Патенты с меткой «354681»

Номер патента: 354681

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Германска, Иностранец, Иностранное

МПК: H01L 21/3105

Метки: 354681

...10 ограничена линиями 21, 19, 22 и т, д.ОбРаботка подложки заключается в том,что электронно-вычислительная машина раз деляет изготавливаемую структуру 3 на зоныобработки так, что все тубусы работают почти одновременно. При этом на структуре д возникают перекрывающиеся области (заштрихованы крест накрест). редме пособ изготовлен омощьк, паприв лоскостных структур метода фотолитограИзобретение относится к электронной промышленности, в частности, к способу получения плоскостных структур на подложках из различных материалов.Известны способы получения полупроводниковых и других структур, в которых применяют устройства с координатными столами и световым лучом. Обработка световым лучом фоторезиста на подложках производится с помощью одного...