в результате трения неподвижных контактов о вращающиеся контактные кольца. 26 Целью изобретения является разработка устройства, позволяющего устранить указанные выше помехи контроля и регулирования технологических параметров за счет исключения применения скользящих контактов для передачи сигналов с устройства на тенэоэлементы.Для этого тяга, на которой подвешен держатель слитка, выполнена в виде упругой нити, шарнирно связанной...
Способ управления процессом выращивания монокристаллов под защитной жидкостью методом чохральского и устройство для его осуществления
Номер патента: 1745780
Опубликовано: 07.07.1992
Авторы: Антонов, Леонов, Рыбинцев, Сатункин
МПК: C30B 15/28, G05D 27/00
Метки: выращивания, жидкостью, защитной, методом, монокристаллов, процессом, чохральского
...запас устойчивости замкнутой системы в обычном способе Чохральского, Повышение степени астатиэма впервую очередь требуется для обеспеченияточного отслеживания нелинейного программного задания в режиме формирова-.ния конусов. Очевидно, что задача синтезауправления для обычного способа Чохральского практически совпадает для способаЧохральского с жидкостной герметизацией, 25если формирование конуса происходит полностью под флюсом. В этом случае уравнение наблюдения (21) упрощается иопределяется в видеУ(1) = У 1(1) = С(1)Х(1) + Ю (1) Й(1). (22) 30В уравнениях (21) и (22) в отличие отобычного способа Чохральского появляетсяизвестный заранее множитель (1 - , ), Прианализе замкнутого состояния вектор входных воздействий 0 (1) необходимо...