Цицугин

Номер патента: 485763

Опубликовано: 30.09.1975

Авторы: Вишневский, Лавров, Цицугин

МПК: B01J 17/18

Метки: выращивания, методом, монокристаллов, процессом, чохральского

...тем, что,ния диаь 25 подсветк ло расту монохрокИзобретение относится к способам автоматического управления процессом выращивания малоконтрастных монокристаллов методом Чохральского и может быть применено для выращивания монокристаллов полупроводниковых материалов.Известен способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом Чохральского путем измерения диаметра растущего оптического монокристалла с низкой контрастностью зоны расплав-кристалл телевизионным автоматом.Однако такой способ при малой контрастности зоны расплав-кристалл не позволяет с уверенностью управлять процессом роста по диаметру.С целью повышения точности измерения диаметра монокристалла по предлагаемому способу осуществляют подсветку...