Патенты с меткой «кмоп-структур»

Номер патента: 1759185

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Нагорный, Плащинский, Санков, Сидоренко

МПК: H01L 21/336

Метки: кмоп-структур

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КМОП-СТРУКТУР, включающий формирование на пластине монокристаллического кремния I-го типа проводимости пленки защитного диэлектрика, формирование карманов II-го типа проводимости, удаление пленки защитного диэлектрика, формирование пленки подзатворного диэлектрика, формирование областей истока и стока транзисторов с II-м типом проводимости канала и охранных областей путем ионной имплантации примеси II-го типа, ее активации и разгонки, формирование областей истока и стока транзисторов с I-м типом проводимости канала и охранных областей путем ионной имплантации примеси I-го типа, ее активации и разгонки, формирование электродов затворов, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и повышения его производительности,...