354681
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 354681
Авторы: Германска, Иностранец, Иностранное
Текст
":г-,"ОЙ ИСАЙИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕНТУ 354681 Сова Советских Социалистических Республиквиспмый от патентаМ, Кл, НОИ 7/6 явлено 25.111.1970 ( 1418741/26 иоритет 2 с.111.1969,ГР 21 д/13879 ГДР Комитет по делам изобретений и открытипри Совете МинистровСССР УДК 621.382,001.3публиковано 09.Х.1972. Бюллетень30 ата опубликованпя описания 27.Х.1972 Авторизобретения Иностранец Дитер Гарте ( Германская Демократ ичсскаяИностранное предпрп Арбайтсштелле фюр Молекул ( Германская Демократическая еспуолпк Заявите тиерэлектроникРеспублика) ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЙЛОСКОСТЙЫХ СТРУКТУР щадьсом. Управление перемещением координатногостола осуществляется электронно-вычисли тельной машиной. Подложку 1 устанавливаютна координатном столе 2. На подложке необходимо получить тонкопленочную структуру, которая состоит из трех отдельных элементов о, 4, 5, Подложку разделяют линиями б, 7, Ь 10 иа прямоугольные участки, Над подложкойрасполагают тубусы 9, 10, 11, 12, 13, 14 таким образом, что рабочая зона каждого тубуса содержит часть обрабатываемой структуры. Зона обработки 15 тубуса 12 ограничена линия ми 1 б, 17, зона обработки 18 тубуса 9 ограничена линиями 19, 17, зона обработки 20 тубуса 10 ограничена линиями 21, 19, 22 и т, д.ОбРаботка подложки заключается в том,что электронно-вычислительная машина раз деляет изготавливаемую структуру 3 на зоныобработки так, что все тубусы работают почти одновременно. При этом на структуре д возникают перекрывающиеся области (заштрихованы крест накрест). редме пособ изготовлен омощьк, паприв лоскостных структур метода фотолитограИзобретение относится к электронной промышленности, в частности, к способу получения плоскостных структур на подложках из различных материалов.Известны способы получения полупроводниковых и других структур, в которых применяют устройства с координатными столами и световым лучом. Обработка световым лучом фоторезиста на подложках производится с помощью одного или нескольких тубусов,Недостатком известных способов является невозможность обработки площади больше, чем 50 К 50 лм-.Цель изобретения - повышение производительности получения плоскостных структур.Цель достигается тем, что по предлагаемому способу обработку проводят световым лучом по прямоугольным зонам, которые, перекрываясь, образуют рисунок требуемой конфигурации.На чертеже схематически изображена полупроводниковая структура, обрабатываемая по предлагаемому способу.Обработку производят многотубусиым устройством с координатным столом, причем каждый световой луч обрабатывает определенную зону, а совокупность этих зон составляет цодложку со зна кительно большей плом можно обраоотать одним ту54681 22 11 1 2 27 о 77 5 Составитель В, Гришинкред А. Камышникова едактор И, Орл рректор Е. Сапунов; Заказ 3580(17 Изд. М 1477 Тираж 406 Подпис 1Ц 11 ИИПИ Комитета но делам изобретений н открытий при Совете Министров ССМосква, Ж, Раушская нзб., д. 4/5 Типография, нр. Сапунова,фии, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, обработку производят световым лучом по прямоугольным зонам,которые, перекрываясь, образуют рисуноктребуемой конфигурации.
СмотретьЗаявка
1418741
Иностранец Дитер Гарте, Германска Демократическа Республика, Иностранное нредпри тие Арбайтсштелле фюр Молекул рэлектроник, Германска Демократическа Республика
МПК / Метки
МПК: H01L 21/3105
Метки: 354681
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-354681-354681.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">354681</a>
Предыдущий патент: 354680
Следующий патент: Союзная i: га. о; л; шт: яд
Случайный патент: Устройство для отделения детали и ее ориентации при установке фурнитуры на мебельных щитах