Способ изготовления контактов шоттки

Номер патента: 1683449

Авторы: Васильев, Румак, Хатько

ZIP архив

Описание

Способ изготовления контактов Шоттки, включающий нанесение на полупроводниковую подложку с высокоомным эпитаксиальным слоем пленки на основе тугоплавкого металла или его сплава и дополнительной металлической пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет снижения токов утечки и повышения термополевой стабильности, нанесение пленки на основе тугоплавкого металла или его сплава осуществляют ионно-лучевым методом в два этапа, причем на первом этапе наносят слой толщиной 25-35 нм при плотности мощности разряда 5-7×104Вт/м2, а на втором этапе доращивают слой до 60-90 нм при плотности мощности разряда (1,0-1,5)·105 Вт/м2.

Заявка

4677109/25, 11.04.1989

Физико-технический институт АН БССР

Васильев С. С, Румак Н. В, Хатько В. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/265

Метки: контактов, шоттки

Опубликовано: 20.06.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1683449-sposob-izgotovleniya-kontaktov-shottki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления контактов шоттки</a>

Похожие патенты