160829
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 160829
Текст
Госумгствннньти комитет по АЕААМ изовгвтвиии и открытии СССРСПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ НИТЕВИДНЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ И КРЕМНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫВ настоящее время при выращивании нитевидных монокристаллов металлов и полупроводников из паровой фазы Путем термического разложения их галоидов в качестве котутпонеттта-растворителя используют в основном йод.Согласно предлагаемому способу, который отличается тем, что выращивание монокристаллов германия производят при температуре исходного вещества 8509 ООС и температуре зоны кристаллизации 600"С, а выращивание монокристаллов кремнияпри температуре исходного вещества 1150 С и температуре зоны кристаллизации 8509 О 0 С,в качестве компонента-растворителя используют бром,давление паров которого при температуре процесса составляет 3-4 атм.В результате в качестве основного продукта получают нитевидные втонокристаллы германия и кремния диаметром 1-20 мк с высокой степенью совершенства структуры.Осуществление способа. Навески исходного германия или кремния и брома помещают в большую часть кварцевой ампулы с перетяжкой. Затем автпулу опускают в жидкий азот, откачивают до давления 1 О 5 мм рт. ст. и отпаивают. Запаяиную ампулу помещают в двухзонную печь так, что часть ампулы снавесками выдерживается при температуре 115 ОС для кремния и 85 О 9 ООС Для германия. Давление паров компот-тента-растворителя при этих температурах составляет 3-4 атм. Другой конец ампулы поддерживается притемпературе 8509 ООС для кремния и 60 ОС для германия.В результате создаваемого перепада температур между частями ампулы в холодном коице ее из паровой фазы выпадает сначала слой поликристалтлического осадка, состоящего из многих тиелких втонокрттстадтлов, а затем на этом слое, как на подложке, вырастают как отдельные моиокрнстальчы, так и сростки и кисти нитевидных втонокрттсталлов. Вследствие концентрации примесей в поликристаллиЧССКОМ слое ВЫрЭЩЕННЫ ННТЭВИДНЬЕЕ МОНОкристаллы более чисты, чем исходное вещество. Они имеют чистую, ровную поверхность и значительную механическую прочность.Способ выращивания нитевидных монокристаллов германия и кремния из паровой фазы с использованием галоида в качестве компоиента-растворителя, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с Целью получения нитевидных монокристаллов германия и кремния диаметром 1 20 нк, выращивание монокристаллов германия производят при температуре исходного ве щества 85 О 9 ООС и температуре зоны кристаллизации 60 О, а выращивание монокристаллов кремния при температуре исходного вещества 115 ОС и температуре зоны кристаллизацитт 85 О 9 О 0 С причем в качестве компоиента-растворителя используют бром,давление паров которого при температуре процесса составляет 34 атм.
СмотретьЗаявка
785811
МПК / Метки
МПК: C30B 25/00, C30B 29/08, C30B 29/62
Метки: 160829
Опубликовано: 01.01.1964
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-160829-160829.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">160829</a>
Предыдущий патент: Способ опрсделения концентрации глннозема в криолитоглиноземных расплавах
Следующий патент: 160830
Случайный патент: Способ получения алкиларилсилоксановых полициклических олигомеров