Способ формирования нитридных покрытий

Номер патента: 1628561

Авторы: Астапчик, Хатько

ZIP архив

Описание

Способ формирования нитридных покрытий, включающий воздействие импульсного лазерного излучения на поверхность подложки в азотсодержащей среде при длительности лазерного импульса 10 -3-10-6 с и плотности мощности лазерного излучения 2·106 - 1010 Вт/см2, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа, в качестве азотсодержащей среды используют слой жидкости азота, сформированного на поверхности подложки, причем толщину слоя жидкого азота выбирают в интервале (2-5)D, где D - диаметр лазерного пятна на поверхности, равной 0,5-1,5 мм.

Заявка

4677737/21, 11.04.1989

Физико-технический институт АН БССР

Астапчик С. А, Хатько В. В, Хатько Т. Н

МПК / Метки

МПК: C23C 14/28

Метки: нитридных, покрытий, формирования

Опубликовано: 20.06.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1628561-sposob-formirovaniya-nitridnykh-pokrytijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования нитридных покрытий</a>

Похожие патенты